壓電納米定位產(chǎn)品具有納米級分辨率及定位精度,集成到各種相關(guān)儀器及機(jī)械設(shè)備中,從而實(shí)現(xiàn)高精度納米級定位與運(yùn)動。了解壓電納米定位臺的基本工作原理及性能,來選擇適合您應(yīng)用的壓電納米定位臺吧。
什么是壓電納米定位臺?壓電納米定位臺是以壓電陶瓷作為驅(qū)動源,結(jié)合柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)X/Z/XY/XZ/XYZ軸精密運(yùn)動的壓電平臺。運(yùn)動范圍最大可達(dá)375μm,具有體積小、無摩擦、響應(yīng)速度快等特點(diǎn),配置高精度傳感器,可以實(shí)現(xiàn)納米級分辨率及定位精度且具有極高的可靠性,壓電納米定位臺在精密定位領(lǐng)域中發(fā)揮著至關(guān)重要的作用。
壓電納米定位臺采用無摩擦柔性鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu),可實(shí)現(xiàn)亞納米級分辨率。芯明天N60.X系列壓電納米定位臺,配套E53系列壓電控制,可實(shí)現(xiàn)0.5nm的步進(jìn)分辨率。
芯明天快速刀具定位臺采用大出力壓電陶瓷,最大出力可達(dá)幾千牛頓,廣泛應(yīng)用于精密加工等領(lǐng)域。
壓電納米定位臺由容性壓電陶瓷驅(qū)動,響應(yīng)時間可快至毫秒級。芯明天N65系列納米定位臺配套大功率E00/E01系列壓電控制器,可實(shí)現(xiàn)滿幅值階躍時間為1.5ms。
平臺采用有限元仿真分析優(yōu)化柔性鉸鏈結(jié)構(gòu),柔性導(dǎo)向系統(tǒng)具有超高的導(dǎo)向精度,具有高剛性、高負(fù)載、無磨損、免維護(hù)等特點(diǎn)。
壓電納米定位產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)驅(qū)動電壓為0~120/150V,可產(chǎn)生最大375μm位移行程。同時可以根據(jù)要求定制其他電壓驅(qū)動版本。
驅(qū)動控制系統(tǒng)
壓電陶瓷控制器通過模擬輸入或數(shù)字輸入控制,具有功率放大功能,且輸出電壓、輸出頻率可調(diào)。多種通道數(shù)及功能可選,可驅(qū)動各種壓電類產(chǎn)品,同時也可根據(jù)應(yīng)用需求提供定制服務(wù)。
應(yīng)用到那些領(lǐng)域
光纖端面檢測,壓電納米定位臺帶動鏡片做精密運(yùn)動,配合顯微鏡完成對光纖端面質(zhì)量的干涉檢測實(shí)驗(yàn)。精密車削,利用快速刀具定位器超精密制造技術(shù),實(shí)現(xiàn)光學(xué)非球面、自由曲面、微結(jié)構(gòu)與其陣列的元件及模具納米級超精密加工。
原子力顯微鏡,閉環(huán)納米定位臺與原子力顯微鏡相結(jié)合,可以實(shí)現(xiàn)375μm的掃描范圍,分辨率為亞納米級,響應(yīng)時間可達(dá)亞毫秒。激光平面干涉儀,Z向壓電納米定位臺的作用是做納米級的微運(yùn)動,精確調(diào)整待測物的位置,從而改變對應(yīng)條紋的寬度及位置,以達(dá)到更精確的表面測量。
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