來源:半導(dǎo)體行業(yè)聯(lián)盟
8月10日,大族激光在互動平臺表示,公司在研光刻機項目分辨率3-5μm,主要聚焦在分立器件、LED等方面的應(yīng)用,目前已接到少量訂單。
此前,大族激光也在互動平臺表示,公司在研光刻機項目主要聚焦在分立器件、LED等領(lǐng)域的應(yīng)用,尚未實現(xiàn)銷售。
行業(yè)周知,高端芯片制造所需的光刻機一直以來被荷蘭ASML公司壟斷,一臺精密光刻機售價動輒過億,而我國半導(dǎo)體行業(yè)起步較晚,光刻機技術(shù)與ASML的差距非常大。
當(dāng)前,我國光刻機市場環(huán)境中,除了合肥芯碩半導(dǎo)體公司也具備量產(chǎn)200nm光刻機的實力,無錫影幻半導(dǎo)體公司也具備200nm光刻機量產(chǎn)的實力,而上海微電子所生產(chǎn)的90nm光刻機已是目前國內(nèi)最高技術(shù)的光刻機。
隨著大族激光在研光刻機項目的有序推進,也為我國光刻機的研發(fā)向前推進提供助力。
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原文標(biāo)題:重磅 | 深圳自研光刻機公司:已接到訂單!
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