位移測量是線位移測量和角位移測量的總稱，位移測量在機電一體化制造系統(tǒng)中應(yīng)用十分廣泛。一般位移傳感器主要有：電感傳感器、電容傳感器、感應(yīng)同步器、光柵傳感器、磁柵傳感器、旋轉(zhuǎn)變壓器和光電編碼盤等。其中，旋轉(zhuǎn)變壓器和光電編碼盤只能測試角位移，其它幾種傳感器既有直線型位移傳感器又有角度型位移傳感器。
光柵位移傳感器
光柵是一種新型的位移檢測元件，是一種將機械位移或模擬量轉(zhuǎn)變?yōu)閿?shù)字脈沖的測量裝置。它的特點是測量精確度高（可達±1μm）、響應(yīng)速度快、量程范圍大、可進行非接觸測量等。其易于實現(xiàn)數(shù)字測量和自動控制，廣泛用于數(shù)控機床和精密測量中。
光柵的構(gòu)造
所謂光柵就是在透明的玻璃板上，均勻地刻出許多明暗相間的條紋，或在金屬鏡面上均勻地劃出許多間隔相等的條紋，通常線條的間隙和寬度是相等的。以透光的玻璃為載體的稱為透射光柵，不透光的金屬為載體的稱為反射光柵；根據(jù)光柵的外形可分為直線光柵和圓光柵。
光柵位移傳感器的結(jié)構(gòu)如圖所示。它主要由標尺光柵、指示光柵、光電器件和光源等組成。通常，標尺光柵和被測物體相連，隨被測物體的直線位移而產(chǎn)生位移。一般標尺光柵和指示光柵的刻線密度是相同的，而刻線之間的距離W稱為柵距。光柵條紋密度一般為每毫米25、50、100、250條等。
