光刻膠板塊的大漲吸引了產(chǎn)業(yè)注意 ，國產(chǎn)光刻膠再遇發(fā)展良機？

5月27日，半導(dǎo)體光刻膠概念股開盤即走強，截至收盤，A股光刻膠板塊漲幅達6.48%。其中晶瑞股份、廣信材料直線拉升大漲20%封漲停，容大感光大漲13.28%，揚帆新材大漲11.37%，南大光電大漲9.72%，雅克科技大漲9.93%，強力新材、上海新陽、彤程新材等跟漲。

光刻膠板塊的大漲吸引了產(chǎn)業(yè)注意 ，國產(chǎn)光刻膠再遇發(fā)展良機？

KrF光刻膠海外供應(yīng)告急

據(jù)了解，光刻膠板塊本輪異動的背后，是KrF光刻膠海外供應(yīng)告急。自日本福島2月份發(fā)生強震后，光刻膠市場一度傳出“因受地震影響，信越化學(xué)KrF光刻膠生產(chǎn)以及海外供貨受阻”的消息，但是時隔3個月，KrF光刻膠在中國大陸的供應(yīng)困境依然沒有緩解。

從KrF光刻膠的供需來看，當(dāng)前的中國大陸KrF光刻膠供應(yīng)告急不難理解。

在供應(yīng)方，中國大陸光刻膠嚴(yán)重依賴進口，國產(chǎn)化率不足5%，就ArF 光刻膠供應(yīng)而言，當(dāng)前該市場由日本企業(yè)壟斷，頭部聚集效應(yīng)極為明顯。根據(jù)前瞻產(chǎn)業(yè)研究院整理統(tǒng)計，2019 年日本龍頭企業(yè) JSR、信越化學(xué)、TOK 和住友化學(xué)包攬前四，分別占據(jù)全球 ArF 光刻膠細(xì)分市場 25%、23%、20%和 15%市場份額，總計市場份額達到 83%。而第五名的美國陶氏化學(xué)在 ArF 光刻膠領(lǐng)域只占據(jù) 4%的市場份額。

在這種情況下，供貨占全球兩成的信越化學(xué)KrF光刻膠產(chǎn)線受地震影響產(chǎn)線至今尚未完全恢復(fù)，對原本供應(yīng)就緊張的光刻膠市場而言雪上加霜。

其它光刻膠廠商對KrF光刻膠的供應(yīng)困境解決也有心無力，因為自2020年底以來，KrF光刻膠市場的需求實在是太強勁了。

一方面，據(jù)了解，目前半導(dǎo)體光刻膠最常使用曝光波長分類，主要有 g 線、i 線、KrF、ArF 和最先進的 EUV 光刻膠，其中 DUV 光刻機分為干法和浸潤式，因此 ArF 光刻膠也對應(yīng)分為干法和浸潤式兩類。不同晶圓尺寸所需的光刻膠類別不一。

本次供應(yīng)緊張的KrF光刻膠對應(yīng)的正是大熱門的8寸晶圓生產(chǎn)需求。受疫情帶來的“宅經(jīng)濟”和汽車半導(dǎo)體的強勁需求拉動，從去年下半年開始，8寸晶圓制造產(chǎn)能逐漸擴張，對KrF光刻膠的需求也水漲船高，造成了光刻膠等原材料的短缺和價格上漲。

另一方面，根據(jù)國家半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)協(xié)會數(shù)據(jù)顯示，2017-2020年間，中國大陸新建27座晶圓廠，在全球新建晶圓廠數(shù)量中占比43.5%，將成為全球晶圓廠投資活動最活躍的地區(qū)。大量新增晶圓廠的產(chǎn)能帶來了龐大的光刻膠市場需求。

此外，光刻膠的緊缺與其市場交易習(xí)慣也有一定關(guān)系。光刻膠作為晶圓制造的核心化學(xué)工藝品，有效期較短，晶圓廠正常的庫存通常不會太多，因此光刻膠供應(yīng)鏈易受自然災(zāi)害或政治經(jīng)濟沖突等突發(fā)事件影響，產(chǎn)生缺貨、漲價現(xiàn)象。

國產(chǎn)KrF光刻膠技術(shù)處于追趕期

海外供應(yīng)告急之下，國產(chǎn)KrF光刻膠的發(fā)展也備受關(guān)注。據(jù)了解，一直以來，光刻膠的客戶壁壘較高，市場上光刻膠產(chǎn)品的更新速度較快，光刻膠廠家為了實現(xiàn)技術(shù)保密性，會與上游的原料供應(yīng)商保持密切合作關(guān)系，共同研發(fā)新技術(shù)，增大了客戶的轉(zhuǎn)換成本。

但現(xiàn)在中小晶圓廠苦于位列海外光刻膠客戶列表尾部，目前無貨可取，在地緣政治的風(fēng)險下，大客戶也在積極建設(shè)光刻膠的本土供應(yīng)鏈，國產(chǎn)光刻膠產(chǎn)品在國內(nèi)有望迎來新一輪的客戶導(dǎo)入。

據(jù)不完全統(tǒng)計，目前中國多家光刻膠供應(yīng)廠商已經(jīng)宣布在KrF光刻膠領(lǐng)域取得技術(shù)進展，主要有北京科華微電子、晶瑞股份，南大光電，上海新陽等。

整體而言，國產(chǎn)KrF光刻膠還處于客戶驗證與導(dǎo)入階段。預(yù)計伴隨KrF光刻膠、ArF光刻膠研發(fā)完畢順利完成客戶驗證后，國產(chǎn)光刻膠將進入國產(chǎn)替代的高峰期。

北京科華：KrF已量產(chǎn)，ArF光刻膠尚在研發(fā)過程中

北京科華微電子材料有限公司是一家中美合資企業(yè)，現(xiàn)該公司的第一股東為彤程新材，是目前國內(nèi)唯一一家可供應(yīng)KrF光刻膠企業(yè)。

北京科華成立于 2004 年，是一家產(chǎn)品覆蓋 KrF（248nm）、I-line、G-line、紫外寬譜的光刻膠及配套試劑供應(yīng)商與服務(wù)商，也是集先進光刻膠產(chǎn)品研、產(chǎn)、銷為一體的擁有自主知識產(chǎn)權(quán)的高新技術(shù)企業(yè)?？迫A微電子光刻膠產(chǎn)品序列完整，產(chǎn)品應(yīng)用領(lǐng)域涵蓋集成電路（IC）、發(fā)光二極管（LED）、分立器件、先進封裝、微機電系統(tǒng)（MEMS）等。

產(chǎn)品類型覆蓋 KrF（248nm）、G/I 線（含寬譜），主要包括：KrF光刻膠 DK1080、DK2000、DK3000系列；g-i line 光刻膠 KMP C5000、KMP C7000、KMP C8000、KMP EP3100 系列和 KMP EP3200A 系列；Lift-off 工藝使用的負(fù)膠 KMP E3000 系列；用于分立器件的 BN、BP 系列等。

晶瑞股份：KrF已完成中試，ArF光刻膠尚在研發(fā)過程中

蘇州晶瑞化學(xué)股份有限公司是一家生產(chǎn)銷售微電子業(yè)用超純化學(xué)材料和其他精細(xì)化工產(chǎn)品的上市企業(yè)，產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于超大規(guī)模集成電路、LED、TFT-LCD 面板制造過程、太陽能硅片的蝕刻與清洗。

2020 年 8 月 21 日晶瑞股份中報披露其子公司蘇州瑞紅 1993 年開 始光刻膠生產(chǎn)，承擔(dān)并完成了國家 02 專項“i 線光刻膠產(chǎn)品開發(fā)及產(chǎn)業(yè)化”項目，i 線光刻膠已向國內(nèi)頭部的知名大尺寸半導(dǎo)體廠商供貨，KrF 光刻膠完成中試，產(chǎn)品分辨率達到了 0.25～0.13μm 的技術(shù)要求，建成了中試示范線。

2020 年 10 月 12 日，晶瑞股份對深交所關(guān)注函的回復(fù)公告顯示，公司擬購買光刻機設(shè)備的型號為 ASML XT 1900Gi ArF 浸入式光刻機，可用于研發(fā)最高分辨率達 28nm 的高端光刻膠。

南大光電：子公司寧波南大光電自主研發(fā)的ArF光刻膠已通過客戶認(rèn)證

南大光電是一家專業(yè)從事先進電子材料高純金屬有機化合物的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售的高新技 術(shù)企業(yè)，對關(guān)鍵技術(shù)擁有完全自主知識產(chǎn)權(quán)，亦是全球 MO 源領(lǐng)導(dǎo)供應(yīng)商之一，產(chǎn)品主要應(yīng)用于下游制備 LED 外延片等。

在半導(dǎo)體光刻膠領(lǐng)域，南大光電擬投資 6.56 億元，3 年建成年產(chǎn) 25 噸 193nm（ArF 干式和浸沒式）光刻膠生產(chǎn)線，該啟動項目已獲得國家 02專項正式立項。

2020 年 11 月 6 日，南大光電披露 2020 年度向特定對象發(fā)行股票預(yù)案， 擬向特定對象發(fā)行股票的募集資金總額不超過 6.35 億元，其中 1.5 億元擬用于先進光刻 膠及高純配套材料的開發(fā)和產(chǎn)業(yè)化、ArF 光刻膠產(chǎn)品的開發(fā)和產(chǎn)業(yè)化。

上海新陽：主攻KrF和干法ArF光刻膠，目前已進入產(chǎn)能建設(shè)階段

上海新陽是以技術(shù)為主導(dǎo)，立足于自主創(chuàng)新的高新技術(shù)企業(yè)，專業(yè)從事半導(dǎo)體行業(yè)所需電子化學(xué)品及配套設(shè)備的研發(fā)設(shè)計、生產(chǎn)制造和銷售服務(wù)，致力于為用戶提供化學(xué)材料、配套設(shè)備、應(yīng)用工藝和現(xiàn)場服務(wù)一體化的整體解決方案。

上海新陽主攻 KrF 和干法 ArF 光刻膠，已經(jīng)進入產(chǎn)能建設(shè)階段。根據(jù) 2020 年 11 月 3 日定增預(yù)案，公司擬定增募資不超過14.50 億元，其中 8.15 億元擬投資于集成電路制造用高端光刻膠研發(fā)、產(chǎn)業(yè)化項目，主要目標(biāo)為實現(xiàn) ArF 干法工藝使用的光刻膠和面向 3D NAND 臺階刻蝕的 KrF 厚膜光刻膠的產(chǎn)業(yè)化，力爭于 2023 年前實現(xiàn)上述產(chǎn)品的產(chǎn)業(yè)化，填補國內(nèi)空白。

編輯：jq