佳能2024年將發(fā)布第六代玻璃基板FPD曝光設(shè)備新品MPAsp-E100

2024 年 6 月初，佳能中國宣布將于市場推出支持第六代玻璃基板的全新 FPD 曝光設(shè)備——MPAsp-E1003H。FPD 即平板顯示器，有多種類型如 LCD、OLED、LED、PDP、ELD、FED、投影顯示等等。

據(jù)悉，此款設(shè)備采用投影光學(xué)系統(tǒng)，具備高達 1.5μm 的分辨率以及擴大近 1.2 倍的曝光幅面，有助于提高生產(chǎn)效率。該投影光學(xué)系統(tǒng)曾應(yīng)用于“MPAsp-H1003H”，成功用于生產(chǎn) 65 英寸面板，滿足大型電視等需求。

在生產(chǎn)智能手機面板等產(chǎn)品時，新設(shè)備只需 4shot 曝光，相較之前的 6shot 曝光，生產(chǎn)性能顯著提升。此外，在生產(chǎn)車載橫向大型特殊顯示器時，新設(shè)備亦可實現(xiàn)無接縫 2shot 曝光。值得注意的是，新設(shè)備驅(qū)動速度提升約 60%，tact time 提升約 14%，極大地提高了量產(chǎn)效率。

佳能指出，新設(shè)備不僅采用與支持第六代玻璃基板的“MPAsp-E813H”相同的多點同時測量對位方式，確保高效生產(chǎn)的同時保持高精度曝光，而且搭載了新研發(fā)的非線性補正 REI 模塊，即便曝光幅面擴大仍能達到±0.30μm 的高套刻精度。

此外，新設(shè)備延續(xù)了“MPAsp-H1003H”的超分辨率技術(shù)，配備照明模式切換機構(gòu)，可根據(jù)圖案種類切換照明模式，適應(yīng)各種制造工序的曝光需求。

在形成圓弧光的機構(gòu)中，新設(shè)備配置曝光狹縫自動調(diào)整機構(gòu)（SIC），通過自動調(diào)節(jié)光線通過的狹縫寬度，改變曝光光線的強度分布，以實現(xiàn)穩(wěn)定的曝光線寬。

同時，新設(shè)備采用universe chuck，可根據(jù)曝光布局自由選擇玻璃基板縱橫方向，首次實現(xiàn)滿足車載顯示器多樣化布局需求。佳能表示，MPAsp-E1003H 通過強化制造工序的工藝應(yīng)對能力，確保制造質(zhì)量更穩(wěn)定。