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      電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>工控技術(shù)>單晶硅棒調(diào)節(jié)和拉制中的影響因素介紹

      單晶硅棒調(diào)節(jié)和拉制中的影響因素介紹

      2017-10-20 | rar | 1 MB | 次下載 | 免費(fèi)

      資料介紹

      　　一、熱循環(huán)的通暢

      　　熱循環(huán)就是氣流的循環(huán)，從氬氣輸進(jìn)到被真空泵抽走的一個(gè)循環(huán)過(guò)程。它的外在顯示值即爐壓（真空泵的抽速與氬乍輸入量的平衡值） 組成部分，1氬氣調(diào)節(jié)整個(gè)單晶硅棒拉制中熱循環(huán)的流量和流速，是在拉晶過(guò)程中不可缺少的保護(hù)氣體。（屬性惰性i體特點(diǎn)不易燃燒） 2 真空泵穩(wěn)壓持續(xù)抽走爐內(nèi)的體揮發(fā)物，保持爐內(nèi)真空平衡。由這兩個(gè)系統(tǒng)所組成熱循環(huán)系統(tǒng)的作用： 有效的帶走爐內(nèi)沉積的揮發(fā)物，防止石墨器件及熱場(chǎng)的氧化增加使用壽命。增強(qiáng)成晶硅溶面與內(nèi)溶液溫度差提高成晶速度。降低單晶硅棒在生產(chǎn)過(guò)程中的氧碳含量等，從而提高公司的產(chǎn)品質(zhì)量。

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