上海精測半導(dǎo)體全自動晶圓缺陷復(fù)檢設(shè)備迎來雙豐收

上海精測半導(dǎo)體自動晶圓缺陷復(fù)檢設(shè)備eViewTM雙豐收獻禮國慶！

在舉國歡慶祖國73周年華誕之際，上海精測半導(dǎo)體全自動晶圓缺陷復(fù)檢設(shè)備eViewTM獲得國內(nèi)重點客戶認可，性能達到壟斷主要市場的同類國際對標機臺；同時，eViewTM整裝待發(fā)，乘風(fēng)破浪，進駐華南大客戶生產(chǎn)線。上海精測半導(dǎo)體eViewTM以雙豐收碩果為國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)再添豐碑，為祖國生日隆重獻禮！

缺陷檢測是提高芯片制造良率的關(guān)鍵技術(shù)手段，電子束檢測設(shè)備具有超高分辨精度，在集成電路制造過程中發(fā)揮著極其重要的作用。然而，該類設(shè)備被國外廠商壟斷，嚴重制約了國內(nèi)芯片制造的深入發(fā)展。上海精測半導(dǎo)體自成立以來，由電子光學(xué)事業(yè)部引領(lǐng)本領(lǐng)域的技術(shù)開發(fā)，該團隊核心人員絕大部分來自于業(yè)界知名企業(yè)，積累了大量的實戰(zhàn)經(jīng)驗，兼具深厚的系統(tǒng)集成及軟硬件開發(fā)能力，憑借自身硬實力自主開發(fā)出全自動晶圓在線電子束缺陷復(fù)檢設(shè)備eViewTM，并且擁有核心零部件的完整自主知識產(chǎn)權(quán)。該設(shè)備主要助力賦能集成電路制程的工藝及芯片良率控制，可在線對晶圓進行超高分辨率缺陷檢測、復(fù)查、分析和分類。設(shè)備的成功推出，跨越高筑的技術(shù)壁壘、打破國外公司的壟斷，在國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域邁出了重要一步，為實現(xiàn)中國芯片制造自主可控這一目標提供強有力的技術(shù)支撐。

eViewTM采用全新的電子光學(xué)成像和信號探測技術(shù)，具有百兆赫茲級高速像素采集速率，可實現(xiàn)高通量電子束掃描成像，并融合基于深度神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)的人工智能算法以進行高速、高準確度缺陷自動識別與分類；同時搭配具備超低能量特性的能量色散X射線光譜儀，以實現(xiàn)待檢芯片的元素成份分析，最大限度的為客戶提供完整的納米級缺陷復(fù)查和分析解決方案。

自該設(shè)備出機到客戶端以來，上海精測半導(dǎo)體秉持精益求精的態(tài)度，從未停止創(chuàng)新超越、優(yōu)化設(shè)計步伐。得益于國內(nèi)多家客戶的高標準、嚴要求，eViewTM精進打磨、日臻完善，檢測性能實現(xiàn)重大升級優(yōu)化，運行吞吐量穩(wěn)步提升，目前已通過重點客戶相關(guān)產(chǎn)線驗證。驗證結(jié)果表明，不論圖像質(zhì)量，還是檢測能力和吞吐量等各方面，相關(guān)主要指標皆能達到壟斷主要市場的同類國際對標機臺的同等水平，從而滿足客戶的嚴苛要求，有效解決我國在電子束檢測領(lǐng)域的關(guān)鍵技術(shù)難題。由此，憑借自身的性能優(yōu)勢，eViewTM得到了眾多客戶的認可和青睞，相繼打入國內(nèi)多家芯片制造商生產(chǎn)線進行驗證，在市場上展露較強的競爭力。

在過去的4年里，上海精測半導(dǎo)體堅守初心、砥礪前行、不斷突破，彰顯了厚積薄發(fā)的強大實力，產(chǎn)品現(xiàn)已基本覆蓋半導(dǎo)體前道制程的光學(xué)測量、電子光學(xué)檢測兩大核心領(lǐng)域，并在進一步拓展，呈現(xiàn)多元化、多場景應(yīng)用趨勢，為客戶提供多樣化、定制化服務(wù)。順應(yīng)時代發(fā)展，響應(yīng)國家號召，上海精測半導(dǎo)體將堅守核心領(lǐng)域國產(chǎn)替代產(chǎn)業(yè)賽道，力爭成為國內(nèi)領(lǐng)先的半導(dǎo)體檢測設(shè)備專業(yè)供應(yīng)商。任重道遠，道阻且長，行則將至，行而不輟，未來可期！