目前市面上最便宜的單片清洗設(shè)備是兩個(gè)腔體的50-60萬美金,而6-8個(gè)腔體的單片式清洗設(shè)備的價(jià)值大概300-400萬美金。槽式價(jià)格100-200萬美金市場價(jià)格。
近日,至純科技迎來了浙商證券、海富通基金、申萬宏源、光大證券等25家投資機(jī)構(gòu)調(diào)研。至純科技表示,公司濕法槽式清洗設(shè)備已獲得6臺(tái)的量產(chǎn)訂單,客戶是中芯國際和萬國半導(dǎo)體,這次的六臺(tái)設(shè)備都是槽式設(shè)備,主要是適用于半導(dǎo)體廠商8寸線。9月下旬可交付2臺(tái),樂觀估計(jì)今年四季度或明年一季度確認(rèn)收入。
從清洗設(shè)備的配備量來看,目前以4萬片產(chǎn)能的產(chǎn)線為例,一般情況下,8寸線匹配50臺(tái)設(shè)備,12寸線國內(nèi)匹配70臺(tái)設(shè)備左右,包括槽式和單片,國外有的廠商能夠達(dá)到120臺(tái)清洗設(shè)備水平。在一個(gè)Fab廠清洗機(jī)需要2個(gè)億美金。
隨著下游對(duì)良率要求高,會(huì)大量采用單片式,但是單片式清洗效率低,單片式清洗設(shè)備根據(jù)腔體數(shù)量不同,清洗效率也不同,一個(gè)腔體一次只能清洗一片。未來隨著良率越來越高,單片式需求會(huì)越來越大。我們公司通常根據(jù)客戶具體要求來提供清洗機(jī)。
目前市面上最便宜的單片清洗設(shè)備是兩個(gè)腔體的50-60萬美金,而6-8個(gè)腔體的單片式清洗設(shè)備的價(jià)值大概300-400萬美金。槽式價(jià)格100-200萬美金市場價(jià)格。
國外單片式清洗設(shè)備已經(jīng)發(fā)展到12個(gè)、16個(gè)腔體了,腔體多對(duì)應(yīng)的附屬設(shè)備的介質(zhì)供應(yīng)也多,需要滿足智能化、軟件控制、壓力均等和清洗后的存放等需求。設(shè)備選擇還是更看重良率和技術(shù)更新。
濕法清洗設(shè)備種類很多,從種類和功能上國產(chǎn)設(shè)備目前實(shí)現(xiàn)的只有其中的10%,公司產(chǎn)線達(dá)產(chǎn)以后希望做30%以上的品類,未來我們希望濕法清洗機(jī)臺(tái)的國產(chǎn)化率可以達(dá)到85%,進(jìn)口替代能夠大大增加國內(nèi)廠商的競爭實(shí)力,避免國外廠商的價(jià)格壟斷。
清洗設(shè)備在晶圓制造過程中反復(fù)使用,每道工藝都要清洗,是必備工藝,也會(huì)有具體的細(xì)分,14nm是我們目前正在做的。公司的設(shè)計(jì)、制造實(shí)力是可以覆蓋較多種類,但是未來也是步步為營,不可能一蹴而就。我們非常看重客戶需求,未來會(huì)跟動(dòng)客戶需求逐步擴(kuò)張我們的產(chǎn)品線。
據(jù)悉,至純科技濕法事業(yè)部于去年底成立,目前有人員近40人,槽式清洗設(shè)備目前是在日本制造,將來會(huì)放在啟東,新廠樂觀估計(jì)十月份部分交付使用,明年下半年產(chǎn)能有望開始釋放,但達(dá)產(chǎn)仍需過程,最主要的制約因素是高端人才的培訓(xùn)需要比較長的周期。公司在去年年報(bào)提出的目標(biāo)是未來五年內(nèi)實(shí)現(xiàn)清洗設(shè)備累積銷售200臺(tái)。目前第一期設(shè)計(jì)產(chǎn)能是年產(chǎn)48臺(tái)。未來濕法事業(yè)部的團(tuán)隊(duì)規(guī)模有望達(dá)到300-400人。
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原文標(biāo)題:這家國內(nèi)設(shè)備廠商正式打入中芯國際
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