刻蝕機(jī)不能代替光刻機(jī)。光刻機(jī)的精度和難度的要求都比刻蝕機(jī)高出很多,在需要光刻機(jī)加工的時(shí)候刻蝕機(jī)有些不能辦到,并且刻蝕機(jī)的精度十分籠統(tǒng),而光刻機(jī)對(duì)精度的要求十分細(xì)致,所以刻蝕機(jī)不能代替光刻機(jī)。
刻蝕機(jī)和光刻機(jī)無(wú)論是從工藝、流程、設(shè)備性能、精度等方面都有很大的區(qū)別,主要區(qū)別如下:
光刻機(jī)的難度大于刻蝕機(jī),光刻機(jī)是把圖案印上去,而刻蝕機(jī)是根據(jù)打印的圖案去掉有無(wú)圖案的部分,將剩下的留下。
審核編輯:姚遠(yuǎn)
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