前言:【核芯觀察】是電子發(fā)燒友編輯部出品的深度系列專(zhuān)欄,目的是用最直觀的方式令讀者盡快理解電子產(chǎn)業(yè)架構(gòu),理清上、中、下游的各個(gè)環(huán)節(jié),同時(shí)迅速了解各大細(xì)分環(huán)節(jié)中的行業(yè)現(xiàn)狀。本期【核芯觀察】,將對(duì)IMU慣性傳感器產(chǎn)業(yè)鏈上下游進(jìn)行梳理,從市場(chǎng)現(xiàn)狀、應(yīng)用場(chǎng)景、產(chǎn)業(yè)鏈構(gòu)成、產(chǎn)業(yè)鏈企業(yè)分布、發(fā)展趨勢(shì)等幾個(gè)部分剖析IMU產(chǎn)業(yè)。
MEMS IMU產(chǎn)業(yè)鏈
IMU產(chǎn)業(yè)鏈上游主要是設(shè)計(jì)、MEMS晶圓制造、封裝測(cè)試等幾個(gè)部分。在設(shè)計(jì)方面,國(guó)內(nèi)企業(yè)在加速度計(jì)的領(lǐng)域具備較強(qiáng)設(shè)計(jì)研發(fā)能力,在消費(fèi)電子端的單軸、二軸、三軸MEMS加速度計(jì)都有不少高端產(chǎn)品。MEMS IMU一般是由加速度計(jì)和陀螺儀組成,而在MEMS 陀螺儀方面,由于設(shè)計(jì)難度更大,國(guó)內(nèi)能夠推出高性能民用產(chǎn)品的廠商就比較少了。
在IMU產(chǎn)業(yè)鏈上游,國(guó)內(nèi)主要廠商有明皜傳感、矽睿科技、芯動(dòng)聯(lián)科、美新半導(dǎo)體、深迪半導(dǎo)體、美泰電子、士蘭微等。其中美新半導(dǎo)體、美泰電子、士蘭微走IDM模式,具備MEMS晶圓制造以及封測(cè)能力。
海外MEMS IMU上游廠商大多具備IDM能力,包括博世、ST、TDK、霍尼韋爾、ADI等。
IMU產(chǎn)業(yè)鏈下游主要是系統(tǒng)集成商,傳感器芯片對(duì)外采購(gòu)或自產(chǎn)。其中包括向下游終端應(yīng)用提供IMU/慣導(dǎo)模塊的廠商,主要是在汽車(chē)、工業(yè)等領(lǐng)域應(yīng)用。國(guó)內(nèi)廠商包括導(dǎo)遠(yuǎn)電子、經(jīng)緯恒潤(rùn)、美泰電子、華依科技、原極科技等。另外消費(fèi)電子領(lǐng)域,包括智能手機(jī)、VR/AR、游戲手柄、無(wú)人機(jī)、家用機(jī)器人等都會(huì)用到MEMS IMU。
主流MEMS IMU廠商產(chǎn)品線
在整理主流廠商的MEMS IMU產(chǎn)品線時(shí),我們先來(lái)了解IMU的關(guān)鍵參數(shù)。
測(cè)量范圍與靈敏度:測(cè)量范圍是指陀螺儀正反方向輸入角速率的最大值;靈敏度是指在規(guī)定的輸入角速率下能測(cè)量到的最小輸入角速率增量。一般來(lái)說(shuō),ADC精度一定時(shí),測(cè)量范圍越大,靈敏度越低,需要根據(jù)應(yīng)用需求選擇產(chǎn)品。加速度計(jì)中則是可以測(cè)量的加速度幅度范圍,與靈敏度成正比,單位為g(地球重力)。
封裝誤差:陀螺儀裝配精度相對(duì)于芯片內(nèi)Z軸加速度計(jì)所測(cè)量的重力加速度方向誤差,以及裸片對(duì)角線與封裝對(duì)角線的夾角誤差。
噪聲:當(dāng)陀螺儀處于零輸入狀態(tài)時(shí),輸出信號(hào)為白噪聲和慢變隨機(jī)函數(shù)的疊加。白噪聲可以用角度隨機(jī)游走系數(shù)來(lái)表示,這是指由白噪聲產(chǎn)生的隨時(shí)間積累的陀螺輸出誤差系數(shù)。
帶寬:指陀螺儀能夠精確測(cè)量輸入角速度的頻率范圍,范圍越大陀螺的動(dòng)態(tài)響應(yīng)能力越強(qiáng)。
分辨率:通常僅對(duì)數(shù)字輸出加速度計(jì)或結(jié)合了模數(shù)轉(zhuǎn)換器的系統(tǒng)給出加速度計(jì)的分辨
率。分辨率通常會(huì)指定為位,然后可用于計(jì)算加速度單位的分辨率。
溫度敏感性:MEMS傳感器由于是機(jī)械系統(tǒng),材料受到溫度影響會(huì)導(dǎo)致測(cè)量結(jié)果出現(xiàn)偏差或影響靈敏度,因此需要定義傳感器靈敏度如何隨溫度變化,一般用每攝氏度的百分比偏移來(lái)表示。
從全球市場(chǎng)來(lái)看,目前MEMS IMU的頭部廠商有博世、霍尼韋爾、ST、TDK、ADI等。
博世:
博世是全球最大的汽車(chē)Tier1供應(yīng)商,同時(shí)在MEMS傳感器領(lǐng)域也位于頭部地位。博世的MEMS IMU產(chǎn)品覆蓋汽車(chē)、智能手機(jī)、可穿戴設(shè)備、AR 和 VR、無(wú)人機(jī)、游戲和機(jī)器人等應(yīng)用領(lǐng)域。
博世的IMU產(chǎn)品主要有面向消費(fèi)電子的BMI系列和面向汽車(chē)應(yīng)用的SMI系列,產(chǎn)品線非常豐富。以幾個(gè)重點(diǎn)產(chǎn)品為例,BMI270是一款針對(duì)可穿戴設(shè)備優(yōu)化的超低功耗IMU,適用于腕戴設(shè)備的集成即插即用計(jì)步器/檢測(cè)器、助聽(tīng)器、智能服裝、智能鞋、智能眼鏡和腳踝帶等等。BMI270作為6軸傳感器,集成了一個(gè)16位三軸陀螺儀和一個(gè)16位三軸加速度計(jì),采用博世汽車(chē)成熟的陀螺儀技術(shù)。
其中加速度計(jì)測(cè)量范圍±2 g(靈敏度:16384 LSB/g)到±16 g(2048 LSB/g),分辨率為16位或0.06 mg/LSB;陀螺儀測(cè)量范圍±125 dps(262.1 LSB/dps)到±2000 dps(16.4 LSB/dps),分辨率為16位或0.004 dps/LSB,靈敏度誤差均為0.4%。BMI270在最高數(shù)據(jù)輸出速率時(shí)的電流消耗是685μA。
BMI088主要針對(duì)無(wú)人機(jī)和機(jī)器人應(yīng)用,由一個(gè)16位三軸加速計(jì)和16位三軸陀螺儀組成,主要特點(diǎn)是高抗震性和出色的溫度穩(wěn)定性,可以降低系統(tǒng)層面的設(shè)計(jì)工作量和成本。相比BMI272,BMI088由于應(yīng)用場(chǎng)景不同,首先是測(cè)量范圍更大,加速度計(jì)從3g到24g,陀螺儀從± 125°/s到2000°/s,但相對(duì)地功耗也更高,工作電流消耗最高是5.15mA。
在汽車(chē)ADAS應(yīng)用中,對(duì)IMU的要求則更高。SMI270是博世推出用于半自動(dòng)駕駛的ASIL B級(jí)6合1慣性傳感器,可以實(shí)現(xiàn)對(duì)六個(gè)自由度(偏航、俯仰、翻滾速率以及x、y和z方向的加速度)的所有測(cè)量。典型應(yīng)用包括L2級(jí)半自動(dòng)駕駛、自動(dòng)駕駛和定位應(yīng)用,并可集成到攝像頭、雷達(dá)或激光雷達(dá)設(shè)備中。
SMI270測(cè)量范圍為±300或±500 °/s,±4 g或±16 g ,分辨率為16位,靈敏度為100 或50 LSB/°/s,8000 或2000 LSB/g誤差均為±2 %,供電電壓3.3V,電流小于5mA。另外由于是為汽車(chē)應(yīng)用設(shè)計(jì)的產(chǎn)品,SMI270的工作溫度范圍也相比消費(fèi)級(jí)更高,達(dá)到-40-125℃。
霍尼韋爾:
霍尼韋爾的慣性測(cè)量單元IMU產(chǎn)品在航空領(lǐng)域應(yīng)用廣泛,而基于航空領(lǐng)域積累的高端IMU產(chǎn)品技術(shù)優(yōu)勢(shì),霍尼韋爾也將產(chǎn)品拓展至工業(yè)、無(wú)人機(jī)、機(jī)器人等領(lǐng)域,目前霍尼韋爾官網(wǎng)主要展示的也是工業(yè)應(yīng)用的產(chǎn)品。
在霍尼韋爾官網(wǎng)上,IMU慣性測(cè)量單元產(chǎn)品主要是HG4930、i300、i400等,還有一些慣性傳感器和GNSS組合的慣性導(dǎo)航系統(tǒng)。以HG4960為例,HG4930是一款高性能MEMS IMU,專(zhuān)為滿足各種市場(chǎng)的應(yīng)用需求設(shè)計(jì),廣泛用于農(nóng)業(yè)、AUV、工業(yè)設(shè)備、機(jī)器人、勘測(cè)/測(cè)繪、穩(wěn)定化平臺(tái)、運(yùn)輸、無(wú)人機(jī)(UAV)和無(wú)人地面車(chē)輛(UGV)等領(lǐng)域。憑借行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)通信接口,HG4930可輕松集成到各種架構(gòu)中。
HG4930主要優(yōu)勢(shì)是在同等尺寸和價(jià)格下性能優(yōu)良,具備先進(jìn)的IMU開(kāi)發(fā)、校準(zhǔn)和補(bǔ)償能力,對(duì)比光纖陀螺儀是尺寸更小、功耗更低、更有成本效益的替代產(chǎn)品。
HG4930還有更高端的S級(jí)配置,主要為滿足平臺(tái)穩(wěn)定應(yīng)用的需求設(shè)計(jì),在保證精度的同時(shí),優(yōu)化延遲和帶寬。HG4930 S級(jí)的典型應(yīng)用包括相機(jī)等光學(xué)傳感器,以及天線穩(wěn)定等。
ST:
意法半導(dǎo)體在MEMS領(lǐng)域布局較早,產(chǎn)品線覆蓋MEMS麥克風(fēng)、壓力傳感器、加速度計(jì)、陀螺儀等。在IMU產(chǎn)品上,ST的產(chǎn)品應(yīng)用場(chǎng)景覆蓋汽車(chē)、工業(yè)、消費(fèi)電子等,目前官網(wǎng)顯示有15款I(lǐng)MU產(chǎn)品,包括消費(fèi)電子應(yīng)用的LSM6D系列、ISM系列工業(yè)應(yīng)用IMU、和ASM系列汽車(chē)應(yīng)用IMU。
2022年,ST推出了第三代MEMS傳感器,新一代的MEMS傳感器產(chǎn)品中有一個(gè)特性,就是加入了機(jī)器學(xué)習(xí)內(nèi)核,可以用于AI應(yīng)用。比如在工業(yè)產(chǎn)品中,通過(guò)邊緣計(jì)算能力對(duì)設(shè)備進(jìn)行預(yù)測(cè)性維護(hù)。
在汽車(chē)應(yīng)用上,以型號(hào)為ASM330LHB的六軸IMU為例,符合AEC-Q100標(biāo)準(zhǔn),工作溫度范圍達(dá)到-40℃至+105℃。其中加速度計(jì)用戶可選滿量程加速度范圍為±2/±4/±8/±16 g,陀螺儀測(cè)量范圍從±125到±4000 dps。同時(shí)ASM330LHB在所有設(shè)計(jì)環(huán)節(jié)都經(jīng)過(guò)優(yōu)化,可實(shí)現(xiàn)有利于傳感器輔助應(yīng)用(例如航跡推測(cè)和傳感器融合)的更高輸出穩(wěn)定性、極低噪聲和完全的數(shù)據(jù)同步。
消費(fèi)應(yīng)用上,以六軸IMU LSM6DSM為例,由于面向具有OIS / EIS和AR/VR系統(tǒng)的智能手機(jī),因此低功耗、高精度、穩(wěn)定性是主要的特性。在低功耗方面,LSM6DSM在高性能模式下以0.65 mA的電流工作,并且具有始終開(kāi)啟的低功耗特性。其中加速度計(jì)支持±2/±4/±8/±16 g滿量程,陀螺儀支持角速度范圍為±125/±250/±500/±1000/±2000 dps。
另外針對(duì)智能手機(jī)應(yīng)用,LSM6DSM還支持智能嵌入式功能,比如計(jì)步器、步伐檢測(cè)器、步伐計(jì)數(shù)器、大幅運(yùn)動(dòng)和傾斜度檢測(cè)功能;同時(shí)支持標(biāo)準(zhǔn)中斷,包括自由落體、喚醒、6D/4D方向檢測(cè)、單擊和雙擊;對(duì)機(jī)械沖擊具有高度耐用性。
TDK(InvenSense):
TDK的MEMS IMU產(chǎn)品線源自InvenSense,2016年TDK斥資13億美元收購(gòu)所有股份。InvenSense當(dāng)時(shí)主要為蘋(píng)果、三星等智能手機(jī)廠商供應(yīng)IMU,在智能手機(jī)領(lǐng)域市場(chǎng)份額極高。
InvenSense的制造平臺(tái)相比傳統(tǒng)的MEMS工藝結(jié)構(gòu)也有些區(qū)別,專(zhuān)利的Nasiri-Fabrication制程令其MEMS器件能夠在晶圓層級(jí)直接整合MEMS機(jī)械結(jié)構(gòu)與CMOS集成電路,使得芯片尺寸更小。
目前TDK官網(wǎng)上顯示,從IMU產(chǎn)品來(lái)看,主要有六軸、七軸、九軸三大IMU產(chǎn)品系列,其中七軸是三軸陀螺儀+三軸加速度計(jì)+氣壓傳感器,九軸IMU則是三軸陀螺儀+三軸加速度計(jì)+三軸羅盤(pán)。
應(yīng)用領(lǐng)域方面,主要有面向機(jī)器人應(yīng)用的TDK RoboKit1 SmartRobotics平臺(tái),面向汽車(chē)應(yīng)用的TDK SmartAutomotive產(chǎn)品,面向工業(yè)應(yīng)用的TDK SmartIndustrial產(chǎn)品,當(dāng)然也有面向智能手機(jī)和穿戴、IoT等市場(chǎng)的產(chǎn)品。
汽車(chē)應(yīng)用的IMU主要是IAM系列的五款產(chǎn)品。
工業(yè)應(yīng)用的IMU主要是IIM系列的兩款產(chǎn)品,可應(yīng)用于農(nóng)業(yè)、建筑設(shè)備、高清地圖測(cè)繪/測(cè)量和地理配準(zhǔn)、工業(yè)/倉(cāng)庫(kù)和汽車(chē)機(jī)器人技術(shù)、高精度 GNSS/INS 導(dǎo)航系統(tǒng)與自主投遞系統(tǒng)等。
ICM系列則面向消費(fèi)電子產(chǎn)品,可應(yīng)用于AR/VR、HMD、可穿戴設(shè)備、IoT設(shè)備、無(wú)人機(jī)、遙控器等。
ADI:
ADI在MEMS行業(yè)發(fā)展中起到了舉足輕重的作用,早在1991年,ADI就推出了世界上第一款成功開(kāi)發(fā)、制造并商用的MEMS加速度計(jì)ADXL50;到2002年ADI又推出了第一款集成式MEMS陀螺儀ADXRS150。
ADI的IMU產(chǎn)品目前有43款,其中ADXC系列用于汽車(chē)應(yīng)用,比如ADXC1500。ADXC1500是針對(duì)汽車(chē)電子穩(wěn)定系統(tǒng)、底盤(pán)控制等同時(shí)需要偏航角速度和加速度信號(hào)的高性能應(yīng)用而設(shè)計(jì),內(nèi)部集成溫度傳感器可補(bǔ)償偏移和靈敏度性能,在?40°C至+105°C溫度范圍內(nèi)提供出色的穩(wěn)定性。在整個(gè)工作溫度范圍內(nèi)的加速度計(jì)偏置穩(wěn)定性為±30 mg,陀螺儀零點(diǎn)穩(wěn)定性為±2°/秒;加速度計(jì)噪聲為2.5 mg rms(典型值,35.6 Hz時(shí)),陀螺儀噪聲為0.1°/秒(典型值,35.6 Hz時(shí)),陀螺儀的線性加速度抑制0.03°/秒/g,加速度計(jì)則具備±32 g過(guò)載性能。
另外其他產(chǎn)品主要用于工業(yè)、農(nóng)業(yè)、無(wú)人機(jī)、自動(dòng)駕駛、導(dǎo)航、AR/VR、運(yùn)動(dòng)物聯(lián)網(wǎng)等領(lǐng)域,甚至還包括戰(zhàn)術(shù)級(jí)產(chǎn)品。以ADIS16495為例,戰(zhàn)術(shù)級(jí)的主要特點(diǎn)是精度更高,ADI表示該IMU在工廠針對(duì)各傳感器的靈敏度、偏置、對(duì)準(zhǔn)和線性加速度(陀螺偏置)進(jìn)行校準(zhǔn)。因此,各傳感器均有其自己的動(dòng)態(tài)補(bǔ)償公式,可提供精確的傳感器測(cè)量。
ADIS16495陀螺儀軸到軸對(duì)齊誤差僅為±0.05°,運(yùn)動(dòng)中偏置穩(wěn)定度為0.8°/小時(shí),角向隨機(jī)游動(dòng)為0.09°/√小時(shí);加速度計(jì)的運(yùn)動(dòng)中偏置穩(wěn)定度為3.2 μg。器件整體的抗沖擊能力達(dá)到1500g。
美泰電子:
美泰電子是中國(guó)電科產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)研究院下屬公司,專(zhuān)注于MEMS器件和系統(tǒng)的研發(fā)、生產(chǎn)和銷(xiāo)售,目前重點(diǎn)面向汽車(chē)領(lǐng)域和工業(yè)領(lǐng)域推出慣性MEMS器件以及壓力器件。
據(jù)電子發(fā)燒友網(wǎng)了解,IMU是美泰電子第一款涉足汽車(chē)領(lǐng)域的產(chǎn)品,并在2017年與車(chē)企合作推出了高精度定位模塊。截至2023年3月IMU出貨量已破百萬(wàn)。
而目前美泰電子官網(wǎng)上有六款I(lǐng)MU產(chǎn)品,比如可應(yīng)用在汽車(chē)無(wú)人駕駛、電子穩(wěn)定系統(tǒng)、組合導(dǎo)航等的MSI313C。
可用于慣導(dǎo)、飛行控制、彈道修正、無(wú)人機(jī)、天線定向等應(yīng)用的MSI370A。
明皜傳感:
明皜傳感主要從事MEMS傳感器的研發(fā)、設(shè)計(jì)和生產(chǎn),并提供相關(guān)技術(shù)服務(wù)。主要產(chǎn)品有:加速度傳感器、陀螺儀、壓力傳感器和磁傳感器,旨在為消費(fèi)電子、汽車(chē)電子、工業(yè)自動(dòng)化以及航空等領(lǐng)域提供所需的產(chǎn)品和集成方案。
明皜傳感目前有兩款I(lǐng)MU導(dǎo)航模塊,MMC124和MMC127,可應(yīng)用于路徑識(shí)別、機(jī)器人自主導(dǎo)航、車(chē)輛導(dǎo)航、無(wú)人機(jī)、醫(yī)療導(dǎo)軌、平衡車(chē)、柜門(mén)開(kāi)關(guān)角度檢測(cè)、工業(yè)機(jī)器人等領(lǐng)域。
矽睿科技:
矽??萍汲闪⒂?012年,專(zhuān)注于高質(zhì)量傳感器產(chǎn)品的設(shè)計(jì)、制造,以及增值應(yīng)用與服務(wù),致力于成為以應(yīng)用為導(dǎo)向的多傳感器平臺(tái),提供智能、集成、經(jīng)濟(jì)的傳感器解決方案。公司產(chǎn)品包括多款MEMS傳感器,如六軸IMU、加速度計(jì)、環(huán)境傳感器、組合傳感器等;磁性傳感器芯片,如磁力計(jì)、磁編碼器、電流傳感器、霍爾傳感器等;及汽車(chē)與物聯(lián)網(wǎng)智能模組和系統(tǒng)。應(yīng)用市場(chǎng)聚焦智能手機(jī)、智能穿戴、物聯(lián)網(wǎng)、智能制造,汽車(chē)電子,并向智慧醫(yī)療、元宇宙、自動(dòng)駕駛市場(chǎng)演進(jìn)。
矽睿科技目前推出了一款I(lǐng)MU產(chǎn)品Q(chēng)MI8658,這是一款低噪聲、高帶寬的六軸慣性測(cè)量單元(IMU),包含一個(gè)三軸陀螺儀和一個(gè)三軸加速計(jì),采用2.5 x 3.0 x 0.86 mm 14-pin LGA 封裝。支持多種通訊接口:I3C、I2C和SPI。內(nèi)置AttitudeEngine,可滿足慣性導(dǎo)航高精度低功耗的要求,即使在低速率情況下的數(shù)據(jù)輸出也可保持高精度。
其中陀螺儀動(dòng)態(tài)范圍±16°/s 至 ±2048°/s,加速度計(jì)動(dòng)態(tài)范圍±2 g 至 ±16 g。 可應(yīng)用于:智慧手機(jī)、智慧可穿戴設(shè)備、TWS耳機(jī)、游戲手柄、空鼠、無(wú)人機(jī)、掃地機(jī)器人、攝像頭、升降桌、二輪電動(dòng)車(chē)、投影儀、平板、T-box等,實(shí)現(xiàn)運(yùn)動(dòng)姿態(tài)解算,手勢(shì)或頭部姿勢(shì)識(shí)別與追蹤,傾斜角度檢測(cè)等作用。
美新半導(dǎo)體:
美新半導(dǎo)體于1999年成立,擁有二十多年的MEMS傳感器研發(fā)及生產(chǎn)技術(shù)積累,是中國(guó)最早的IDM模式慣性傳感器供應(yīng)商之一,因此在封測(cè)、晶圓制造上具備核心競(jìng)爭(zhēng)力。美新半導(dǎo)體提供從MEMS傳感芯片、軟件算法和應(yīng)用方案的一站式解決方案,產(chǎn)品包括熱式加速度計(jì)、電容式加速度計(jì)、AMR地磁傳感器、低功耗霍爾開(kāi)關(guān)、六軸IMU等。
美新半導(dǎo)體的六軸IMU產(chǎn)品目前官網(wǎng)只展示了MIC6102AL一款產(chǎn)品,該產(chǎn)品集成了3軸陀螺儀和3軸加速度計(jì),支持游戲手柄及智能遙控器等體感互動(dòng)系統(tǒng)。
深迪半導(dǎo)體
深迪成立于2008年,是中國(guó)首家研發(fā)設(shè)計(jì)商用消費(fèi)級(jí)和汽車(chē)級(jí)微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)陀螺儀系列慣性傳感器的公司。產(chǎn)品主要應(yīng)用于IOT,手機(jī)智能終端,智能家居,人工智能,工業(yè)和智能駕艙等領(lǐng)域。
目前公司官網(wǎng)展出了三款六軸IMU產(chǎn)品,SH3001、SH3201、SH5001。
以SH3001為例,SH3001內(nèi)部集成三軸陀螺儀以及三軸加速度計(jì),采用14 Pins LGA封裝,尺寸僅為2.5×3.0×1.0mm3,尺寸小,功耗低,適用于消費(fèi)電子市場(chǎng)應(yīng)用,能提供高精度的實(shí)時(shí)角速度與線加速度數(shù)據(jù)。其中陀螺儀量程(dps)為±125、 ±250、±500、±1000、±2000,靈敏度(LSB/°/s)為262、131、65.5、32.8、16.4;加速度計(jì)量程(g)為 ±2、±4、 ±8、 ±16,靈敏度(LSB/g)為16384,8192,4096,2048。
而SH5001是SH3001和SH3201的迭代產(chǎn)品,在原有的產(chǎn)品特性上增加了OIS光學(xué)防抖和雙路SPI通訊,陀螺性能更高。
小結(jié):
整體來(lái)看,海外大廠由于入局較早,目前已經(jīng)具備較為完備的IMU產(chǎn)品線,產(chǎn)品規(guī)格數(shù)量、針對(duì)的應(yīng)用領(lǐng)域等都較為豐富。目前國(guó)內(nèi)的IMU產(chǎn)品在性能參數(shù)上也開(kāi)始追趕海外廠商的產(chǎn)品,但在可靠性、穩(wěn)定性上仍需要更多時(shí)間去驗(yàn)證和改善,同時(shí)產(chǎn)品線規(guī)模較小,產(chǎn)品覆蓋的應(yīng)用領(lǐng)域相對(duì)較小。當(dāng)然,在自動(dòng)駕駛、機(jī)器人、無(wú)人機(jī)等領(lǐng)域的需求增長(zhǎng)下,國(guó)內(nèi)IMU廠商將會(huì)迎來(lái)更大的市場(chǎng)機(jī)會(huì),這也將持續(xù)帶動(dòng)國(guó)產(chǎn)IMU的產(chǎn)品升級(jí)。
MEMS IMU產(chǎn)業(yè)鏈
IMU產(chǎn)業(yè)鏈上游主要是設(shè)計(jì)、MEMS晶圓制造、封裝測(cè)試等幾個(gè)部分。在設(shè)計(jì)方面,國(guó)內(nèi)企業(yè)在加速度計(jì)的領(lǐng)域具備較強(qiáng)設(shè)計(jì)研發(fā)能力,在消費(fèi)電子端的單軸、二軸、三軸MEMS加速度計(jì)都有不少高端產(chǎn)品。MEMS IMU一般是由加速度計(jì)和陀螺儀組成,而在MEMS 陀螺儀方面,由于設(shè)計(jì)難度更大,國(guó)內(nèi)能夠推出高性能民用產(chǎn)品的廠商就比較少了。
在IMU產(chǎn)業(yè)鏈上游,國(guó)內(nèi)主要廠商有明皜傳感、矽睿科技、芯動(dòng)聯(lián)科、美新半導(dǎo)體、深迪半導(dǎo)體、美泰電子、士蘭微等。其中美新半導(dǎo)體、美泰電子、士蘭微走IDM模式,具備MEMS晶圓制造以及封測(cè)能力。
海外MEMS IMU上游廠商大多具備IDM能力,包括博世、ST、TDK、霍尼韋爾、ADI等。
IMU產(chǎn)業(yè)鏈下游主要是系統(tǒng)集成商,傳感器芯片對(duì)外采購(gòu)或自產(chǎn)。其中包括向下游終端應(yīng)用提供IMU/慣導(dǎo)模塊的廠商,主要是在汽車(chē)、工業(yè)等領(lǐng)域應(yīng)用。國(guó)內(nèi)廠商包括導(dǎo)遠(yuǎn)電子、經(jīng)緯恒潤(rùn)、美泰電子、華依科技、原極科技等。另外消費(fèi)電子領(lǐng)域,包括智能手機(jī)、VR/AR、游戲手柄、無(wú)人機(jī)、家用機(jī)器人等都會(huì)用到MEMS IMU。
主流MEMS IMU廠商產(chǎn)品線
在整理主流廠商的MEMS IMU產(chǎn)品線時(shí),我們先來(lái)了解IMU的關(guān)鍵參數(shù)。
測(cè)量范圍與靈敏度:測(cè)量范圍是指陀螺儀正反方向輸入角速率的最大值;靈敏度是指在規(guī)定的輸入角速率下能測(cè)量到的最小輸入角速率增量。一般來(lái)說(shuō),ADC精度一定時(shí),測(cè)量范圍越大,靈敏度越低,需要根據(jù)應(yīng)用需求選擇產(chǎn)品。加速度計(jì)中則是可以測(cè)量的加速度幅度范圍,與靈敏度成正比,單位為g(地球重力)。
封裝誤差:陀螺儀裝配精度相對(duì)于芯片內(nèi)Z軸加速度計(jì)所測(cè)量的重力加速度方向誤差,以及裸片對(duì)角線與封裝對(duì)角線的夾角誤差。
噪聲:當(dāng)陀螺儀處于零輸入狀態(tài)時(shí),輸出信號(hào)為白噪聲和慢變隨機(jī)函數(shù)的疊加。白噪聲可以用角度隨機(jī)游走系數(shù)來(lái)表示,這是指由白噪聲產(chǎn)生的隨時(shí)間積累的陀螺輸出誤差系數(shù)。
帶寬:指陀螺儀能夠精確測(cè)量輸入角速度的頻率范圍,范圍越大陀螺的動(dòng)態(tài)響應(yīng)能力越強(qiáng)。
分辨率:通常僅對(duì)數(shù)字輸出加速度計(jì)或結(jié)合了模數(shù)轉(zhuǎn)換器的系統(tǒng)給出加速度計(jì)的分辨
率。分辨率通常會(huì)指定為位,然后可用于計(jì)算加速度單位的分辨率。
溫度敏感性:MEMS傳感器由于是機(jī)械系統(tǒng),材料受到溫度影響會(huì)導(dǎo)致測(cè)量結(jié)果出現(xiàn)偏差或影響靈敏度,因此需要定義傳感器靈敏度如何隨溫度變化,一般用每攝氏度的百分比偏移來(lái)表示。
從全球市場(chǎng)來(lái)看,目前MEMS IMU的頭部廠商有博世、霍尼韋爾、ST、TDK、ADI等。
博世:
博世是全球最大的汽車(chē)Tier1供應(yīng)商,同時(shí)在MEMS傳感器領(lǐng)域也位于頭部地位。博世的MEMS IMU產(chǎn)品覆蓋汽車(chē)、智能手機(jī)、可穿戴設(shè)備、AR 和 VR、無(wú)人機(jī)、游戲和機(jī)器人等應(yīng)用領(lǐng)域。
博世的IMU產(chǎn)品主要有面向消費(fèi)電子的BMI系列和面向汽車(chē)應(yīng)用的SMI系列,產(chǎn)品線非常豐富。以幾個(gè)重點(diǎn)產(chǎn)品為例,BMI270是一款針對(duì)可穿戴設(shè)備優(yōu)化的超低功耗IMU,適用于腕戴設(shè)備的集成即插即用計(jì)步器/檢測(cè)器、助聽(tīng)器、智能服裝、智能鞋、智能眼鏡和腳踝帶等等。BMI270作為6軸傳感器,集成了一個(gè)16位三軸陀螺儀和一個(gè)16位三軸加速度計(jì),采用博世汽車(chē)成熟的陀螺儀技術(shù)。
其中加速度計(jì)測(cè)量范圍±2 g(靈敏度:16384 LSB/g)到±16 g(2048 LSB/g),分辨率為16位或0.06 mg/LSB;陀螺儀測(cè)量范圍±125 dps(262.1 LSB/dps)到±2000 dps(16.4 LSB/dps),分辨率為16位或0.004 dps/LSB,靈敏度誤差均為0.4%。BMI270在最高數(shù)據(jù)輸出速率時(shí)的電流消耗是685μA。
BMI088主要針對(duì)無(wú)人機(jī)和機(jī)器人應(yīng)用,由一個(gè)16位三軸加速計(jì)和16位三軸陀螺儀組成,主要特點(diǎn)是高抗震性和出色的溫度穩(wěn)定性,可以降低系統(tǒng)層面的設(shè)計(jì)工作量和成本。相比BMI272,BMI088由于應(yīng)用場(chǎng)景不同,首先是測(cè)量范圍更大,加速度計(jì)從3g到24g,陀螺儀從± 125°/s到2000°/s,但相對(duì)地功耗也更高,工作電流消耗最高是5.15mA。
在汽車(chē)ADAS應(yīng)用中,對(duì)IMU的要求則更高。SMI270是博世推出用于半自動(dòng)駕駛的ASIL B級(jí)6合1慣性傳感器,可以實(shí)現(xiàn)對(duì)六個(gè)自由度(偏航、俯仰、翻滾速率以及x、y和z方向的加速度)的所有測(cè)量。典型應(yīng)用包括L2級(jí)半自動(dòng)駕駛、自動(dòng)駕駛和定位應(yīng)用,并可集成到攝像頭、雷達(dá)或激光雷達(dá)設(shè)備中。
SMI270測(cè)量范圍為±300或±500 °/s,±4 g或±16 g ,分辨率為16位,靈敏度為100 或50 LSB/°/s,8000 或2000 LSB/g誤差均為±2 %,供電電壓3.3V,電流小于5mA。另外由于是為汽車(chē)應(yīng)用設(shè)計(jì)的產(chǎn)品,SMI270的工作溫度范圍也相比消費(fèi)級(jí)更高,達(dá)到-40-125℃。
霍尼韋爾:
霍尼韋爾的慣性測(cè)量單元IMU產(chǎn)品在航空領(lǐng)域應(yīng)用廣泛,而基于航空領(lǐng)域積累的高端IMU產(chǎn)品技術(shù)優(yōu)勢(shì),霍尼韋爾也將產(chǎn)品拓展至工業(yè)、無(wú)人機(jī)、機(jī)器人等領(lǐng)域,目前霍尼韋爾官網(wǎng)主要展示的也是工業(yè)應(yīng)用的產(chǎn)品。
在霍尼韋爾官網(wǎng)上,IMU慣性測(cè)量單元產(chǎn)品主要是HG4930、i300、i400等,還有一些慣性傳感器和GNSS組合的慣性導(dǎo)航系統(tǒng)。以HG4960為例,HG4930是一款高性能MEMS IMU,專(zhuān)為滿足各種市場(chǎng)的應(yīng)用需求設(shè)計(jì),廣泛用于農(nóng)業(yè)、AUV、工業(yè)設(shè)備、機(jī)器人、勘測(cè)/測(cè)繪、穩(wěn)定化平臺(tái)、運(yùn)輸、無(wú)人機(jī)(UAV)和無(wú)人地面車(chē)輛(UGV)等領(lǐng)域。憑借行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)通信接口,HG4930可輕松集成到各種架構(gòu)中。
HG4930主要優(yōu)勢(shì)是在同等尺寸和價(jià)格下性能優(yōu)良,具備先進(jìn)的IMU開(kāi)發(fā)、校準(zhǔn)和補(bǔ)償能力,對(duì)比光纖陀螺儀是尺寸更小、功耗更低、更有成本效益的替代產(chǎn)品。
HG4930還有更高端的S級(jí)配置,主要為滿足平臺(tái)穩(wěn)定應(yīng)用的需求設(shè)計(jì),在保證精度的同時(shí),優(yōu)化延遲和帶寬。HG4930 S級(jí)的典型應(yīng)用包括相機(jī)等光學(xué)傳感器,以及天線穩(wěn)定等。
ST:
意法半導(dǎo)體在MEMS領(lǐng)域布局較早,產(chǎn)品線覆蓋MEMS麥克風(fēng)、壓力傳感器、加速度計(jì)、陀螺儀等。在IMU產(chǎn)品上,ST的產(chǎn)品應(yīng)用場(chǎng)景覆蓋汽車(chē)、工業(yè)、消費(fèi)電子等,目前官網(wǎng)顯示有15款I(lǐng)MU產(chǎn)品,包括消費(fèi)電子應(yīng)用的LSM6D系列、ISM系列工業(yè)應(yīng)用IMU、和ASM系列汽車(chē)應(yīng)用IMU。
2022年,ST推出了第三代MEMS傳感器,新一代的MEMS傳感器產(chǎn)品中有一個(gè)特性,就是加入了機(jī)器學(xué)習(xí)內(nèi)核,可以用于AI應(yīng)用。比如在工業(yè)產(chǎn)品中,通過(guò)邊緣計(jì)算能力對(duì)設(shè)備進(jìn)行預(yù)測(cè)性維護(hù)。
在汽車(chē)應(yīng)用上,以型號(hào)為ASM330LHB的六軸IMU為例,符合AEC-Q100標(biāo)準(zhǔn),工作溫度范圍達(dá)到-40℃至+105℃。其中加速度計(jì)用戶可選滿量程加速度范圍為±2/±4/±8/±16 g,陀螺儀測(cè)量范圍從±125到±4000 dps。同時(shí)ASM330LHB在所有設(shè)計(jì)環(huán)節(jié)都經(jīng)過(guò)優(yōu)化,可實(shí)現(xiàn)有利于傳感器輔助應(yīng)用(例如航跡推測(cè)和傳感器融合)的更高輸出穩(wěn)定性、極低噪聲和完全的數(shù)據(jù)同步。
消費(fèi)應(yīng)用上,以六軸IMU LSM6DSM為例,由于面向具有OIS / EIS和AR/VR系統(tǒng)的智能手機(jī),因此低功耗、高精度、穩(wěn)定性是主要的特性。在低功耗方面,LSM6DSM在高性能模式下以0.65 mA的電流工作,并且具有始終開(kāi)啟的低功耗特性。其中加速度計(jì)支持±2/±4/±8/±16 g滿量程,陀螺儀支持角速度范圍為±125/±250/±500/±1000/±2000 dps。
另外針對(duì)智能手機(jī)應(yīng)用,LSM6DSM還支持智能嵌入式功能,比如計(jì)步器、步伐檢測(cè)器、步伐計(jì)數(shù)器、大幅運(yùn)動(dòng)和傾斜度檢測(cè)功能;同時(shí)支持標(biāo)準(zhǔn)中斷,包括自由落體、喚醒、6D/4D方向檢測(cè)、單擊和雙擊;對(duì)機(jī)械沖擊具有高度耐用性。
TDK(InvenSense):
TDK的MEMS IMU產(chǎn)品線源自InvenSense,2016年TDK斥資13億美元收購(gòu)所有股份。InvenSense當(dāng)時(shí)主要為蘋(píng)果、三星等智能手機(jī)廠商供應(yīng)IMU,在智能手機(jī)領(lǐng)域市場(chǎng)份額極高。
InvenSense的制造平臺(tái)相比傳統(tǒng)的MEMS工藝結(jié)構(gòu)也有些區(qū)別,專(zhuān)利的Nasiri-Fabrication制程令其MEMS器件能夠在晶圓層級(jí)直接整合MEMS機(jī)械結(jié)構(gòu)與CMOS集成電路,使得芯片尺寸更小。
目前TDK官網(wǎng)上顯示,從IMU產(chǎn)品來(lái)看,主要有六軸、七軸、九軸三大IMU產(chǎn)品系列,其中七軸是三軸陀螺儀+三軸加速度計(jì)+氣壓傳感器,九軸IMU則是三軸陀螺儀+三軸加速度計(jì)+三軸羅盤(pán)。
應(yīng)用領(lǐng)域方面,主要有面向機(jī)器人應(yīng)用的TDK RoboKit1 SmartRobotics平臺(tái),面向汽車(chē)應(yīng)用的TDK SmartAutomotive產(chǎn)品,面向工業(yè)應(yīng)用的TDK SmartIndustrial產(chǎn)品,當(dāng)然也有面向智能手機(jī)和穿戴、IoT等市場(chǎng)的產(chǎn)品。
汽車(chē)應(yīng)用的IMU主要是IAM系列的五款產(chǎn)品。
工業(yè)應(yīng)用的IMU主要是IIM系列的兩款產(chǎn)品,可應(yīng)用于農(nóng)業(yè)、建筑設(shè)備、高清地圖測(cè)繪/測(cè)量和地理配準(zhǔn)、工業(yè)/倉(cāng)庫(kù)和汽車(chē)機(jī)器人技術(shù)、高精度 GNSS/INS 導(dǎo)航系統(tǒng)與自主投遞系統(tǒng)等。
ICM系列則面向消費(fèi)電子產(chǎn)品,可應(yīng)用于AR/VR、HMD、可穿戴設(shè)備、IoT設(shè)備、無(wú)人機(jī)、遙控器等。
ADI:
ADI在MEMS行業(yè)發(fā)展中起到了舉足輕重的作用,早在1991年,ADI就推出了世界上第一款成功開(kāi)發(fā)、制造并商用的MEMS加速度計(jì)ADXL50;到2002年ADI又推出了第一款集成式MEMS陀螺儀ADXRS150。
ADI的IMU產(chǎn)品目前有43款,其中ADXC系列用于汽車(chē)應(yīng)用,比如ADXC1500。ADXC1500是針對(duì)汽車(chē)電子穩(wěn)定系統(tǒng)、底盤(pán)控制等同時(shí)需要偏航角速度和加速度信號(hào)的高性能應(yīng)用而設(shè)計(jì),內(nèi)部集成溫度傳感器可補(bǔ)償偏移和靈敏度性能,在?40°C至+105°C溫度范圍內(nèi)提供出色的穩(wěn)定性。在整個(gè)工作溫度范圍內(nèi)的加速度計(jì)偏置穩(wěn)定性為±30 mg,陀螺儀零點(diǎn)穩(wěn)定性為±2°/秒;加速度計(jì)噪聲為2.5 mg rms(典型值,35.6 Hz時(shí)),陀螺儀噪聲為0.1°/秒(典型值,35.6 Hz時(shí)),陀螺儀的線性加速度抑制0.03°/秒/g,加速度計(jì)則具備±32 g過(guò)載性能。
另外其他產(chǎn)品主要用于工業(yè)、農(nóng)業(yè)、無(wú)人機(jī)、自動(dòng)駕駛、導(dǎo)航、AR/VR、運(yùn)動(dòng)物聯(lián)網(wǎng)等領(lǐng)域,甚至還包括戰(zhàn)術(shù)級(jí)產(chǎn)品。以ADIS16495為例,戰(zhàn)術(shù)級(jí)的主要特點(diǎn)是精度更高,ADI表示該IMU在工廠針對(duì)各傳感器的靈敏度、偏置、對(duì)準(zhǔn)和線性加速度(陀螺偏置)進(jìn)行校準(zhǔn)。因此,各傳感器均有其自己的動(dòng)態(tài)補(bǔ)償公式,可提供精確的傳感器測(cè)量。
ADIS16495陀螺儀軸到軸對(duì)齊誤差僅為±0.05°,運(yùn)動(dòng)中偏置穩(wěn)定度為0.8°/小時(shí),角向隨機(jī)游動(dòng)為0.09°/√小時(shí);加速度計(jì)的運(yùn)動(dòng)中偏置穩(wěn)定度為3.2 μg。器件整體的抗沖擊能力達(dá)到1500g。
美泰電子:
美泰電子是中國(guó)電科產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)研究院下屬公司,專(zhuān)注于MEMS器件和系統(tǒng)的研發(fā)、生產(chǎn)和銷(xiāo)售,目前重點(diǎn)面向汽車(chē)領(lǐng)域和工業(yè)領(lǐng)域推出慣性MEMS器件以及壓力器件。
據(jù)電子發(fā)燒友網(wǎng)了解,IMU是美泰電子第一款涉足汽車(chē)領(lǐng)域的產(chǎn)品,并在2017年與車(chē)企合作推出了高精度定位模塊。截至2023年3月IMU出貨量已破百萬(wàn)。
而目前美泰電子官網(wǎng)上有六款I(lǐng)MU產(chǎn)品,比如可應(yīng)用在汽車(chē)無(wú)人駕駛、電子穩(wěn)定系統(tǒng)、組合導(dǎo)航等的MSI313C。
可用于慣導(dǎo)、飛行控制、彈道修正、無(wú)人機(jī)、天線定向等應(yīng)用的MSI370A。
明皜傳感:
明皜傳感主要從事MEMS傳感器的研發(fā)、設(shè)計(jì)和生產(chǎn),并提供相關(guān)技術(shù)服務(wù)。主要產(chǎn)品有:加速度傳感器、陀螺儀、壓力傳感器和磁傳感器,旨在為消費(fèi)電子、汽車(chē)電子、工業(yè)自動(dòng)化以及航空等領(lǐng)域提供所需的產(chǎn)品和集成方案。
明皜傳感目前有兩款I(lǐng)MU導(dǎo)航模塊,MMC124和MMC127,可應(yīng)用于路徑識(shí)別、機(jī)器人自主導(dǎo)航、車(chē)輛導(dǎo)航、無(wú)人機(jī)、醫(yī)療導(dǎo)軌、平衡車(chē)、柜門(mén)開(kāi)關(guān)角度檢測(cè)、工業(yè)機(jī)器人等領(lǐng)域。
矽睿科技:
矽??萍汲闪⒂?012年,專(zhuān)注于高質(zhì)量傳感器產(chǎn)品的設(shè)計(jì)、制造,以及增值應(yīng)用與服務(wù),致力于成為以應(yīng)用為導(dǎo)向的多傳感器平臺(tái),提供智能、集成、經(jīng)濟(jì)的傳感器解決方案。公司產(chǎn)品包括多款MEMS傳感器,如六軸IMU、加速度計(jì)、環(huán)境傳感器、組合傳感器等;磁性傳感器芯片,如磁力計(jì)、磁編碼器、電流傳感器、霍爾傳感器等;及汽車(chē)與物聯(lián)網(wǎng)智能模組和系統(tǒng)。應(yīng)用市場(chǎng)聚焦智能手機(jī)、智能穿戴、物聯(lián)網(wǎng)、智能制造,汽車(chē)電子,并向智慧醫(yī)療、元宇宙、自動(dòng)駕駛市場(chǎng)演進(jìn)。
矽睿科技目前推出了一款I(lǐng)MU產(chǎn)品Q(chēng)MI8658,這是一款低噪聲、高帶寬的六軸慣性測(cè)量單元(IMU),包含一個(gè)三軸陀螺儀和一個(gè)三軸加速計(jì),采用2.5 x 3.0 x 0.86 mm 14-pin LGA 封裝。支持多種通訊接口:I3C、I2C和SPI。內(nèi)置AttitudeEngine,可滿足慣性導(dǎo)航高精度低功耗的要求,即使在低速率情況下的數(shù)據(jù)輸出也可保持高精度。
其中陀螺儀動(dòng)態(tài)范圍±16°/s 至 ±2048°/s,加速度計(jì)動(dòng)態(tài)范圍±2 g 至 ±16 g。 可應(yīng)用于:智慧手機(jī)、智慧可穿戴設(shè)備、TWS耳機(jī)、游戲手柄、空鼠、無(wú)人機(jī)、掃地機(jī)器人、攝像頭、升降桌、二輪電動(dòng)車(chē)、投影儀、平板、T-box等,實(shí)現(xiàn)運(yùn)動(dòng)姿態(tài)解算,手勢(shì)或頭部姿勢(shì)識(shí)別與追蹤,傾斜角度檢測(cè)等作用。
美新半導(dǎo)體:
美新半導(dǎo)體于1999年成立,擁有二十多年的MEMS傳感器研發(fā)及生產(chǎn)技術(shù)積累,是中國(guó)最早的IDM模式慣性傳感器供應(yīng)商之一,因此在封測(cè)、晶圓制造上具備核心競(jìng)爭(zhēng)力。美新半導(dǎo)體提供從MEMS傳感芯片、軟件算法和應(yīng)用方案的一站式解決方案,產(chǎn)品包括熱式加速度計(jì)、電容式加速度計(jì)、AMR地磁傳感器、低功耗霍爾開(kāi)關(guān)、六軸IMU等。
美新半導(dǎo)體的六軸IMU產(chǎn)品目前官網(wǎng)只展示了MIC6102AL一款產(chǎn)品,該產(chǎn)品集成了3軸陀螺儀和3軸加速度計(jì),支持游戲手柄及智能遙控器等體感互動(dòng)系統(tǒng)。
深迪半導(dǎo)體
深迪成立于2008年,是中國(guó)首家研發(fā)設(shè)計(jì)商用消費(fèi)級(jí)和汽車(chē)級(jí)微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)陀螺儀系列慣性傳感器的公司。產(chǎn)品主要應(yīng)用于IOT,手機(jī)智能終端,智能家居,人工智能,工業(yè)和智能駕艙等領(lǐng)域。
目前公司官網(wǎng)展出了三款六軸IMU產(chǎn)品,SH3001、SH3201、SH5001。
以SH3001為例,SH3001內(nèi)部集成三軸陀螺儀以及三軸加速度計(jì),采用14 Pins LGA封裝,尺寸僅為2.5×3.0×1.0mm3,尺寸小,功耗低,適用于消費(fèi)電子市場(chǎng)應(yīng)用,能提供高精度的實(shí)時(shí)角速度與線加速度數(shù)據(jù)。其中陀螺儀量程(dps)為±125、 ±250、±500、±1000、±2000,靈敏度(LSB/°/s)為262、131、65.5、32.8、16.4;加速度計(jì)量程(g)為 ±2、±4、 ±8、 ±16,靈敏度(LSB/g)為16384,8192,4096,2048。
而SH5001是SH3001和SH3201的迭代產(chǎn)品,在原有的產(chǎn)品特性上增加了OIS光學(xué)防抖和雙路SPI通訊,陀螺性能更高。
小結(jié):
整體來(lái)看,海外大廠由于入局較早,目前已經(jīng)具備較為完備的IMU產(chǎn)品線,產(chǎn)品規(guī)格數(shù)量、針對(duì)的應(yīng)用領(lǐng)域等都較為豐富。目前國(guó)內(nèi)的IMU產(chǎn)品在性能參數(shù)上也開(kāi)始追趕海外廠商的產(chǎn)品,但在可靠性、穩(wěn)定性上仍需要更多時(shí)間去驗(yàn)證和改善,同時(shí)產(chǎn)品線規(guī)模較小,產(chǎn)品覆蓋的應(yīng)用領(lǐng)域相對(duì)較小。當(dāng)然,在自動(dòng)駕駛、機(jī)器人、無(wú)人機(jī)等領(lǐng)域的需求增長(zhǎng)下,國(guó)內(nèi)IMU廠商將會(huì)迎來(lái)更大的市場(chǎng)機(jī)會(huì),這也將持續(xù)帶動(dòng)國(guó)產(chǎn)IMU的產(chǎn)品升級(jí)。
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