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基于半導(dǎo)體氣敏元件法的報警儀

2009年11月23日 11:48 www.wenjunhu.com 作者：佚名 用戶評論（0）
基于半導(dǎo)體氣敏元件法的報警儀　　
基于半導(dǎo)體氣敏元件法的報警儀（AlarmBasedon Gas Sensitive Semiconductor Device）
　　氣體工業(yè)名詞術(shù)語。采用半導(dǎo)體氧化物作為氣敏元件，其電導(dǎo)率隨著接觸氣體濃度的變化呈線性關(guān)系，通過測量電導(dǎo)率就可以檢測出氣體的濃度，將信號放大并顯示報警。將半導(dǎo)體氧化物粉末涂在鉑絲上，鉑絲通電發(fā)熱提供一定溫度，同時提高了氣體檢測的靈敏度。該法對砷烷，磷烷，乙硼烷，硅烷的最低檢測濃度分別為012×10-6，013×10-6，011×10-6，015×10-6；響應(yīng)速度90%應(yīng)答10s。

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