資料介紹
陀螺儀是能夠精確地確定運(yùn)動物體方位的儀器,它在現(xiàn)代航空,航海,航天等國防工業(yè)以及汽車、轉(zhuǎn)臺、工業(yè)生產(chǎn)流水線、機(jī)器人,以及消費(fèi)電子領(lǐng)域,如攝像機(jī)、數(shù)碼相機(jī)的圖像防抖等,都得到了廣泛的應(yīng)用。
現(xiàn)代陀螺儀的種類眾多,MEMS陀螺是近年出現(xiàn)并得到了廣泛應(yīng)用的新型陀螺。所謂MEMS,它是微電子機(jī)械系統(tǒng)( Micro Electro Mechanical System,MEMS)的簡稱,是指采用微機(jī)械加工技術(shù)可以批量制作的、集微型傳感器、微型機(jī)構(gòu)、微型執(zhí)行器以及信號處理和控制電路、接口、通信等于一體的微型器件或微型系統(tǒng)。
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