半導(dǎo)體制造工藝中的主要設(shè)備及材料【二】

Part 2

主要半導(dǎo)體設(shè)備及所用材料

01

氧化爐

設(shè)備功能：為半導(dǎo)體材料進(jìn)行氧化處理，提供要求的氧化氛圍，實現(xiàn)半導(dǎo)體預(yù)期設(shè)計的氧化處理過程，是半導(dǎo)體加工過程的不可缺少的一個環(huán)節(jié)。

所用材料：硅片、氧氣、惰性氣體等。

國外主要廠商：英國Thermco公司、德國Centrothermthermal Solutions GmbH Co.KG公司等。

國內(nèi)主要廠商：七星電子、青島福潤德、中國電子科技集團(tuán)第四十八所、中國電子科技集團(tuán)第四十五所等。

02

PVD（物理氣相沉積）

設(shè)備功能：通過二極濺射中一個平行于靶表面的封閉磁場，和靶表面上形成的正交電磁場，把二次電子束縛在靶表面特定區(qū)域，實現(xiàn)高離子密度和高能量的電離，把靶原子或分子高速率濺射沉積在基片上形成薄膜。

所用材料：靶材、惰性氣體等。

國外主要廠商：美國應(yīng)用材料公司、美國PVD公司、美國Vaportech公司、英國Teer公司、瑞士Platit公司、德國Cemecon公司等。

國內(nèi)主要廠商：北方微電子、北京儀器廠、沈陽中科儀器、中國電子科技集團(tuán)第四十八所、科睿設(shè)備有限公司等。

03

PECVD

設(shè)備功能：在沉積室利用輝光放電，使反應(yīng)氣體電離后在襯底上進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)，沉積半導(dǎo)體薄膜材料。

所用材料：特種氣體（前驅(qū)物、惰性氣體等）。

國外主要廠商：美國Proto Flex公司、日本Tokki公司、日本島津公司、美國泛林半導(dǎo)體（Lam Research）公司、荷蘭ASM國際公司等。

國內(nèi)主要廠商：北方微電子、中國電子科技集團(tuán)第四十五所、北京儀器廠等。

04

MOCVD

設(shè)備功能：以熱分解反應(yīng)方式在襯底上進(jìn)行氣相外延，生長各種Ⅲ-V族、Ⅱ-Ⅵ族化合物半導(dǎo)體以及它們的多元固溶體的薄層單晶材料。

所用材料：特種氣體（MO源、惰性氣體等）。

國外主要廠商：德國Aixtron愛思強(qiáng)公司、美國Veeco公司等。

國內(nèi)主要廠商：中微半導(dǎo)體、中晟光電、理想能源設(shè)備等。

05

***

設(shè)備功能：將掩膜版上的圖形轉(zhuǎn)移到涂有光刻膠的襯底（硅片）上，致使光刻發(fā)生反應(yīng)，為下一步加工（刻蝕或離子注入）做準(zhǔn)備。

所需材料：光刻膠等

國外主要公司：荷蘭阿斯麥（ASML）公司、日本尼康公司、日本Canon公司、美國ABM公司、德國SUSS公司、美國Ultratech公司、奧地利EVG公司等。

國內(nèi)主要公司：上海微電裝備（SMEE）、中國電子科技集團(tuán)第四十八所、中國電子科技集團(tuán)第四十五所、成都光機(jī)所等。

06

涂膠顯影機(jī)

設(shè)備功能：與***聯(lián)合作業(yè)，首先將光刻膠均勻地涂到晶圓上，滿足***的工作要求；然后，處理***曝光后的晶圓，將曝光后的光刻膠中與紫外光發(fā)生化學(xué)反應(yīng)的部分除去或保留下來。

所用材料：光刻膠、顯影液等。

國外主要廠商：日本TEL、德國SUSS、奧地利EVG等。

國內(nèi)主要廠商：沈陽芯源等。

07

檢測設(shè)備

檢測設(shè)備包括CDSEM、OVL、AOI、膜厚等。

設(shè)備功能：通過表征半導(dǎo)體加工中的形貌與結(jié)構(gòu)、檢測缺陷，以達(dá)到監(jiān)控半導(dǎo)體加工過程，提高生產(chǎn)良率的目的。

所用材料：特種氣體等。

國外主要廠商：美國的KLA-Tencor、美國應(yīng)用材料、日本Hitachi、美國Rudolph公司、以色列Camtek公司等。

國內(nèi)主要公司：上海睿勵科學(xué)儀器等。

審核編輯 ：李倩