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      電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>模擬數(shù)字>掩模曝光劑量的精細控制工藝設(shè)計

      掩模曝光劑量的精細控制工藝設(shè)計

      2009-12-21 | rar | 444 | 次下載 | 3積分

      資料介紹

      掩模曝光劑量的精細控制工藝設(shè)計　
      胡廣榮 李文石
      (蘇州大學(xué) 電子信息學(xué)院 微電子學(xué)系，江蘇 蘇州 215021)
      摘要：本文從光學(xué)鄰近效應(yīng)的機理出發(fā), 基于區(qū)域劃分掩模特征線條，實施曝光劑量控制，從而達到光學(xué)鄰近效應(yīng)的精細校正。通過模擬測試圖形得到改進后的掩模圖形畸變率，與傳統(tǒng)曝光劑量校正法相比，減少了約4%。
      關(guān)鍵詞: 光學(xué)鄰近效應(yīng)校正, 特征線條區(qū)域劃分, 圖形畸變率
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