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      電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>電子教材>納米光刻方法

      納米光刻方法

      2011-09-06 | pdf | 3.23 MB | 次下載 | 免費

      資料介紹

      Direct write e-beam lithography:
      - based on scanning electron microscope (SEM)
      - small scanning Gaussian electron spot (diameter 1-5 nm) exposes resist
      - maximum scanning range 100 - 1000 μm due to aberrations and distortions
      - mechanical movement of sample (interferometric position measurement) in
      combination with e-beam scanning to cover large sample size (stitching)
      - magnetic lenses for electron optics:
      - e-beam is scanned by deflectors
      (either electrostatic or magnetic)
      - one deflector is used to blank

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