集成電路新建項目機電二次配設備安裝與連接環(huán)節(jié)有哪些注意事項？

集成電路新建項目機電二次配設備安裝與連接環(huán)節(jié)有哪些注意事項？-江蘇泊蘇系統(tǒng)集成有限公司

設備安裝與連接是集成電路新建項目機電二次配施工流程中的關鍵環(huán)節(jié)，以下是該環(huán)節(jié)的一些注意事項：

1，設備搬運與就位

（1）設備防護：在搬運設備前，需對設備進行全面防護，避免在搬運過程中受到碰撞、刮擦或損壞。對于精密設備，要使用專門的防護包裝，如氣墊、泡沫等進行包裹。

(2)搬運工具選擇：根據設備的重量、尺寸和形狀，選擇合適的搬運工具和設備，如叉車、吊車、平板車等。確保搬運工具的承載能力和性能滿足設備搬運的要求，并由專業(yè)人員操作。

(3)就位精度控制：設備就位時，要嚴格按照設計要求和設備安裝手冊進行操作，使用精確的測量工具，如水準儀、經緯儀等，控制設備的水平度、垂直度和位置偏差。對于高精度的集成電路生產設備，就位精度可能要求達到微米級別。

2,設備安裝固定

(1)基礎處理：設備安裝的基礎必須牢固、平整，符合設備的承載要求。在安裝前，要對基礎進行檢查和驗收，確保基礎的尺寸、強度、平整度等指標符合設計標準。對于一些大型、重型設備，可能需要進行特殊的基礎處理，如加固、減震等。

(2)固定方式選擇：根據設備的類型和特點，選擇合適的固定方式，如地腳螺栓固定、焊接固定、膨脹螺栓固定等。固定螺栓的規(guī)格、數量和擰緊力矩應符合設備安裝要求，確保設備在運行過程中不會發(fā)生位移或振動。

(3)減震措施：為減少設備運行時產生的振動對周邊環(huán)境和其他設備的影響，對于一些高精密設備或容易產生振動的設備，需要安裝減震器或采取其他減震措施。減震器的選型和安裝位置應根據設備的振動特性和設計要求進行確定。

3,電氣連接

(1)接線規(guī)范：嚴格按照電氣規(guī)范和設備接線圖進行電氣連接，確保電線電纜的選型正確、敷設整齊、連接牢固。接線端子要擰緊，避免出現松動、虛接等現象，防止因接觸不良而產生發(fā)熱、打火等安全隱患。

(2)接地與防雷：設備的接地系統(tǒng)必須可靠，接地電阻應符合設計要求。接地線路要單獨敷設，避免與其他電氣線路混合，防止接地故障影響設備的正常運行和人員安全。同時，根據項目所在地的雷電情況，采取相應的防雷措施，如安裝防雷器等。

(3)線纜標識：在電氣連接完成后，要對電線電纜進行清晰、準確的標識，注明線纜的用途、起點、終點、規(guī)格等信息，以便于后期的維護和管理。

4,管道連接

(1)管道清潔與吹掃：在管道連接前，必須對管道內部進行清潔和吹掃，去除管道內的雜質、油污、灰塵等異物，確保管道內部干凈、無堵塞。對于一些特殊的工藝管道，如工藝氣體管道、高純水管道等，還需要進行嚴格的脫脂、酸洗、鈍化等處理。

(2)連接方式與密封：根據管道的材質、介質和壓力等要求，選擇合適的連接方式，如焊接、法蘭連接、螺紋連接等。在連接過程中，要確保連接部位的密封性，使用合適的密封材料，如墊片、密封圈等，并按照規(guī)定的扭矩擰緊連接螺栓。

(3)管道坡度與排水：對于有坡度要求的管道，如給排水管道、冷凝水管道等，要嚴格按照設計要求控制管道的坡度，確保管道內的液體能夠順利排放，避免出現積水現象。

5，系統(tǒng)聯(lián)動與調試準備

（1）設備檢查與測試：在設備安裝與連接完成后，要對設備進行全面的檢查和測試，包括設備的機械性能、電氣性能、安全性能等方面。檢查設備的運行參數是否正常，各部件之間的配合是否良好，確保設備在進入系統(tǒng)聯(lián)動調試前處于最佳狀態(tài)。

（2）與其他系統(tǒng)的接口協(xié)調：集成電路生產涉及多個系統(tǒng)的協(xié)同工作，設備安裝與連接完成后，要與其他相關系統(tǒng)進行接口協(xié)調和聯(lián)調測試。確保設備與電氣系統(tǒng)、暖通系統(tǒng)、工藝氣體系統(tǒng)等之間的信號傳輸、控制邏輯、運行參數等方面相互匹配、協(xié)調一致。