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基于拓?fù)湫臀⒚兹~傳感電極的壓力傳感器設(shè)計

2023年01月14日 17:32 MEMS 作者: 用戶評論(0

可穿戴電子設(shè)備能夠采集人體的物理化學(xué)信號,在人機(jī)交互、智能醫(yī)療等領(lǐng)域發(fā)揮重要作用,傳感電極的微納材料與結(jié)構(gòu)設(shè)計是其中的重要研究內(nèi)容。

離子型壓力傳感器中的離子能夠有效結(jié)合傳感電極信號與人體的化學(xué)環(huán)境,是可穿戴電子器件的研究熱點(diǎn)之一,其中,有效促進(jìn)體系中離子-電子的傳輸是提升傳感性能的關(guān)鍵。

針對上述問題,安徽大學(xué)集成電路研究院曾瑋副教授與合作者提出一種拓?fù)湫臀⒚兹~傳感電極結(jié)構(gòu),電極內(nèi)部的鉍烯作為導(dǎo)電框架,中間的BiOCl-Bi2O3活性層提供超容性,外部的硼烯不僅提升超容性,而且維持了整體的拓?fù)湫螤?。基于該傳感電極,設(shè)計實現(xiàn)了基于蠶絲蛋白水凝膠的電解質(zhì),構(gòu)成了整體的超級電容型柔性壓力傳感器件。

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圖1 拓?fù)湫臀⒚兹~傳感電極在應(yīng)力下的壓離子傳輸機(jī)理

研究表明,在壓力傳感器工作過程中,電極的微米葉拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)有利于電解質(zhì)中離子的抽取和遷移,制得的傳感器用于柔性電子皮膚時,具有寬檢測范圍,低檢測限和優(yōu)異的耐久性。

器件在50~150 Pa的范圍內(nèi),靈敏度為1.60 kPa?1,在150 Pa-8.5 kPa范圍內(nèi),靈敏度為1.01 kPa?1,檢測下限達(dá)0.59 Pa,最大檢測范圍~220 kPa,經(jīng)過10000次循環(huán),相對電容能保持97.92%,應(yīng)用于人體關(guān)節(jié)運(yùn)動、面部表情的監(jiān)測與識別,為離子型傳感器件與裝置的設(shè)計與實現(xiàn)提供了新思路。

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圖2 基于拓?fù)湫臀⒚兹~傳感電極的壓力傳感器在人體關(guān)節(jié)及面部表情識別上的應(yīng)用






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