背照式(BSI)圖像傳感器是指采用從背面對傳感器進行照明,即采用背面照度技術(shù)(BSI)的傳感器。采用BSI構(gòu)建像素,光線無需穿過金屬互連層。然而,這仍然對光路徑帶來一些限制,幸運的是,促使FSI技術(shù)不斷改進的許多知識和技術(shù)進步可以直接應(yīng)用于BSI技術(shù),從而為提高BSI性能打下了堅實的基礎(chǔ)。
BSI的主要優(yōu)勢是能夠使電氣組件與光線分離,使光路徑能夠被獨立地優(yōu)化,反之亦然。而且,這無需在金屬層或光導(dǎo)管中創(chuàng)建一個孔徑,從而消除了入射光的損耗機理。其最終結(jié)果是BSI能夠獲得更高的QE。BSI圖像傳感器超越傳統(tǒng)FSI器件的另一個主要優(yōu)勢是像素的光堆疊高度更低。但應(yīng)當(dāng)注意的是,相比具有光導(dǎo)管的FSI架構(gòu),這一優(yōu)勢并不明顯,這是因為對于后者,由于光線在互連堆疊的頂部聚集,并由光導(dǎo)管限制和導(dǎo)引到光電檢測器表面,有效光堆疊高度也會減小。