音圈電機(jī)模組在主流光刻掩模臺系統(tǒng)中的應(yīng)用

***是芯片智造的核心設(shè)備之一，也是當(dāng)下尤為復(fù)雜的精密儀器之一。正因?yàn)榇?，荷蘭***智造商阿斯麥通研制的EUV***才會“千金難求”。

很多人都對***有所耳聞，但其實(shí)不同***的用途并不一樣。像上文提及的EUV***則是用于生產(chǎn)芯片的***，此外還有封裝芯片的***以及用于LED制造領(lǐng)域的投影***。

近幾年，我國本土企業(yè)在***的研制方面正一步一個腳印地穩(wěn)步前進(jìn)，拿上海微電子裝備股份有限公司來說，近幾年，其先后推出了IC前道制造***SSX600系列***、IC后道先進(jìn)封裝SSB500系列***、LED制造SSB300系列***、TFT曝光SSB200系列***。

劃重點(diǎn)，上海微電子裝備股份有限公司是咱同茂的合作客戶，先后多次從我司購入高性能音圈電機(jī)模組用于產(chǎn)品中，那音圈電機(jī)模組在***中具體作用是什么？音圈電機(jī)模組主要用于***掩模臺系統(tǒng)，在該系統(tǒng)中音圈電機(jī)模組運(yùn)動工況分為掃描運(yùn)動和定位運(yùn)動，其中掃描運(yùn)動主要完成硅片曝光處理，該運(yùn)動對定位精度以及速度穩(wěn)定性有非常高的要求，在穩(wěn)定基礎(chǔ)上追求時(shí)間的優(yōu)化。音圈電機(jī)模組系統(tǒng)具有較低的阻尼比，是***很重要的要件。

音圈電機(jī)模組

昆山同茂電子有限公司是一家集音圈電機(jī)模組研發(fā)、生產(chǎn)和銷售為一體的高新技術(shù)企業(yè)，同茂自研自產(chǎn)自銷的音圈電機(jī)模組均采用歐美技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)和加工工藝，具備高性能、高質(zhì)量，歡迎多多關(guān)注。

審核編輯黃宇