大家好,我是【廣州工控傳感★科技】MSP-400-350-B-4-N-X壓力傳感器事業(yè)部,張工。
在微壓測量領(lǐng)域中,由于壓力數(shù)值較小,對敏感元件產(chǎn)生的物理變化也相應(yīng)的小很多,這就要求了敏感元件需要具有較高的靈敏度。MSP-400-350-B-4-N-X壓力傳感器由于靈敏度較高,頻率對壓力的變化更為敏感,因此在低壓高精度的測量中,有著比較好的性能表現(xiàn),相對價格也比較高。當(dāng)精度要求不是很高的情況下,擴散硅和電容式可以兼顧精度和成本。例如電容式真空傳感器,利用被測介質(zhì)的介電常數(shù)的變化,可以精確地測量低真空度。擴散硅壓力傳感器的靈敏度相對較大,部分可以達到(1~2)mV/V/kPa,也可應(yīng)用于微壓下的表壓絕壓測量。
在低壓和中壓的測量應(yīng)用中,可選擇范圍較為廣泛,高精度可選諧振式,中等精度水平可以選用擴散硅式,陶瓷電容電阻式,金屬應(yīng)變式等傳感器。擴散硅式靈敏度高,體積小,生產(chǎn)工藝復(fù)雜,相對成本略高;陶瓷式成本低,精度低,適合大批量低成本應(yīng)用,受限于材料的特性,靈敏度較低,不耐壓力瞬變和機械沖擊;金屬應(yīng)變式兼顧成本和精度,采用熱處理的彈性體,可以適應(yīng)不同的測量介質(zhì)要求,敏感元部分根據(jù)不同的工藝,有濺射薄膜,玻璃微熔,應(yīng)變片等,覆蓋低靈敏度到高靈敏度的范圍,受限于彈性體工藝限制,在低壓力下的測量時,精度較差,優(yōu)點是金屬的彈性體可以承受較大的沖擊。
中高壓的應(yīng)用中,擴散硅和金屬應(yīng)變式各有著廣泛的應(yīng)用,陶瓷受限于材料的強度,高壓耐受強度較差。高壓應(yīng)用中,金屬應(yīng)變式有較大的優(yōu)勢,得益于金屬彈性體材料的強度,可以承受幾百兆帕的壓力,同時能夠應(yīng)對較大沖擊的應(yīng)用場景,例如在石油壓裂領(lǐng)域有著非常廣泛的應(yīng)用。
MSP-400-350-B-4-N-X壓力傳感器按照準(zhǔn)確度等級來看,覆蓋從高精度的0.01級到低精度的4.0級,通常諧振式壓力傳感器能覆蓋從低壓到高壓,0.01級到0.05級的測量要求,擴散硅傳感器的精度等級范圍為0.02~0.5級,陶瓷類的傳感器等級為0.2~4.0級,金屬應(yīng)變式0.5~4.0級。
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