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第三代半導(dǎo)體SIC產(chǎn)業(yè)鏈研究（下）
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资料- 第三代半導(dǎo)體SIC產(chǎn)業(yè)鏈研究
SiC 襯底是由 SiC 單晶材料制造 而成的晶圓片。襯底可以直接進(jìn)入 晶圓制造環(huán)節(jié)生產(chǎn)半導(dǎo)體器件，也 可以經(jīng)過外延加工，即在襯底上生 長一層新的單晶，形成外延片。
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