科普|硅壓阻式MEMS壓力傳感器精度高、體積小、性能穩(wěn)定

在生活的各個(gè)領(lǐng)域中壓力都是一個(gè)關(guān)鍵參數(shù)。壓力傳感器的種類繁多，如電阻應(yīng)變片壓力傳感器、半導(dǎo)體應(yīng)變片壓力傳感器、壓阻式壓力傳感器等。但應(yīng)用最為廣泛的是壓阻式壓力傳感器，它具有極低的價(jià)格和較高的精度以及較好的線性特性。

壓阻式壓力傳感器是基于半導(dǎo)體材料（單晶硅）的壓阻效應(yīng)原理制成的傳感器，就是利用集成電路工藝直接在硅平膜片上按一定晶向制成擴(kuò)散壓敏電阻，當(dāng)硅膜片受壓時(shí)，膜片的變形將使擴(kuò)散電阻的阻值發(fā)生變化。

國內(nèi)知名智能傳感器廠商奧松電子，在MEMS領(lǐng)域深耕20余年，自主研發(fā)了APR5852系列硅壓阻式壓力傳感器，配置了專用的 ASIC 芯片和利用 MEMS 技術(shù)加工的硅微結(jié)構(gòu)壓力傳感器芯片，采用雙列直插的封裝結(jié)構(gòu)，可以直接安裝在標(biāo)準(zhǔn)的PCB 板上，方便用戶集成與更換。APR5852 系列產(chǎn)品測(cè)量的壓力值經(jīng)過傳感器的轉(zhuǎn)換及電路的放大將以模擬電壓的形式輸出，經(jīng)過溫度補(bǔ)償，具有出色的精度和長期的穩(wěn)定性。

APR5852壓阻式壓力傳感器

經(jīng)過溫度補(bǔ)償?shù)墓鑹鹤枋綁毫鞲衅?，?shí)現(xiàn)大范圍的溫度補(bǔ)償，以及調(diào)節(jié)差動(dòng)放大器的增益來校正傳感器的壓力靈敏度變化，可實(shí)現(xiàn)多階壓力、溫度非線性修正。每一個(gè)傳感器的出廠都經(jīng)過嚴(yán)格的校準(zhǔn)和測(cè)試，保障并滿足客戶的大規(guī)模應(yīng)用。

APR5852系列產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于消費(fèi)電子、智能家電、醫(yī)療、汽車、工業(yè)自動(dòng)化、氣象等領(lǐng)域，例如：氣流監(jiān)測(cè)儀、暖通空調(diào)、通風(fēng)設(shè)備、醫(yī)療器械（呼吸機(jī)、監(jiān)護(hù)儀）、胎壓計(jì)、風(fēng)速和泄漏探測(cè)等產(chǎn)品。

審核編輯黃宇