CCD原理
電荷耦合器件(Charge?? Couple?? Device, 簡稱CCD)是一種金屬氧化物半導(dǎo)體(MOS)集成電路器件。它以電荷作為信號, 基本功能是進(jìn)行電荷的存儲和電荷的轉(zhuǎn)移。 CCD自1970年問世以來, 由于其獨(dú)特的性能而發(fā)展迅速, 廣泛應(yīng)用于自動控制和自動測量, 尤其適用于圖像識別技術(shù)。 ?
??????? 1. CCD原理?
??????? 構(gòu)成CCD的基本單元是MOS電容器, 如8 - 18(a)所示。 與其它電容器一樣, MOS電容器能夠存儲電荷 。
??????? 如果MOS電容器中的半導(dǎo)體是P型硅, 當(dāng)在金屬電極上施加一個正電壓時, 在其電極下形成所謂耗盡層, 由于電子在那里勢能較低, 形成了電子的勢阱, 如圖8 - 19(b)所示, 成為蓄積電荷的場所。CCD的最基本結(jié)構(gòu)是一系列彼此非常靠近的MOS電容器, 這些電容器用同一半導(dǎo)體襯底制成, 襯底上面履蓋一層氧化層, 并在其上制作許多金屬電極, 各電極按三相(也有二相和四相)配線方式連接, 圖8 - 19為三相CCD時鐘電壓與電荷轉(zhuǎn)移的關(guān)系。當(dāng)電壓從φ1相移到φ2相時, φ1相電極下勢阱消失, φ2相電極下形成勢阱。這樣儲存于φ1相電極下勢阱中的電荷移到鄰近的φ2相電極下勢阱中, 實(shí)現(xiàn)電荷的耦合與轉(zhuǎn)移。 ?
??????? CCD的信號是電荷, 那么信號電荷是怎樣產(chǎn)生的呢?CCD的信號電荷產(chǎn)生有兩種方式: 光信號注入和電信號注入。 CCD用作固態(tài)圖像傳感器時, 接收的是光信號, 即光信號注入法。當(dāng)光信號照射到CCD硅片表面時, 在柵極附近的半導(dǎo)體體內(nèi)產(chǎn)生電子-空穴對, 其多數(shù)載流子(空穴)被排斥進(jìn)入襯底, 而少數(shù)載流子(電子)則被收集在勢阱中, 形成信號電荷, 并存儲起來。存儲電荷的多少正比于照射的光強(qiáng)。所謂電信號注入, 就是CCD通過輸入結(jié)構(gòu)對信號電壓或電流進(jìn)行采樣, 將信號電壓或電流轉(zhuǎn)換為信號電荷。 ?
???????? CCD輸出端有浮置擴(kuò)散輸出端和浮置柵極輸出端兩種形式, 如圖8 - 20所示。
???????? 浮置擴(kuò)散輸出端是信號電荷注入末級浮置擴(kuò)散的PN結(jié)之后, 所引起的電位改變作用于MOSFET的柵極。這一作用結(jié)果必然調(diào)制其源-漏極間電流, 這個被調(diào)制的電流即可作為輸出。 當(dāng)信號電荷在浮置柵極下方通過時, 浮置柵極輸出端電位必然改變, 檢測出此改變值即為輸出信號。 ?
??????? 通過上述的CCD工作原理可看出, CCD器件具有存儲、 轉(zhuǎn)移電荷和逐一讀出信號電荷的功能。因此CCD器件是固體自掃描半導(dǎo)體攝像器件, 有效地應(yīng)用于圖像傳感器。
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