芯片制造四大基本工藝包括:芯片設計、FPGA驗證、晶圓光刻顯影、蝕刻、芯片封裝等,晶片制作過程最為復雜,需經(jīng)過濕洗、光刻、 離子注入、干蝕刻、等離子沖洗、熱處理、化學氣相淀積、物理氣相淀積、電鍍處理、化學/機械表面處理、晶圓測試等過程。
一般來說, 在光刻過程中要先對整個襯底先加入Photo-resist物質,用干蝕刻把需要P-well的地方也蝕刻出來,后端處理主要是用來布線以達到部分消除寄生電容的目的,步驟跟傳統(tǒng)工藝基本一致。
最后再利用光刻技術和離子刻蝕技術,保留下柵隔離層上面的氮化硅層,形成 NMOS 的源漏極進行退火處理保證整個 Chip 的完整和連線的連接性,按照需求去制作成各種不同的封裝形式即可。
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