MEMS(微機電系統(tǒng))是指集微型傳感器、執(zhí)行器以及信號處理和控制電路、接口電路、通信和電源于一體的微型機電系統(tǒng)。
2019-10-16 08:34:16
隨著
微機電系統(tǒng)（
MEMS）技術(shù)在微型化技術(shù)基礎(chǔ)上，結(jié)合了電子、機械、材料等多種學科交叉融合的前沿科研領(lǐng)域的不斷發(fā)展與成熟，從而出現(xiàn)了很多基于
MEMS技術(shù)的
傳感器，此類
傳感器具有體積小、重量輕、低功耗、多功能等優(yōu)點，在電子產(chǎn)品、航空航天、機械化工等行業(yè)中得到了廣泛應(yīng)用?！ ?/div>
2020-08-27 06:09:30
MS-2163：利用集成式MEMS慣性傳感器改 善工業(yè)控制
2019-09-03 14:31:55
意法半導體公司推出一系列慣性傳感器，極具誘惑力的價格配合卓越的產(chǎn)品性能，讓意法半導體迅速擴大了在消費電子MEMS傳感器市場的份額。公司在MEMS技術(shù)特性上實現(xiàn)了兩全其美：更小尺寸、更低價格、更高
2019-11-05 06:19:06
MEMS（Micro-Electro-Mechanical System）是指集機械元素、微型傳感器以及信號處理和控制電路、接口電路、通信和電源于一體的完整微型機電系統(tǒng)。MEMS慣性傳感器可構(gòu)成
2020-05-18 06:28:30
一直將重點放在開發(fā)MEMS傳感器的核心技術(shù)上，以適應(yīng)不同市場需求。《電子產(chǎn)品世界》記者近日采訪了ADI亞太區(qū)微機電產(chǎn)品市場和應(yīng)用經(jīng)理趙延輝，就ADI在MEMS傳感器未來的發(fā)展方向撰文，這里分享給大家
2018-12-18 14:35:44
應(yīng)力檢測等方面。為了滿足不同場合的應(yīng)用，已根據(jù)不同傳感原理制備了相應(yīng)的磁傳感器，常見的有超導量子干涉裝置(SQUID) 、磁通門磁力計、霍爾效應(yīng)傳感器、各向異性磁阻(AMR)傳感器、微機電系統(tǒng)
2018-11-09 10:38:15
在機電一體化系統(tǒng)中，傳感器處系統(tǒng)之首，其作用相當于系統(tǒng)感受器官，能快速、精確地獲取信息并能經(jīng)受嚴酷環(huán)境考驗，是機電一體化系統(tǒng)達到高水平的保證。如缺少這些傳感器對系統(tǒng)狀態(tài)和對信息精確而可靠的自動檢測，系統(tǒng)的信息處理、控制決策等功能就無法談及和實現(xiàn)。
2020-03-30 07:08:22
的問題和未來發(fā)展的趨勢.關(guān)鍵詞: 微機電系統(tǒng); 基礎(chǔ)研究; 微加工技術(shù);微型傳感器;現(xiàn)狀及展望[此貼子已經(jīng)被作者于2009-3-17 15:33:50編輯過]
2009-03-17 15:29:51
微機電系統(tǒng)（MEMS）
2021-01-09 10:18:48
微機電系統(tǒng)，大大提高了器件的功能和效率，已顯示出了巨大的生命力。MEMS技術(shù)的發(fā)展有可能會像微電子一樣，對科學技術(shù)和人類生活產(chǎn)生革命性的影響，尤其對微小衛(wèi)星的發(fā)展影響更加深遠，必將為大批量生產(chǎn)低成本
2019-07-18 13:49:09
隨著微機電系統(tǒng)(Micro?Electro?Mechanism System, MEMS)、片上系統(tǒng)（System on Chip，SoC）、無線通信和低功耗嵌入式技術(shù)的飛速發(fā)展,無線傳感器網(wǎng)絡(luò)
2019-11-04 07:23:15
Maxim Integrated Products, Inc.推出Santa Cruz (MAXREFDES23#)環(huán)境光傳感器(ALS)，能夠在工廠快速配置和監(jiān)測多路紅、綠、藍(RGB)可見光和紅外(IR)信號環(huán)境光傳感器，適用于需要高精度檢測的工業(yè)應(yīng)用。
2020-05-06 06:55:04
橫跨多重電子應(yīng)用領(lǐng)域、全球第一大消費電子和便攜設(shè)備MEMS(微機電系統(tǒng))傳感器供應(yīng)商意法半導體進一步擴大MEMS產(chǎn)品組合，推出整合三軸線性運動和角速率傳感器的新一代傳感器模塊，這款擁有6個自由度
2011-08-08 16:58:28
微機電系統(tǒng)(MEMS)器件供應(yīng)商意法半導體(ST)宣布該公司繼續(xù)擴大三軸加速計的產(chǎn)品陣容，推出三款以業(yè)界領(lǐng)先性能和最小封裝為特色的加速計器件。從微型封裝的模擬器件，到支持兩種數(shù)字輸出格式(SPI
2018-10-25 11:31:52
USB微機電加速度計：MEMS Accelerometer，是加速度計的一種，其中MEMS是微機電系統(tǒng)（Micro-Electro-Mechanical Systems）的英文縮寫，是將微電子技術(shù)
2017-07-10 11:09:52
MEMSIC（納斯達克股票交易所代碼: MEMS）是業(yè)內(nèi)領(lǐng)先的微機電系統(tǒng)解決方案提供商，結(jié)合專有的MEMS技術(shù)與先進的混合信號處理和系統(tǒng)解決方案，日前宣布推出全新的三軸磁傳感器MMC312xMQ,該產(chǎn)品將使一體化的數(shù)字指南針功能被廣泛集成到工業(yè)、消費類市場和移動手機應(yīng)用中。
2019-08-22 07:38:24
什么是MEMS？MEMS = Micro-Electro-Mechanical System, 是用半導體技術(shù)，在半導體材料上刻蝕出來的微機械結(jié)構(gòu)。下圖左邊是MEMS制程做出的微機械齒輪與螨蟲的大小對比，右邊是一個200um的微機械風扇葉片放大圖。
2019-09-12 09:05:05
資料下載。希望大家喜歡哦！ 傳感器就是電子系統(tǒng)的眼睛、耳朵和手，可讓系統(tǒng)捕捉到環(huán)境的狀態(tài)。信號捕捉與傳感器輸入的處理是一種精細的過程，需要對信號有詳細的了解。在硅片上集成傳感器功能可提升性能、提供更佳的信號處理以及更低的總系統(tǒng)成本?；诠璧?b class="flag-6" style="color: red">MEMS(微機電系統(tǒng))傳感器開辟了全新的領(lǐng)域和應(yīng)用。
2018-10-16 10:55:23
是通過在半導體基片上刻蝕特定的圖形，來實現(xiàn)傳感器單元或者可以移動零點幾微米的機 械執(zhí)行器。MEMS壓力傳感器是第一類批量應(yīng)用的產(chǎn)品，如今用于負責監(jiān)測數(shù)以億計的發(fā)動機歧管和輪胎的壓力；而MEMS加速度計則用 于安全氣囊、翻滾檢測以及汽車報警系統(tǒng)，時間也已超過15年之久。
2019-07-22 06:02:53
、重量輕、響應(yīng)快、靈敏度高、易于批量生產(chǎn)、成本低的優(yōu)勢，它們已經(jīng)開始逐步取代基于傳統(tǒng)機電技術(shù)的壓力傳感器。目前已有多種MEMS壓力傳感器應(yīng)用到了汽車電子系統(tǒng)中，如發(fā)動機共軌壓力、機油壓力、歧管空氣進氣壓
2019-07-16 08:00:59
，能夠?qū)θ耸衷谖恢煤头较蛏系淖兓龀鼍_的反應(yīng)。除采用ST的微機電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)外，Gyration的新產(chǎn)品還采用ST的8位微控制器執(zhí)行計算任務(wù)和系統(tǒng)管理功能?！ T的3D運動傳感器外形尺寸
2018-10-25 11:22:51
在技術(shù)應(yīng)用中測量傾斜度，加速度和振動需要高精度的慣性傳感器：MEMS（微型機電系統(tǒng)）系列傳感器采用單晶硅傳感器元件，融合最先進的微機械加工技術(shù)。不同的微機械加工技術(shù)用于生產(chǎn)，每種技術(shù)都有
2020-07-07 09:36:40
里，微機電系統(tǒng)（MEMS）傳感器是搭建用戶與其周邊眾多設(shè)備（如智能手機、可穿戴設(shè)備、機器人和無人機）之間的橋梁。然而，僅僅憑借設(shè)備的傳感和連接根本不足以實現(xiàn)物聯(lián)網(wǎng)的遠大目標。只有以人為本，即
2019-07-22 06:31:22
隨后的模數(shù)轉(zhuǎn)換器（A/D）和信號調(diào)節(jié)電路組成。以開環(huán)配置（沒有反饋信號）運行這種傳感器可以形成相對簡單的系統(tǒng)，這種系統(tǒng)本身就比較穩(wěn)定。盡管如此，開環(huán)工作時的系統(tǒng)對MEMS參數(shù)會非常敏感。此外，整個系統(tǒng)
2018-11-06 16:07:28
MEMS（微機電系統(tǒng)）傳感器都有哪些優(yōu)點？為什么MEMS（微機電系統(tǒng)）傳感器受消費者歡迎？
2021-06-17 07:45:15
的，例如磁力計、指紋傳感器、環(huán)境傳感器、MEMS手機攝像頭等。而MEMS傳感器在手機應(yīng)用的數(shù)量規(guī)模以及多樣性，也仍不斷在快速成長當中。蘋果（Apple）公司于2007年首度將微機電系統(tǒng)（MEMS
2016-12-07 15:43:48
設(shè)計的目標無線傳感器網(wǎng)絡(luò)中的關(guān)鍵技術(shù)背景本文作者： Hdawen因為超大規(guī)模集成電路 (VLSI) 以及微機電系統(tǒng)科技 (MEMS technology) 等硬件基礎(chǔ)以及radio frequency (...
2021-09-15 07:48:30
應(yīng)用高潮的推動者，MEMS傳感器在汽車上應(yīng)用的快速發(fā)展主要是受益于各國***全面推出汽車安全規(guī)定（比如要求所有汽車采用TPMS系統(tǒng)）和汽車智慧化的發(fā)展趨勢。全球平均每輛汽車包含10個傳感器，在高檔汽車中
2016-12-07 15:42:36
MEMS傳感器應(yīng)用在航空航天領(lǐng)域，要求適應(yīng)在不同的空間環(huán)境，包括：真空、電磁輻射、高能粒子輻射、等離子體、微流星體、行星大氣、磁場和引力場等，以及航天器某些系統(tǒng)工作時或在空間環(huán)境作用下產(chǎn)生的誘導環(huán)境
2016-12-07 15:45:00
系統(tǒng)（MEMS）慣性傳感器的設(shè)計在本質(zhì)上對運動非常敏感，可有效檢測和處理線性加速、磁航向、海拔和角速率信息。為充分利用慣性傳感器的性能潛力，設(shè)計者必須熟悉總體機械系統(tǒng)，密切關(guān)注應(yīng)用中的運動源和諧
2018-11-12 15:38:15
飛思卡爾半導體近日推出了公司的首款數(shù)字輸出壓力傳感器，幫助簡化系統(tǒng)設(shè)計，實現(xiàn)筆記本電腦和PC中使用的硬盤驅(qū)動（HDD）的存儲器存儲密度的增加。MPL115A數(shù)字傳感器基于微機電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù)，在緊湊的封裝中提供高精度氣壓和測高功能，適用于各種成本敏感的消費電子和工業(yè)控制應(yīng)用。
2019-08-22 07:25:10
微機電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù)是通過使用先進的微制造技術(shù)將機械器件、傳感器和電子組件部署在單個硅基板上而實現(xiàn)。如今，這些技術(shù)已經(jīng)逐漸取代了汽車市場各種車型使用的大部分傳感裝置，并帶來系統(tǒng)在降低成本、持續(xù)可靠性（由于固有的穩(wěn)健性）、空間利用（由于其緊湊的尺寸）以及工作性能等方面相當大的設(shè)計優(yōu)勢。
2019-08-02 06:35:04
采用微機電系統(tǒng)( MEMS) 犧牲層技術(shù)制作的壓力傳感器具有芯片尺寸小，靈敏度高的優(yōu)勢，但同時也帶來了提高過載能力的難題。為此，本文利用有限元法，對犧牲層結(jié)構(gòu)壓阻式壓力傳感器彈性膜片的應(yīng)力分布進行了
2020-03-17 06:00:11
隨著傳感器、物聯(lián)網(wǎng)應(yīng)用的大規(guī)模落地，微機電系統(tǒng)（MEMS）在近些年應(yīng)用越來越廣泛，MEMS的存在可以減小電子器件的大小。同時，與之相對應(yīng)的MEMS封裝也開始備受關(guān)注。
2020-05-12 10:23:29
微機電系統(tǒng)（MEMS）是當前一個發(fā)展極為迅速并涉及多個學科的領(lǐng)域。本文主要介紹了微機電系統(tǒng)的產(chǎn)生與發(fā)展過程，討論了它所采用的材料和加工技術(shù)、該技術(shù)涉及的各個學科，
2009-05-25 09:34:02
6 分析了分布式微機電系統(tǒng)特點，對基于多主體控制的分布式微機電系統(tǒng)構(gòu)成進行了研究，提出了采用多主體技術(shù)實現(xiàn)分布式MEMS控制的框架。對系統(tǒng)的模型、微機電主體的結(jié)構(gòu)、行為
2009-05-25 21:40:3721 微機電系統(tǒng)是一個新興的技術(shù)領(lǐng)域. 闡述了微機電系統(tǒng)的特點、加工工藝、應(yīng)用及其現(xiàn)狀和發(fā)展趨勢.[關(guān)鍵詞] 微機電系統(tǒng);微機械;微傳感器;微細加工技術(shù)
2009-06-20 10:59:1935 本文通過大量的文獻資料，評述汽車MEMS（微機電系統(tǒng)）傳感器的應(yīng)用現(xiàn)狀及發(fā)展趨勢，其中重點介紹幾種傳感器的原理和結(jié)構(gòu)，同時對該領(lǐng)域的產(chǎn)業(yè)化也進行了探討。關(guān)鍵詞：
2009-06-25 08:32:5651 基于微機電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù)制備安培型免疫傳感器，并利用基于硫醇單層膜的納米金單層膜自組裝技術(shù)設(shè)計傳感器界面，用于固定人免疫球蛋白（ IgG）抗體，研制了一種新型的安培
2009-10-06 08:52:0121 微機電系統(tǒng)（MEMS）是當前一個發(fā)展極為迅速并涉及多個學科的領(lǐng)域。本文主要介紹了微機電系統(tǒng)的產(chǎn)生與發(fā)展過程，討論了它所采用的材料和加工技術(shù)、該技術(shù)涉及的各個學科，
2009-11-23 13:32:5914
與傳感器兼容的微機電路圖
2009-07-03 13:58:31
403 
據(jù)iSuppli公司的最新調(diào)研，微機電 (MEMS)汽車傳感器將在2010年強勁反彈，預(yù)計2010年全球汽車MEMS傳感器出貨量將達到5.912億個，比2009年的5.020億勁增17.8%。2009年MEMS傳感器市場劇烈波動
2010-06-28 08:07:20494 MEMS(微機電系統(tǒng))是指集微型傳感器、執(zhí)行器以及信號處理和控制電路、接口電路、通信和電源于一體的微型機電系統(tǒng)。
MEMS壓力傳感器可以用類似集成電路(IC)設(shè)計技術(shù)和制造
2010-07-03 08:38:531796 
DIGITIMES Research指出，微機電系統(tǒng)(MEMS)慣性組件應(yīng)用已起飛，目前尤以手機中的應(yīng)用最被全球業(yè)者所看好，故業(yè)者將
2010-11-23 09:14:55975 意法半導體(ST)日前最新推出的微機電系統(tǒng)(MEMS)LPS001WP，該壓力感測器成功實現(xiàn)智慧型手機以及其它可攜式裝置能夠確
2010-12-07 09:05:061521 美信(Maxim Integrated Products)宣布公司已完成對SensorDynamics的收購，SensorDynamics是一家提供專用傳感器和微機電系統(tǒng)(MEMS)解決方案的私人控股公司
2011-07-25 08:32:26413 近陣子由于iPhone 4走紅，許多媒體紛紛宣揚iPhone將引爆傳感器題材商機，在報導描述中也用上了熱門的技術(shù)名詞：微機電系統(tǒng)（MEMS），期望使題材能更熱。 文章用上MEMS傳感器的稱呼，
2011-09-01 16:01:41382 美國Consensic 公司推出革命性新型微機電(MEMS)智能電容式壓力傳感器CPS120，是全世界唯一一家數(shù)字式MEMS電容式壓力傳感器的廠商。
2011-09-07 12:05:314949 MEMS微機電系統(tǒng)基本上是指尺寸在幾厘米以下乃至更小的小型裝置，是一個獨立的智能系統(tǒng)，主要由傳感順、作動器(執(zhí)行器)和微能源三大部分組成。
2011-09-13 17:28:432490 mems (微機電系統(tǒng))傳感器;有三項MEMS技術(shù)產(chǎn)品：紅外傳感器、磁性傳感器、測角傳感器;在高檔汽車中，大約采用25至40只MEMS傳感器;
2011-12-28 10:28:551083 市場研究機構(gòu)Yole Developpement公布最新前三十大微機電系統(tǒng)(MEMS)業(yè)者排名。
2012-03-29 09:55:351590 
mems（微機電系統(tǒng)）傳感器;有三項MEMS技術(shù)產(chǎn)品：紅外傳感器、磁性傳感器、測角傳感器;在高檔汽車中，大約采用25至40只MEMS傳感器;
2012-12-11 14:31:37931 基于微機電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù)制備安培型免疫傳感器，并利用基于硫醇單層膜的納米金單層膜自組裝技術(shù)設(shè)計傳感器界面，用于固定人免疫球蛋白（IgG）抗體，研制了一種新型的安培型免疫傳感器。
2017-09-08 15:39:486 微機電系統(tǒng)（MEMS） 慣性傳感器的設(shè)計在本質(zhì)上對運動非常敏感，可有效檢測和處理線性加速、磁航向、海拔和角速率信息。為充分利用慣性傳感器的性能潛力，設(shè)計者必須熟悉總體機械系統(tǒng)，密切關(guān)應(yīng)用中的運動
2017-10-23 17:28:3933 （Micro-ElectroMechanical System），微機電系統(tǒng)是指可批量制作的，將微型機構(gòu)、微型傳感器、微型執(zhí)行器以及信號處理和控制電路、直至接口、通信和電源等集成于一塊或多塊芯片上的微型器件或系統(tǒng)。而MEMS傳感器就是采用微電子和微機械加工技術(shù)制造出來的新型傳
2017-11-24 09:41:569349 采用微機電系統(tǒng)（ MEMS） 犧牲層技術(shù)制作的壓力傳感器具有芯片尺寸小，靈敏度高的優(yōu)勢，但同時也帶來了提高過載能力的難題。為此，利用有限元法，對犧牲層結(jié)構(gòu)壓阻式壓力傳感器彈性膜片的應(yīng)力分布進行了靜態(tài)
2017-11-29 10:21:2715 汽車 mems （微機電系統(tǒng)）傳感器;有三項MEMS技術(shù)產(chǎn)品：紅外傳感器、磁性傳感器、測角傳感器;在高檔汽車中，大約采用25至40只MEMS傳感器。
2018-04-11 11:35:001567 
據(jù)麥姆斯咨詢報道，近日，領(lǐng)先的微機電系統(tǒng)（MEMS）和傳感器代工廠Micralyne在日本“MEMS傳感和網(wǎng)絡(luò)系統(tǒng)展會”上展示了用于開發(fā)下一代氣體傳感器的MEMS技術(shù)平臺——標準的硅工藝技術(shù)和工藝模塊。
2018-04-28 15:30:002103 美國柏恩Bourns全球知名電子組件領(lǐng)導制造供貨商，近日推出了微機電系統(tǒng)（MEMS）環(huán)境傳感器，Bourns精密傳感器（BPS）系列提供的產(chǎn)品分別為三個壓力傳感器系列與一個濕度傳感器系列。
2018-11-21 16:59:414341 美國柏恩Bourns全球知名電子組件領(lǐng)導制造供貨商，今天推出了微機電系統(tǒng)(MEMS)環(huán)境傳感器，Bourns精密傳感器(BPS)系列提供的產(chǎn)品分別為三個壓力傳感器系列與一個濕度傳感器系列。
2018-11-23 15:43:244103 2011年11月ADI高校講座系列-MEMS(微機電系統(tǒng)): 第三部分
2019-08-06 06:18:002952 MEMS傳感器即微機電系統(tǒng)（Microelectro Mechanical Systems），是在微電子技術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展起來的多學科交叉的前沿研究領(lǐng)域。經(jīng)過四十多年的發(fā)展，已成為世界矚目的重大科技領(lǐng)域之一。
2019-12-25 09:33:581323 美商柏恩 Bourns 全球知名電子組件領(lǐng)導制造供貨商，今天宣布在 Bourns? 精密傳感器（BPS）系列中增加四款新型號?；谧钚碌?b class="flag-6" style="color: red">微機電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù)，這四款新型的 BPS310
2020-03-12 13:44:59515 型壓力傳感器是以最新微機電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù)為基礎(chǔ)，并以微型封裝尺寸提供精確性能。Bourns BPS125型號乃是專為空間受限的3．3V的數(shù)字系統(tǒng)設(shè)計，BPS125可以極其靈敏和精確的測量250至500Pa范圍內(nèi)的壓力，并且經(jīng)過放大和校準通過數(shù)字通信接口讀取壓力數(shù)值。
2020-03-17 16:15:34465 MEMS傳感器的六類簡介 以下直接介紹MEMS傳感器的幾個類型及工作原理介紹，MEMS傳感器即微機電系統(tǒng)是在微電子技術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展起來的多學科交叉的前沿研究領(lǐng)域，與傳統(tǒng)的傳感器相比，它具有體積小
2020-04-16 16:18:371510 MEMS傳感器的6大種類簡介 以下直接介紹MEMS傳感器的幾個類型及工作原理介紹，MEMS傳感器即微機電系統(tǒng)是在微電子技術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展起來的多學科交叉的前沿研究領(lǐng)域，與傳統(tǒng)的傳感器相比，它具有體積小
2020-06-01 11:00:533799 MEMS傳感器即微機電系統(tǒng)（MicroelectroMechanicalSystems）在微電子技術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展起來的多學科交叉的前沿研究領(lǐng)域。
2020-07-15 16:29:011158 基于微機電系統(tǒng)傳感器工作原理，提出了一種應(yīng)用于MEMS傳感器系統(tǒng)的低溫度系數(shù)和高電源抑制比基準電流源設(shè)計方案
2021-04-16 09:19:032577 
摘要 MEMS已被認為是最有前途的技術(shù)之一。在21世紀，它具有革命性的工業(yè)和結(jié)合以硅為基礎(chǔ)的微電子產(chǎn)品微加工技術(shù)。它的技術(shù)和微系統(tǒng)電子設(shè)備有可能極大地影響我們的生活。本文介紹了微機電系統(tǒng)文章全部詳情
2023-04-24 09:21:00425 MEMS（Micro-Electro-Mechanical System）一般指微機電系統(tǒng)，是在微米級尺寸上進行精密微加工，制作形成各種類型的微傳感器及微執(zhí)行器。壓力傳感器是MEMS傳感器中最早出現(xiàn)及應(yīng)用的傳感器之一
2022-04-19 14:32:062942 (Micro-ElectroMechanical System)，微機電系統(tǒng)是指可批量制作的，將微型機構(gòu)、微型傳感器、微型執(zhí)行器以及信號處理和控制電路、直至接口、通信和電源等集成于一塊或多塊芯片上的微型器件或系統(tǒng)。而MEMS傳感器就是采用微電子和微機械加工技術(shù)制造出來的新型傳感器。
2022-08-04 15:54:114205 MEMS聲學傳感器的出現(xiàn)，讓音箱不再只能單純播放音樂，而是成為可以與人互動的智能終端。
2022-11-16 11:29:561956 ——原理、設(shè)計和應(yīng)用》，說明了MEMS電容式傳感器、MEMS觸覺傳感器、MEMS壓電式加速度計等常見傳感器的原理和構(gòu)造，可選自己感興趣的部分MEMS傳感器知識閱讀。 ? 傳感器技術(shù)的演進趨勢，是向著超小型化或微系統(tǒng)技術(shù)（MST）發(fā)展。這方面的一個子系統(tǒng)就是MEMS（微機電系統(tǒng)）
2023-04-10 17:34:122605 MEMS(微機電系統(tǒng))是指集機械元件、微傳感器、信號處理與控制電路、接口電路、通信和電源為一體的完整的微機電系統(tǒng)。MEMS慣性傳感器可以組成低成本的INS/GPS組合導航系統(tǒng)。它是一種非常適合構(gòu)建小型捷聯(lián)慣導系統(tǒng)的慣性傳感器。MEMS慣性傳感器的突出特性使其在許多民用和軍事領(lǐng)域具有廣闊的應(yīng)用前景。
2023-07-19 09:21:571288 。微機電系統(tǒng)（Micro- Electro - Mechanical System, MEMS)是指將微電子器件、微結(jié)構(gòu)與微機械組件（微傳感器、微執(zhí)行器）集于一體的集成系統(tǒng)，它代表一種在電子領(lǐng)域與其
2023-11-14 09:25:03424 
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2023-11-27 09:52:201 
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