高速響應(yīng)的熱導(dǎo)式氣體傳感器 MTCS2601用于二元氣體配氣過程中

配氣系統(tǒng)裝置是將兩種或兩種以上氣體按一定比例進行配比混合，輸出設(shè)定濃度氣體的儀器，多應(yīng)用與在環(huán)境與健康監(jiān)測以及科研、教學(xué)、測量等機構(gòu)中。隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，人們對配氣儀表的要求越來越高，目前市場上常用的配氣儀表是三通電磁閥控制型。

三通電磁閥控制的配氣系統(tǒng)主要是利用單片機根據(jù)所需氣體的配比要求，控制連接兩路氣體的高速三通電磁閥的通斷，從而調(diào)節(jié)每路氣體的采樣量，最終獲得設(shè)定濃度的氣體。

電磁閥式氣體分配器的優(yōu)點是適用范圍廣、操作簡單、價格相對低廉。常規(guī)氣體可以直接使用，無需特殊設(shè)置或轉(zhuǎn)換。對于要準備的氣體類型和濃度，出廠前不需要調(diào)整儀器。但只能用于配比兩種氣體，配氣精度低（1％以上）。

對于半導(dǎo)體和電子工業(yè)中使用的特殊氣體，為了保持氣體的穩(wěn)定性或便于使用，通常使用二元或多元氣體混合物，并且需要氣體分配系統(tǒng)裝置。常規(guī)配氣方式，如標準配氣，現(xiàn)有方式多為單瓶混氣。根據(jù)原料氣壓力和氣體性質(zhì)選擇配氣順序，例如原料瓶A和目標氣瓶B通過管道C連通，目標氣瓶放置在精密電子秤D上，這是常規(guī)的氣體分配裝置。這種配氣裝置的缺點是管道與接頭之間產(chǎn)生應(yīng)力，嚴重影響稱重精度，導(dǎo)致配比不準確；一次只能分配一瓶氣體，效率很低。特種氣體消耗量大，純度高，對濃度偏差要求高，因此這種方法不適合特種氣體的配氣。

為了解決上述出現(xiàn)的配氣精度問題，有相關(guān)領(lǐng)域的生產(chǎn)商開發(fā)出了帶有精密監(jiān)測元件的配氣系統(tǒng)裝置。了解到配氣系統(tǒng)中使用的氣體濃度檢測元件是熱導(dǎo)式氣體傳感器，它可以計控制各路氣體的濃度，以實現(xiàn)不同種類和濃度氣體的配制。一款熱導(dǎo)式氣體傳感器，可用于配氣系統(tǒng)中，瑞士Neroxis 熱導(dǎo)式氣體傳感器 － MTCS2601，該傳感器由基于 MEMS 技術(shù)的 4 個 Ni－Pt 電阻組成的微機械的熱電導(dǎo)率傳感器，適用于惡劣環(huán)境下初級壓力控制，需要功耗和尺寸的限制，或者是氣體泄漏或者水分，或者侵入。另外硅晶片上有加熱電阻，并且有優(yōu)異的溫度補償。