XD605.X90一維大負載電容傳感壓電納米定位臺及配套電容閉環(huán)控制器

新年伊始，萬象更新。芯明天持續(xù)深挖行業(yè)需求，攻克技術壁壘，推陳出新，為客戶解決一個又一個精密定位技術的難題。

本次為大家介紹一款一維大負載電容傳感壓電納米定位臺-XD605.X90。產(chǎn)品外觀如下圖所示。

X向運動、大負載

XD605.X90可實現(xiàn)一維X向直線運動，行程可達到95μm，負載可達10kg，分辨率可達3nm，為大負載應用提供更優(yōu)質(zhì)的解決方案。

電容式傳感器

XD605.X90閉環(huán)版本采用電容傳感，閉環(huán)線性度可達0.021%F.S.，閉環(huán)重復定位精度可達0.005%F.S.，由于電容式傳感器是根據(jù)兩個電極之間的電容變化來測量物理量，所以它不受溫度、磁場環(huán)境等因素影響，在精度、響應速度、穩(wěn)定性、可靠性和成本方面具有很多優(yōu)勢。

三種位姿、易使用

XD605.X90它在使用放置方式上進行突破，可正立、側臥、倒置三種位置使用，可滿足更多設備或系統(tǒng)對負載位姿的要求。

產(chǎn)品應用

顯微掃描、光路調(diào)整、納米操控技術、激光干涉、納米光刻、生物科技、光通信、納米測量、顯微操作、納米壓印等。

技術參數(shù)

配套控制器

E53.D1C-H系列壓電控制器是一款模擬與數(shù)字式控制器，具有閉環(huán)伺服控制功能，是專為驅動配備電容式傳感器的壓電產(chǎn)品而研發(fā)設計。外形尺寸為148×125×27.5mm，供電為24VDC/1.5A。機身帶有散熱區(qū)域，可快速導出產(chǎn)生的熱量，且體積小巧，易于集成。

XD605.X90C電容式壓電平臺與E53.D1C-H電容閉環(huán)壓電控制器

審核編輯 黃宇