半導(dǎo)體紅外測(cè)溫|IMPAC紅外測(cè)溫儀解決方案

半導(dǎo)體晶體生長(zhǎng)測(cè)溫要解決的問題

還原爐應(yīng)用中，需多點(diǎn)位測(cè)溫，有的點(diǎn)位位置較高對(duì)準(zhǔn)目標(biāo)比較困難。

需透視窗測(cè)量反應(yīng)物。建議使用近紅外短波測(cè)溫。

直拉法應(yīng)用中，一般集成于內(nèi)部溫控系統(tǒng)，安裝空間有限。建議使用分體光纖式設(shè)備。

升溫過程中，材料狀態(tài)可能發(fā)生變化，導(dǎo)致發(fā)射率隨之發(fā)生變化導(dǎo)致測(cè)溫失準(zhǔn)。建議使用雙色測(cè)溫儀

半導(dǎo)體氧化擴(kuò)散測(cè)溫要解決的問題

測(cè)溫設(shè)備集成于設(shè)備內(nèi)部，對(duì)準(zhǔn)目標(biāo)有些許困難

需透視窗測(cè)溫，需考慮測(cè)溫儀響應(yīng)波段

半導(dǎo)體薄膜沉積測(cè)溫要解決的問題

被測(cè)物可能被離子云包裹

多次加熱工況中，對(duì)測(cè)溫儀重復(fù)性與穩(wěn)定性要求高

襯底材料會(huì)發(fā)生變化，要求測(cè)溫儀有不同的應(yīng)對(duì)方案

須透過視窗測(cè)量，最好推薦使用紅外視窗材料

impac IGA 6和IGAR 6優(yōu)勢(shì)

為近紅外測(cè)溫波段，對(duì)于石英視窗有更高的透射率；對(duì)于金屬被測(cè)物有更高的測(cè)溫精度；

寬測(cè)溫量程（250-2500℃）；

極快響應(yīng)速度（120μs）；

更好的重復(fù)性（0.15%+1℃）；

可變焦鏡頭，可調(diào)節(jié)測(cè)距（可從210至2000mm內(nèi)測(cè)溫）；

設(shè)定內(nèi)可調(diào)多種參數(shù)，滿足多種環(huán)境需求；

具有直觀的視頻模式，且接線簡(jiǎn)單。