激光干涉儀測量三坐標測量機XY軸垂直度

三坐標測量機是一種用途很廣的高精度儀器。隨著坐標測量機運行速度的加快，動態(tài)誤差往往比靜態(tài)或準靜態(tài)誤差對測量精度的影響更大。由于在測量過程中的加、減速度明顯加大，測量機各結構件的分布質量產生的慣性力造成了機構的變形。在高速測量過程中，還必然會產生自激振動和受迫振動。此外，由于測量機的各運動部件的連結處都采用了剛度較低的氣浮導軌支承，在加速或減速運動過程中，其動態(tài)特性也會發(fā)生明顯的變化。所有這些都是產生動態(tài)誤差的根源。充分認識三坐標測量機的動態(tài)/靜態(tài)特性和動態(tài)/靜態(tài)誤差的構成及大小對于進行三坐標測量機誤差補償和改進測量機結構設計都有重要的意義。

SJ6000激光干涉儀可實現線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉軸等多幾何參量的高精密測量，用于檢測數控機床、自動化設備、三坐標測量機等精密運動設備其導軌的線性定位精度、導軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等，以及進行數控機床、三坐標測量機的精度補償。