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      電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>嵌入式開發(fā)>微壓力接觸式臺階儀測量誤差校正技術(shù)研究

      微壓力接觸式臺階儀測量誤差校正技術(shù)研究

      2016-08-09 | doc | 370KB | 次下載 | 免費

      資料介紹

      微壓力接觸式臺階儀是一種二維形貌檢測儀，針對汽車金屬缸墊等薄片型金屬板沖壓零件的表面尺寸測量研制而成。本文從工作原理出發(fā)，分析了影響系統(tǒng)精度的三個原因：測量臂旋轉(zhuǎn)誤差，光學系統(tǒng)畸變，工件傾斜影響。通過軟件校正和參數(shù)補償，提高了系統(tǒng)測量精度。實際測試證明，誤差校正能夠提高儀器測試精度，儀器最小分辨率能達到2μm，測量重復(fù)精度達到了5μm。
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