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佳能即將發(fā)售新型光刻機(jī)“FPA-3030i5a”

lhl545545 ? 來源:手機(jī)中國 ? 作者:宋際金 ? 2021-01-07 09:03 ? 次閱讀

日本的佳能曾經(jīng)是最大的***制造商之一,后來逐漸衰微。但佳能并沒有放棄***業(yè)務(wù)。據(jù)日經(jīng)中文網(wǎng)報道,佳能將于2021年3月發(fā)售新型***“FPA-3030i5a”,用來搶占高功能半導(dǎo)體市場。

時隔7年,佳能更新了面向小型基板的半導(dǎo)體***,該設(shè)備使用波長為365納米的“i線”光源,支持直徑從2英寸(約5厘米)到8英寸(約20厘米)的小型基板,生產(chǎn)效率較以往機(jī)型提高了約17%。

就工藝水平而言,佳能的這款新型***是入門級別的,它的最大價值在于幫助企業(yè)提高產(chǎn)能。

除了主流的硅晶圓之外,該機(jī)還可以提高小型晶圓較多的化合物半導(dǎo)體的生產(chǎn)效率。包括功率器件耐壓性等出色的碳化硅(SiC),以及作為5G相關(guān)半導(dǎo)體材料而受到期待的氮化鎵(GaN)等。

此外,佳能還致力于研發(fā)“后期工序”(制作半導(dǎo)體芯片之后的封裝加工等)中使用的***,比如去年7月推出的515毫米 x 510毫米大型基板的***。

據(jù)悉,佳能正在著力開展新一代生產(chǎn)工藝的研發(fā)。
責(zé)任編輯:pj

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