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最小的電容測量電路的設(shè)計(jì)以及電容充放電該如何計(jì)算?

2017年05月31日 15:24 網(wǎng)絡(luò)整理 作者: 用戶評論(0

  電容電感充放電該如何計(jì)算?

  電容充電放電時(shí)間和充電電流計(jì)算公式

  設(shè)V0 為電容上的初始電壓值

  V1 為電容最終可充到或放到的電壓值

  Vt 為t時(shí)刻電容上的電壓值則

  Vt=V0+(V1-V0)*[1-exp(-t/RC)]

  例如,電壓為E的電池通過R向初值為0的電容C充電V0=0,V1=E,故充到t時(shí)刻電容上的電壓為

  Vt=“E”*[1-exp(-t/RC)]

  再如,初始電壓為E的電容C通過R放電

  V0=E,V1=0,故放到t時(shí)刻電容上的電壓為

  Vt=“E”*exp(-t/RC)

  推導(dǎo)也許不難,利用積分可以了。充電:

  Vin = i*R +Vc , ( Vc是電容上電壓,i是回路電流(充電電流),均是時(shí)間的函數(shù)。)

  =》 Vin = (C*dVc/dt)*R + Vc

  =》 dt/(RC) = dVc/(Vin-Vc)

  積分兩邊后

  t/(RC) = -ln(Vin-Vc) +K ( K是一個(gè)常數(shù),由初始條件決定,這里可知 K=ln(Vin) )

  於是得 Vc = Vin*(1-exp(-t/RC)) ,Ic = (Vin/R)*exp(-t/RC)

  RL電路的時(shí)間常數(shù):τ=L/R

  電路接直流,i=Io[1-e^(-t/τ)]  Io是最終穩(wěn)定電流

  電路的短路,i=Io×e^(-t/τ)]   Io是短路前L中電流

  最小的電容測量電路的設(shè)計(jì):

  電容式傳感器是將被測量的變化轉(zhuǎn)換成電容量變化的一種裝置。電容式傳感器具有結(jié)構(gòu)簡單、分辨力高、工作可靠、動(dòng)態(tài)響應(yīng)快、可非接觸測量,并能在高溫、輻射和強(qiáng)烈振動(dòng)等惡劣條件下工作等優(yōu)點(diǎn)已在工農(nóng)業(yè)生產(chǎn)的各個(gè)領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。例如在氣力輸送系統(tǒng)中,可以用電容傳感器來獲得濃度信號和流動(dòng)噪聲信號,從而測量物料的質(zhì)量流量;在電力系統(tǒng)中,采用電容傳感器在線監(jiān)測電纜溝的溫度,確保使用的安全;由英國曼徹斯特科學(xué)與技術(shù)大學(xué)(UMIST)率先開發(fā)的電容層析成像(ECT)技術(shù)是解決火電廠煤粉輸送風(fēng)-粉在線監(jiān)測等氣固兩相流成分和流量檢測的有效途徑,其中微小電容測量是關(guān)鍵技術(shù)之一。

  電容傳感器的電容變化量往往很小。結(jié)果電容傳感器電纜雜散電容的影響非常明顯。特別在電容層析成像系統(tǒng)中被測電容變化量可達(dá)0.01pF,屬于微弱電容測量,系統(tǒng)中總的雜散電容(一般大于100 pF)遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于系統(tǒng)的電容變化值,且雜散電容會(huì)隨溫度、結(jié)構(gòu)、位置、內(nèi)外電場分布及器件的選取等諸多因素的影響而變化,同時(shí)被測電容變化范圍大。因此微小電容測量電路必須滿足動(dòng)態(tài)范圍大、測量靈敏度高、低噪聲、抗雜散性等要求。

  1 充/放電電容測量電路

  充/放電電容測量電路基本原理如圖1所示。

電流源Io為4DH型精密恒流管,它與電容C通過電子開關(guān)K串聯(lián)構(gòu)成閉合回路,電容C的兩端連接到電壓比較器P的輸入端,測量過程如下:當(dāng)K1閉合時(shí),基準(zhǔn)電壓給電容充電至Uc=Us,然后K1斷開,K2閉合,電容在電流源的作用下放電,單片機(jī)的內(nèi)部計(jì)數(shù)器同時(shí)開始工作。當(dāng)電流源對電容放電至Uc=0時(shí),比較器翻轉(zhuǎn),計(jì)數(shù)器結(jié)束計(jì)數(shù),計(jì)數(shù)值與電容放電時(shí)間成正比,計(jì)數(shù)脈沖與放電時(shí)間關(guān)系如圖7所示。

  由CMOS開關(guān)S1,將未知電容Cx充電至Ve,再由第二個(gè)CMOS開關(guān)S2放電至電荷檢測器。在一個(gè)信號充/放電周期內(nèi)從Cx傳輸?shù)綑z波器的電荷量Q=Ve·Cx,在時(shí)鐘脈沖控制下,充/放電過程以頻率f=1/T重復(fù)進(jìn)行,因而平均電流Im=Ve·Cx·f,該電流被轉(zhuǎn)換成電壓并被平滑,最后給出一個(gè)直流輸出電壓 Vo=Rf·Im=Rf·Ve·Cx·f(Rf為檢波器的反饋電阻) 。

  充/放電電容測量電路典型的例子為差動(dòng)式直流充放電C/V轉(zhuǎn)換電路,如圖2所示。

電流源Io為4DH型精密恒流管,它與電容C通過電子開關(guān)K串聯(lián)構(gòu)成閉合回路,電容C的兩端連接到電壓比較器P的輸入端,測量過程如下:當(dāng)K1閉合時(shí),基準(zhǔn)電壓給電容充電至Uc=Us,然后K1斷開,K2閉合,電容在電流源的作用下放電,單片機(jī)的內(nèi)部計(jì)數(shù)器同時(shí)開始工作。當(dāng)電流源對電容放電至Uc=0時(shí),比較器翻轉(zhuǎn),計(jì)數(shù)器結(jié)束計(jì)數(shù),計(jì)數(shù)值與電容放電時(shí)間成正比,計(jì)數(shù)脈沖與放電時(shí)間關(guān)系如圖7所示。

  Cs1和Cs2分別為源極板和檢測極板與地間的等效雜散電容(通過分析可知,它們不影響電容Cx的測量)。S1-S4是CMOS開關(guān),S1和S3同步,S2和S3同步,它們的通斷受頻率f的時(shí)鐘信號控制,每個(gè)工作周期由充/放電組成。分析可得電路輸出為

  Vo=2KRfVeCxf (1)

  式中,K為差分放大器D3的放大倍數(shù)。

  該電路的主要優(yōu)點(diǎn)是能有效地抑制雜散電容,而且電路結(jié)構(gòu)簡單,成本很低,經(jīng)過軟件補(bǔ)償后電路穩(wěn)定性較高,獲取數(shù)據(jù)速度快。缺點(diǎn)是電路采用的是直流放大,存在較大的漂移;另外,充/放電是由CMOS開關(guān)控制,所以存在電荷注入問題。目前該電路已成功應(yīng)用于6、8、12電極的ECT系統(tǒng)中。其典型分辯率可達(dá)3*10-15F。

  2 AC電橋電容測量電路

  AC電橋電容測量電路如圖3所示,其原理是將被測電容在一個(gè)橋臂,可調(diào)的參考阻抗放在相鄰的一個(gè)橋臂,二橋臂分別接到頻率相同/幅值相同的信號源上,調(diào)節(jié)參考阻抗使橋路平衡,則被測橋臂中的阻抗與參與阻抗共軛相等。這種電路的主要優(yōu)點(diǎn)是:精度高,適合作精密電容測量,可以做到高信噪比。

電流源Io為4DH型精密恒流管,它與電容C通過電子開關(guān)K串聯(lián)構(gòu)成閉合回路,電容C的兩端連接到電壓比較器P的輸入端,測量過程如下:當(dāng)K1閉合時(shí),基準(zhǔn)電壓給電容充電至Uc=Us,然后K1斷開,K2閉合,電容在電流源的作用下放電,單片機(jī)的內(nèi)部計(jì)數(shù)器同時(shí)開始工作。當(dāng)電流源對電容放電至Uc=0時(shí),比較器翻轉(zhuǎn),計(jì)數(shù)器結(jié)束計(jì)數(shù),計(jì)數(shù)值與電容放電時(shí)間成正比,計(jì)數(shù)脈沖與放電時(shí)間關(guān)系如圖7所示。

  圖3電路的缺點(diǎn)是無自動(dòng)平衡措施,為此可采用圖4所示的自動(dòng)平衡AC電橋電容測量電路。

電流源Io為4DH型精密恒流管,它與電容C通過電子開關(guān)K串聯(lián)構(gòu)成閉合回路,電容C的兩端連接到電壓比較器P的輸入端,測量過程如下:當(dāng)K1閉合時(shí),基準(zhǔn)電壓給電容充電至Uc=Us,然后K1斷開,K2閉合,電容在電流源的作用下放電,單片機(jī)的內(nèi)部計(jì)數(shù)器同時(shí)開始工作。當(dāng)電流源對電容放電至Uc=0時(shí),比較器翻轉(zhuǎn),計(jì)數(shù)器結(jié)束計(jì)數(shù),計(jì)數(shù)值與電容放電時(shí)間成正比,計(jì)數(shù)脈沖與放電時(shí)間關(guān)系如圖7所示。

  該系統(tǒng)輸出Vd為一直流信號,ΔC為傳感器的電容變化量。

電流源Io為4DH型精密恒流管,它與電容C通過電子開關(guān)K串聯(lián)構(gòu)成閉合回路,電容C的兩端連接到電壓比較器P的輸入端,測量過程如下:當(dāng)K1閉合時(shí),基準(zhǔn)電壓給電容充電至Uc=Us,然后K1斷開,K2閉合,電容在電流源的作用下放電,單片機(jī)的內(nèi)部計(jì)數(shù)器同時(shí)開始工作。當(dāng)電流源對電容放電至Uc=0時(shí),比較器翻轉(zhuǎn),計(jì)數(shù)器結(jié)束計(jì)數(shù),計(jì)數(shù)值與電容放電時(shí)間成正比,計(jì)數(shù)脈沖與放電時(shí)間關(guān)系如圖7所示。

  式中,2/π為相敏因子。

  結(jié)合平衡條件,在理論上輸出Vd可寫成

電流源Io為4DH型精密恒流管,它與電容C通過電子開關(guān)K串聯(lián)構(gòu)成閉合回路,電容C的兩端連接到電壓比較器P的輸入端,測量過程如下:當(dāng)K1閉合時(shí),基準(zhǔn)電壓給電容充電至Uc=Us,然后K1斷開,K2閉合,電容在電流源的作用下放電,單片機(jī)的內(nèi)部計(jì)數(shù)器同時(shí)開始工作。當(dāng)電流源對電容放電至Uc=0時(shí),比較器翻轉(zhuǎn),計(jì)數(shù)器結(jié)束計(jì)數(shù),計(jì)數(shù)值與電容放電時(shí)間成正比,計(jì)數(shù)脈沖與放電時(shí)間關(guān)系如圖7所示。

  獲得該電橋的自動(dòng)平衡過程的步驟為:保證電橋未加載時(shí)ΔC=0,測量電橋非平衡值并利用公式(3)計(jì)算出電橋輸出為零時(shí)所需的反饋信號Ve的值。重新測量橋路的輸出,若輸出為零,則橋路平衡;若輸出不為零,重復(fù)上述測量步驟,直至橋路輸出為零,即橋路平衡為止。該電橋電容測量電路原理上沒有考慮消除雜散電容影響的問題,為此采取屏蔽電纜等復(fù)雜措施,而且其效果也不一定理想。通過實(shí)驗(yàn)測得其線性誤差能達(dá)到±1*10-13F。

  3 交流鎖相放大電容測量電路

  交流型的C/V轉(zhuǎn)換電路基本原理如圖5所示。

電流源Io為4DH型精密恒流管,它與電容C通過電子開關(guān)K串聯(lián)構(gòu)成閉合回路,電容C的兩端連接到電壓比較器P的輸入端,測量過程如下:當(dāng)K1閉合時(shí),基準(zhǔn)電壓給電容充電至Uc=Us,然后K1斷開,K2閉合,電容在電流源的作用下放電,單片機(jī)的內(nèi)部計(jì)數(shù)器同時(shí)開始工作。當(dāng)電流源對電容放電至Uc=0時(shí),比較器翻轉(zhuǎn),計(jì)數(shù)器結(jié)束計(jì)數(shù),計(jì)數(shù)值與電容放電時(shí)間成正比,計(jì)數(shù)脈沖與放電時(shí)間關(guān)系如圖7所示。

  正弦信號Ui(t)對被測電容進(jìn)行激勵(lì),激勵(lì)電流流經(jīng)由反饋電阻Rf、反饋電容Cf,和運(yùn)放組成的檢測器D轉(zhuǎn)換成交流電壓 Uo(t):

電流源Io為4DH型精密恒流管,它與電容C通過電子開關(guān)K串聯(lián)構(gòu)成閉合回路,電容C的兩端連接到電壓比較器P的輸入端,測量過程如下:當(dāng)K1閉合時(shí),基準(zhǔn)電壓給電容充電至Uc=Us,然后K1斷開,K2閉合,電容在電流源的作用下放電,單片機(jī)的內(nèi)部計(jì)數(shù)器同時(shí)開始工作。當(dāng)電流源對電容放電至Uc=0時(shí),比較器翻轉(zhuǎn),計(jì)數(shù)器結(jié)束計(jì)數(shù),計(jì)數(shù)值與電容放電時(shí)間成正比,計(jì)數(shù)脈沖與放電時(shí)間關(guān)系如圖7所示。

  若jωRfCf》》1,則(4)式為

電流源Io為4DH型精密恒流管,它與電容C通過電子開關(guān)K串聯(lián)構(gòu)成閉合回路,電容C的兩端連接到電壓比較器P的輸入端,測量過程如下:當(dāng)K1閉合時(shí),基準(zhǔn)電壓給電容充電至Uc=Us,然后K1斷開,K2閉合,電容在電流源的作用下放電,單片機(jī)的內(nèi)部計(jì)數(shù)器同時(shí)開始工作。當(dāng)電流源對電容放電至Uc=0時(shí),比較器翻轉(zhuǎn),計(jì)數(shù)器結(jié)束計(jì)數(shù),計(jì)數(shù)值與電容放電時(shí)間成正比,計(jì)數(shù)脈沖與放電時(shí)間關(guān)系如圖7所示。

  式(5)表明,輸出電壓值正比于被測電容值。為了能直接反映被測電容的變化量,目前常用的是帶負(fù)反饋回路的C/V轉(zhuǎn)換電路。這種電路的特點(diǎn)是抗雜散性、分辨率可高達(dá)0.4*10-15F。

  由于采用交流放大器,所以低漂移、高信噪比,但電路較復(fù)雜,成本高,頻率受限。

  4 基于V/T變換的電容測量電路

  測量電路基本原理如圖6所示。

電流源Io為4DH型精密恒流管,它與電容C通過電子開關(guān)K串聯(lián)構(gòu)成閉合回路,電容C的兩端連接到電壓比較器P的輸入端,測量過程如下:當(dāng)K1閉合時(shí),基準(zhǔn)電壓給電容充電至Uc=Us,然后K1斷開,K2閉合,電容在電流源的作用下放電,單片機(jī)的內(nèi)部計(jì)數(shù)器同時(shí)開始工作。當(dāng)電流源對電容放電至Uc=0時(shí),比較器翻轉(zhuǎn),計(jì)數(shù)器結(jié)束計(jì)數(shù),計(jì)數(shù)值與電容放電時(shí)間成正比,計(jì)數(shù)脈沖與放電時(shí)間關(guān)系如圖7所示。

  電流源Io為4DH型精密恒流管,它與電容C通過電子開關(guān)K串聯(lián)構(gòu)成閉合回路,電容C的兩端連接到電壓比較器P的輸入端,測量過程如下:當(dāng)K1閉合時(shí),基準(zhǔn)電壓給電容充電至Uc=Us,然后K1斷開,K2閉合,電容在電流源的作用下放電,單片機(jī)的內(nèi)部計(jì)數(shù)器同時(shí)開始工作。當(dāng)電流源對電容放電至Uc=0時(shí),比較器翻轉(zhuǎn),計(jì)數(shù)器結(jié)束計(jì)數(shù),計(jì)數(shù)值與電容放電時(shí)間成正比,計(jì)數(shù)脈沖與放電時(shí)間關(guān)系如圖7所示。

電流源Io為4DH型精密恒流管,它與電容C通過電子開關(guān)K串聯(lián)構(gòu)成閉合回路,電容C的兩端連接到電壓比較器P的輸入端,測量過程如下:當(dāng)K1閉合時(shí),基準(zhǔn)電壓給電容充電至Uc=Us,然后K1斷開,K2閉合,電容在電流源的作用下放電,單片機(jī)的內(nèi)部計(jì)數(shù)器同時(shí)開始工作。當(dāng)電流源對電容放電至Uc=0時(shí),比較器翻轉(zhuǎn),計(jì)數(shù)器結(jié)束計(jì)數(shù),計(jì)數(shù)值與電容放電時(shí)間成正比,計(jì)數(shù)脈沖與放電時(shí)間關(guān)系如圖7所示。

  電容電壓Uc與放電電流Io的關(guān)系為:

電流源Io為4DH型精密恒流管,它與電容C通過電子開關(guān)K串聯(lián)構(gòu)成閉合回路,電容C的兩端連接到電壓比較器P的輸入端,測量過程如下:當(dāng)K1閉合時(shí),基準(zhǔn)電壓給電容充電至Uc=Us,然后K1斷開,K2閉合,電容在電流源的作用下放電,單片機(jī)的內(nèi)部計(jì)數(shù)器同時(shí)開始工作。當(dāng)電流源對電容放電至Uc=0時(shí),比較器翻轉(zhuǎn),計(jì)數(shù)器結(jié)束計(jì)數(shù),計(jì)數(shù)值與電容放電時(shí)間成正比,計(jì)數(shù)脈沖與放電時(shí)間關(guān)系如圖7所示。

  令Uc=0,則有:

電流源Io為4DH型精密恒流管,它與電容C通過電子開關(guān)K串聯(lián)構(gòu)成閉合回路,電容C的兩端連接到電壓比較器P的輸入端,測量過程如下:當(dāng)K1閉合時(shí),基準(zhǔn)電壓給電容充電至Uc=Us,然后K1斷開,K2閉合,電容在電流源的作用下放電,單片機(jī)的內(nèi)部計(jì)數(shù)器同時(shí)開始工作。當(dāng)電流源對電容放電至Uc=0時(shí),比較器翻轉(zhuǎn),計(jì)數(shù)器結(jié)束計(jì)數(shù),計(jì)數(shù)值與電容放電時(shí)間成正比,計(jì)數(shù)脈沖與放電時(shí)間關(guān)系如圖7所示。

  式中,N為計(jì)數(shù)器的讀數(shù);Tc為計(jì)數(shù)脈沖的周期;它是一個(gè)常數(shù);在Us和Io為定值時(shí),C與N成正比。

  基于V/T變換的電容測量電路,對被測電容只進(jìn)行一次充放電即可完成對被測電容的測量。采用了電子技術(shù)中準(zhǔn)確度較高的時(shí)間測量原理,克服了傳統(tǒng)測量微弱信號電路中放大器的穩(wěn)定性不好、零點(diǎn)漂移大等缺點(diǎn),且電路結(jié)構(gòu)簡單、測量精度和分辨率高。

  5 基于混沌理論的恒流式混沌測量電路

  恒流式混沌電路如圖8所示。

電流源Io為4DH型精密恒流管,它與電容C通過電子開關(guān)K串聯(lián)構(gòu)成閉合回路,電容C的兩端連接到電壓比較器P的輸入端,測量過程如下:當(dāng)K1閉合時(shí),基準(zhǔn)電壓給電容充電至Uc=Us,然后K1斷開,K2閉合,電容在電流源的作用下放電,單片機(jī)的內(nèi)部計(jì)數(shù)器同時(shí)開始工作。當(dāng)電流源對電容放電至Uc=0時(shí),比較器翻轉(zhuǎn),計(jì)數(shù)器結(jié)束計(jì)數(shù),計(jì)數(shù)值與電容放電時(shí)間成正比,計(jì)數(shù)脈沖與放電時(shí)間關(guān)系如圖7所示。

  其工作原理如下:當(dāng)K1、K2斷開時(shí),K3閉合。電容C充電使Uc=Ux,然后K3斷開,待周期為t的脈沖序列δ中的一個(gè)脈沖到達(dá)G(邏輯電路)時(shí),G的輸人信號使K2閉合,K1保持?jǐn)嚅_(此時(shí)相當(dāng)于圖9中的X1點(diǎn)),電容開始以-0.5Io的恒定電流放電。當(dāng)Uc=0時(shí),相當(dāng)于電路中的A點(diǎn),比較器翻轉(zhuǎn),輸出電壓Up由高電平變?yōu)榈纂娖?,Up的變化促使G變化,使G控制K1閉合、K2斷開,此時(shí)電容C由恒定電流Io充電,使Uc按A-X2方向上升。當(dāng)又一個(gè)脈沖到來時(shí)(相當(dāng)于圖8中X2點(diǎn)),G又開始變化,使K1斷開、K2閉合,又一個(gè)放電充電過程開始。這樣周而復(fù)始的放電充電使Uc的變化如圖9所示,只要適當(dāng)調(diào)整,Io和t就可以使電路處于混沌狀態(tài)。

電流源Io為4DH型精密恒流管,它與電容C通過電子開關(guān)K串聯(lián)構(gòu)成閉合回路,電容C的兩端連接到電壓比較器P的輸入端,測量過程如下:當(dāng)K1閉合時(shí),基準(zhǔn)電壓給電容充電至Uc=Us,然后K1斷開,K2閉合,電容在電流源的作用下放電,單片機(jī)的內(nèi)部計(jì)數(shù)器同時(shí)開始工作。當(dāng)電流源對電容放電至Uc=0時(shí),比較器翻轉(zhuǎn),計(jì)數(shù)器結(jié)束計(jì)數(shù),計(jì)數(shù)值與電容放電時(shí)間成正比,計(jì)數(shù)脈沖與放電時(shí)間關(guān)系如圖7所示。

  這種方法突出的優(yōu)點(diǎn)是測量的分辨率高,測量的絕對誤差不隨被測電容值的變化而改變,對作為傳感器的元件只要求穩(wěn)定即可。當(dāng)被測電容很大時(shí),相對誤差還會(huì)減小。此方法除了可以直接測量電容外,也可以作為電容式傳感器測量其它電量和非電量。

  6 基于電荷放大原理的電容測量電路

  基于電荷放大原理的電容測量電路如圖10所示,該電路是通過測量極板上的激勵(lì)信號所感應(yīng)出的電荷量而得到所測電容值的。圖中Cx為被測電容,它的左側(cè)極板為激勵(lì)電極,右側(cè)極板為測量電極。Cas和Cbs表示每個(gè)電極所有雜散電容的等效電容,Cas由激勵(lì)信號源驅(qū)動(dòng),它的存在對流過被測電容的電流無影響。電容Cbs在

  測量過程中始終處于虛地狀態(tài),兩端無電壓差,因而它也對電容測量無影響,因此整個(gè)電路對雜散電容的存在不敏感。

電流源Io為4DH型精密恒流管,它與電容C通過電子開關(guān)K串聯(lián)構(gòu)成閉合回路,電容C的兩端連接到電壓比較器P的輸入端,測量過程如下:當(dāng)K1閉合時(shí),基準(zhǔn)電壓給電容充電至Uc=Us,然后K1斷開,K2閉合,電容在電流源的作用下放電,單片機(jī)的內(nèi)部計(jì)數(shù)器同時(shí)開始工作。當(dāng)電流源對電容放電至Uc=0時(shí),比較器翻轉(zhuǎn),計(jì)數(shù)器結(jié)束計(jì)數(shù),計(jì)數(shù)值與電容放電時(shí)間成正比,計(jì)數(shù)脈沖與放電時(shí)間關(guān)系如圖7所示。

  基于電荷放大原理的電容測量電路,一方面該電路對被測電容只進(jìn)行一次充放電,就可完成對電容的測量,由于測量結(jié)果是直流穩(wěn)定信號,不存在脈動(dòng)成分,故電路中無需濾波器。因此大大提高了基于該電路的數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)的數(shù)據(jù)采集速度。同時(shí)該電路具有很強(qiáng)的抗雜散電容的性能。另一方面該電路可以對各開關(guān)的控制時(shí)序進(jìn)行合理的設(shè)計(jì),用以較好地解決了電子開關(guān)的電荷注入效應(yīng)對測量精度的影響問題,使電路達(dá)到了較高的分辨率?,F(xiàn)在此電路成功應(yīng)用于12電極ECT系統(tǒng)中,在不實(shí)時(shí)成像的情況下,數(shù)據(jù)采集速度可達(dá)600幅/s,對雜散電容具有較強(qiáng)的抑制能力,系統(tǒng)靈敏度4.8 V/pF,可達(dá)最高分辨率為5*10-15F。

  7 結(jié)論

  電容傳感器性能很大程度上取決于其測量電路的性能,目前的微小電容測量技術(shù)正處于不斷的完善中,還不能滿足實(shí)際應(yīng)用發(fā)展的需要。從工業(yè)角度而言,一個(gè)完善的微小電容測量電路應(yīng)該具備低成本、低漂移、響應(yīng)速度快、抗雜散性好、高分辨率、高信噪比和適用范圍廣等優(yōu)點(diǎn)。在上述討論的測量電路各有優(yōu)缺點(diǎn),相比較而言,交流鎖相放大測量電路是目前實(shí)驗(yàn)室應(yīng)用最好的檢測電路,在現(xiàn)有研究成果基礎(chǔ)上進(jìn)一步改善其電路復(fù)雜、頻率受限的缺點(diǎn),將在工業(yè)實(shí)際測量中具有廣泛的應(yīng)用前景。把微小電容測量技術(shù)研究工作推上一個(gè)新臺(tái)階。

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