陸芯全自動(dòng)精密晶圓劃片機(jī)工作原理

全自動(dòng)精密劃片機(jī)工作原理

全自動(dòng)精密劃片機(jī)是精密切割專(zhuān)用設(shè)備，切割前通常為外徑為6到12英寸的薄圓形片，根據(jù)用戶(hù)的不同需求切割成不同尺寸的晶粒。砂輪切割工藝又稱(chēng)劃片或劃切，是以強(qiáng)力磨削為手段，通過(guò)空氣靜壓支撐的電主軸帶動(dòng)超薄金剛石刀片以高速旋轉(zhuǎn)，用刀片上的微細(xì)磨粒與被加工物進(jìn)行接觸，使劃切處的材料產(chǎn)生碎裂，同時(shí)，承載著工件的工作臺(tái)以一定的速度沿著刀片與工件接觸方向進(jìn)行直線運(yùn)動(dòng)，然后在刀具自身轉(zhuǎn)動(dòng)下以及切割水作用下將劃切產(chǎn)生的切屑帶出，最終實(shí)現(xiàn)工件分離或者開(kāi)槽。

如圖1所示為全自動(dòng)精密劃片機(jī)劃切原理圖。

通常劃片機(jī)劃切工件為圓形或方形的硬、脆和薄的材料，如硅晶圓、藍(lán)寶石基片、LED基片等。在軟件系統(tǒng)控制下，通過(guò)伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)X、Y、Z三個(gè)方向的往復(fù)運(yùn)動(dòng)以及0軸向的轉(zhuǎn)動(dòng)，按照預(yù)設(shè)尺寸將工件分離。

如圖2所示為晶圓劃切示意圖。

陸芯LX6366型雙軸晶圓切割機(jī)為12英寸全自動(dòng)精密劃片機(jī)，全自動(dòng)劃片機(jī)是從裝片、位置校準(zhǔn)、切割、清洗/干燥，到卸片為止的一系列工序，全部自動(dòng)化操作。劃片機(jī)的切割機(jī)理是強(qiáng)力磨削，強(qiáng)力磨削的執(zhí)行單元-空氣靜壓電主軸單元，完成自動(dòng)上、下料的晶圓傳輸定位系統(tǒng)，自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)和自動(dòng)清洗系統(tǒng)是全自動(dòng)劃片機(jī)的關(guān)鍵。采用高精密進(jìn)口主要配件，T軸采用DD馬達(dá)，重復(fù)精度1μm，穩(wěn)定性極強(qiáng)，兼容6"-12"材料，雙CCD視覺(jué)系統(tǒng)，性能達(dá)到業(yè)界一流水平。