高溫下DPC（磁控濺射工藝）覆銅陶瓷基板的設(shè)計和應(yīng)用

隨著電子器件對高溫環(huán)境下工作的需求不斷提高，DPC（磁控濺射工藝）覆銅陶瓷基板作為一種高溫穩(wěn)定性強、熱導(dǎo)率高的散熱材料得到了廣泛的應(yīng)用。本文將從材料、結(jié)構(gòu)、工藝等方面，探討DPC覆銅陶瓷基板的設(shè)計和應(yīng)用。

一、材料選擇

選擇高溫穩(wěn)定性好、熱導(dǎo)率高的陶瓷基板非常關(guān)鍵。常用的陶瓷材料有Al2O3、AlN、Si3N4等。以Al2O3為例，其熱導(dǎo)率高達24~30W/(m·K)，熱膨脹系數(shù)約為8.2×10^-6/℃，與大多數(shù)芯片的熱膨脹系數(shù)相似?；灞砻娴奶沾蓪討?yīng)該光滑均勻，并具有良好的附著力、抗氧化性、耐磨性和耐腐蝕性。

散熱性能：DPC覆銅陶瓷基板的散熱性能是影響其在高溫環(huán)境下工作的關(guān)鍵因素之一。為了測試DPC覆銅陶瓷基板的散熱性能，可以采用熱電偶測溫法、紅外線測溫法、熱像儀等測試方法。實驗結(jié)果表明，DPC覆銅陶瓷基板的散熱性能較好，可以有效地散熱，降低溫度對電子器件的影響。

二、結(jié)構(gòu)設(shè)計

DPC覆銅陶瓷基板的結(jié)構(gòu)設(shè)計包括銅箔厚度、孔徑大小、銅箔的布局方式和陶瓷基板的厚度等。銅箔厚度的選擇應(yīng)該根據(jù)散熱要求和芯片功率密度等參數(shù)來確定。銅箔的布局方式有兩種，一種是全面鋪銅，即銅箔鋪滿整個基板表面；另一種是局部鋪銅，即只在芯片周圍區(qū)域鋪設(shè)銅箔。局部鋪銅的方式可以減少銅箔面積，降低成本，但銅箔與基板的附著力需要更高。陶瓷基板的厚度也需要根據(jù)具體的應(yīng)用需求來選擇。

三、工藝流程

DPC工藝是將金屬材料蒸發(fā)成分子，然后在陶瓷基板表面生成一層金屬膜的過程。其主要工藝流程包括清洗基板表面、陶瓷基板的熱處理、金屬材料的靶材制備、靶材的負偏壓DPC、薄膜厚度的測量和表面處理等。其中，熱處理可以提高陶瓷基板的熱穩(wěn)定性和附著力，保證覆蓋的銅箔在高溫環(huán)境下不會剝離。

四、應(yīng)用領(lǐng)域

DPC覆銅陶瓷基板在高溫環(huán)境下的應(yīng)用領(lǐng)域主要包括電力電子、航空航天、核工業(yè)等領(lǐng)域。在電力電子領(lǐng)域，DPC覆銅陶瓷基板可以應(yīng)用于IGBT（Insulated Gate Bipolar Transistor）等功率器件的散熱；在航空航天領(lǐng)域，DPC覆銅陶瓷基板可以用于導(dǎo)航儀、雷達等高溫環(huán)境下的電子設(shè)備的散熱；在核工業(yè)領(lǐng)域，DPC覆銅陶瓷基板可以應(yīng)用于核反應(yīng)堆中的計算機和儀器的散熱等。

IGBT模塊結(jié)構(gòu)模塊

總之，DPC覆銅陶瓷基板的設(shè)計和應(yīng)用需要考慮多方面的因素，并且需要進行大量的實驗和數(shù)據(jù)分析。通過選擇合適的材料、設(shè)計合理的結(jié)構(gòu)和工藝，可以提高DPC覆銅陶瓷基板在高溫環(huán)境下的性能和可靠性，為電子器件的高溫應(yīng)用提供保障。

審核編輯 黃宇