近期,TCL華星光電技術有限公司獲得了一項名為“芯片轉移裝置和芯片轉移方法”的專利權,國字號編號為CN114447187B,生效日期為2024年5月7日。這項發(fā)明于2022年1月27日提交申請。
此項專利涉及一種新型的芯片轉移裝置及方法。其獨特之處在于,基板載臺由第一基板載臺與第二基板載臺組成,兩者均可移動。此外,轉移機構包含至少兩個轉塔結構,能夠根據(jù)不同基板選擇相應的轉塔結構進行芯片轉移。對于大型基板,還能通過拼接第一基板載臺與第二基板載臺來實現(xiàn)高效的芯片轉移。由于轉塔結構上設置有多個固晶頭,這將大大提升芯片轉移速率,進而提高發(fā)光芯片的轉移效率。
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