采用標(biāo)準(zhǔn)的CMOS工藝和掩膜技術(shù)制造而成的NEMS傳感器

微訪談：Nanusens首席執(zhí)行官Josep Montanya i Silvestre

據(jù)麥姆斯咨詢報道，NANUSENS的NEMS（Nano Electro Mechanical Systems）傳感器采用標(biāo)準(zhǔn)的CMOS工藝和掩膜技術(shù)制造而成。在NANUSENS的工藝中，使用HF蒸汽（vHF）通過鈍化層中的焊盤開口蝕刻金屬層間介電質(zhì)（IMD），以獲得納米傳感器的傳感結(jié)構(gòu)。然后將孔洞密封，根據(jù)需要對芯片進行封裝。由于該傳感器僅采用了標(biāo)準(zhǔn)的CMOS工藝，并且能夠直接和所需要的有源電路集成，因此，這款傳感器能夠獲得和CMOS器件一樣的高良率。Nanusens稱，它們的解決方案將傳感器設(shè)計尺寸降低了一個數(shù)量級，從MEMS（Micro Electro Mechanical Systems）器件1~2um的線性特征尺寸降低到NEMS的0.3um。這使器件微結(jié)構(gòu)的表面積從兩個維度上降低了接近兩個數(shù)量級，因而顯著降低了微觀引力，解決了MEMS慣性傳感器所面臨的黏附問題。近期，我們有幸采訪了Nanusens首席執(zhí)行官Josep Montanyà i Silvestre先生。Q：你們正在研究什么技術(shù)？為什么選擇這個技術(shù)方案？Josep Montanya i Silvestre：我們正在開發(fā)慣性傳感器。我們的技術(shù)可以采用CMOS工藝生產(chǎn)許多不同類型的NEMS器件。我們之所以選擇從慣性傳感器開始，主要出于兩個原因。首先，是因為基于之前Baolab Microsystems 的研究成果，以及后來在UPC（加泰羅尼亞理工大學(xué)）進行的慣性傳感器研究，我們在這些研究工作的基礎(chǔ)上進行了繼續(xù)開發(fā)。另一個原因，是我們認(rèn)識到如果我們能夠提供客戶一直所追求的——低成本或高性能，這將會是一個很好的商機。目前，我們正在朝著這兩個方向開發(fā)。目前我們開發(fā)進度最快的一款器件，具有更低的成本，我們將率先將其推向市場。之后，我們將開發(fā)性能更高的產(chǎn)品。再之后，我們會繼續(xù)開發(fā)慣性傳感器之外的其它NEMS器件。本質(zhì)上來說，我們的技術(shù)可以利用CMOS工藝來制造器件，這使我們的市場響應(yīng)更快。

Nanusens開發(fā)的NEMS運動傳感器Q：能否詳細介紹一下你們的技術(shù)起源？Josep Montanya i Silvestre：我們的技術(shù)源自Boalab Microsystems在過去10多年里的研究積累。該公司在2014年因為某些戰(zhàn)略決策問題而倒閉了。核心員工團隊后來創(chuàng)立了Nanusens。

Nanusens公司的CMOS NEMS制造工藝Q：請介紹一下你們目前的融資情況？Josep Montanya i Silvestre：Nanusens目前已經(jīng)完成融資210萬美元，來自Barcelona （巴塞羅那）的Inveready和Caixa Capital Risc領(lǐng)投，跟投方包括來自荷蘭的Dieco Capital。如我剛才所述，Nanusens受益于此前Baolab Microsystems的所有研究成果，Baolab Microsystems在倒閉前已經(jīng)融資1200萬美元。Q：你們目前面臨的主要挑戰(zhàn)有哪些？Josep Montanya i Silvestre：我們的主要挑戰(zhàn)是按照融資要求完成產(chǎn)品開發(fā)，快速地開拓市場。我們目前的投資方給予了全力支持，完成了新一輪融資。不過，它們是種子輪融資，因此，在投資額方面有很多限制。我們已經(jīng)按照融資要求，將首款產(chǎn)品推向了市場。我們目前正在尋求新的投資，以加速這款產(chǎn)品及其它新產(chǎn)品的開發(fā)，以避免潛在的機遇延誤。Q：你們的公司愿景是什么？未來5~10年將如何發(fā)展？Josep Montanya i Silvestre：我們公司的愿景是為多種MEMS傳感器創(chuàng)建新的標(biāo)準(zhǔn)。它們需要從MEMS轉(zhuǎn)向NEMS，亦即從微米級轉(zhuǎn)向納米級，能夠獲得更好的器件性能和可靠性。并且，它們還需要從各自的工藝，轉(zhuǎn)而采用標(biāo)準(zhǔn)的CMOS工藝，以獲得量產(chǎn)成本優(yōu)勢，更快的產(chǎn)品上市時間，以及更高的產(chǎn)能和第二貨源。Q：你們今年的產(chǎn)品規(guī)劃是？2018年的主要里程碑包括？Josep Montanya i Silvestre：2018年首要實現(xiàn)的里程碑是將我們的首款慣性傳感器產(chǎn)品完成上市，預(yù)計將于2018年第二季度進行。除此之外，我們計劃在2017年末或2018年初完成新一輪融資，幫助我們進一步加快開發(fā)，降低延誤市場機遇的風(fēng)險。Q：你們現(xiàn)在在尋求產(chǎn)業(yè)合作伙伴嗎？如果是，你們需要哪些類型的合作伙伴？Josep Montanya i Silvestre：我們是一家Fabless半導(dǎo)體企業(yè)，我們的供應(yīng)鏈很清晰，從GLOBAL FOUNDRIES（格羅方德）開始，它們提供CMOS晶圓代工服務(wù)，最后是來自中國的EDOM等分銷商，它們都是頂級的合作伙伴。不僅如此，雖然我們的技術(shù)已經(jīng)擁有許多用戶案例和應(yīng)用，我們?nèi)詫⒗^續(xù)開拓合作伙伴，與其它希望利用我們技術(shù)解決特定應(yīng)用的半導(dǎo)體公司合作，或者進行戰(zhàn)略投資，或者建立聯(lián)合開發(fā)合作關(guān)系。我們采用CMOS工藝制造的納米傳感器，可以嵌入所有的CMOS IC。這將帶來更多可能，而這不是我們能夠單獨完成的。