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微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
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運動五感:利用MEMS慣性感測技術(shù)實現(xiàn)應(yīng)用變革
盡管MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))技術(shù)在氣囊和汽車壓力傳感器中的應(yīng)用已有大約20年,但促使大眾認(rèn)識到慣性傳感器作用的是Nintendo? Wii?和Apple?...
光纖陀螺儀(FOG)以前曾經(jīng)是環(huán)形激光陀螺儀(RLG)等其他技術(shù)的低成本替代品,現(xiàn)在該技術(shù)面臨著新的競爭。微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)陀螺儀開始搶奪傳統(tǒng)FOG...
替代MEMS?未來20年,最具顛覆性的4大傳感器技術(shù),中國已提前布局!
在過去的20年,傳感器廠商不斷研究創(chuàng)新的測量原理和敏感材料,這些成果能讓我們用到高集成、低成本的傳感器,其中,最成功也是最具顛覆性的,無疑是MEMS技術(shù)...
物聯(lián)網(wǎng)芯片/微機(jī)電系統(tǒng)芯片測試方法
物聯(lián)網(wǎng) (IoT) 芯片主要包括傳感器芯片、嵌人式處理芯片、無線傳輸鏈接芯片等。IoT 芯片的性能/功能測試評價至關(guān)重要,已成為物聯(lián)網(wǎng)發(fā)展不可或缺的一環(huán)...
2023-06-08 標(biāo)簽:芯片mems物聯(lián)網(wǎng) 1331 0
作為電子及電器產(chǎn)品質(zhì)量衡量指標(biāo)之一的電磁兼容性(EMC)測試,它的測試正確與否直接關(guān)系到產(chǎn)品自身使用的可靠性及安全性,并且它還有可能對于同系統(tǒng)中的其他部...
根據(jù)被測量的介質(zhì)和組件的設(shè)計,這種類型的傳感器可能會成為由介質(zhì)本身引起的故障的受害者。 一個常見的問題是浮子吸收了它浸沒在其中的介質(zhì),這將導(dǎo)致人為的低液...
每個 MEMS 壓力傳感器的核心都是 MEMS 硅芯片。 Merit Sensor 擁有并經(jīng)營一家晶圓廠,在那里生產(chǎn)所有自己的產(chǎn)品 微機(jī)電芯片. 封裝 ...
關(guān)于 MEMS 芯片,首先要了解的是,當(dāng)它們暴露在壓力或溫度下時,它們會產(chǎn)生相應(yīng)的輸出(以毫伏為單位),前提是已提供輸入電壓或激勵電壓。 MEMS 芯片...
許多壓力傳感器應(yīng)用都需要具有集成信號調(diào)理功能的緊湊型 MEMS 器件; 然而,挑戰(zhàn)在于找到一種能夠支持應(yīng)用的體積和成本要求(包括壓力范圍方面的靈活性)的...
最近,經(jīng)過一段時間不懈努力,實現(xiàn)了對 QMI8658 姿態(tài)傳感器的零偏(即常值誤差)進(jìn)行標(biāo)定。過去我曾整理過姿態(tài)傳感器誤差參數(shù)相關(guān)的文章,包括《MEMS...
精準(zhǔn)醫(yī)療的MEMS——微流控技術(shù)
微流控芯片(MicrofluidicChip) ,又稱為芯片實驗室(Lab-on-a-Chip)或生物 芯片。是利用MEMS技術(shù)將一個大型實驗室系統(tǒng)縮微...
2023-06-05 標(biāo)簽:mems微流控精準(zhǔn)醫(yī)療 3155 0
根據(jù)真空計測量原理所采用的不同物理機(jī)制,真空計主要可分為三類:利用力學(xué)性能(如波爾登真空計和薄膜電容規(guī))、利用氣體動力學(xué)效應(yīng)(如皮拉尼電阻規(guī)和熱電偶規(guī))...
Zepsor設(shè)計并開發(fā)了一種無源MEMS傳感器,能夠檢測人體產(chǎn)生的熱能,然后在不需要任何供能的情況下激活自身及其他電子設(shè)備。實現(xiàn)了零功耗下的“永久在線(...
研究表明:雅培CardioMEMS傳感器將心力衰竭住院率降低44%
心力衰竭是一項全球性健康挑戰(zhàn),影響著全世界超過6400萬人,并且由于頻繁的再次入院而對醫(yī)療保健系統(tǒng)提出了巨大的要求。而雅培CardioMEMS傳感器等遠(yuǎn)...
2023-05-31 標(biāo)簽:傳感器mems遠(yuǎn)程監(jiān)測 908 0
液位檢測是許多家用電器功能的重要組成部分,例如洗衣機(jī)、洗碗機(jī)都需要通過控制液位來實現(xiàn)多水位的洗滌方式,以達(dá)到節(jié)水目的;熱水器需要在液位過低時自動補水,防...
摩托羅拉SPI(串行外設(shè)接口)及其變體因其低引腳數(shù)和緊湊的設(shè)計特性而成為系統(tǒng)設(shè)計人員的熱門選擇。隨著安全要求的不斷提高,現(xiàn)在比以往任何時候都更需要一個行...
所謂,RF MEMS 開關(guān),是一種是小型的微機(jī)械開關(guān),功耗低,可以使用傳統(tǒng)的 MEMS 制造技術(shù)生產(chǎn)。它們類似于房間中的電燈開關(guān),其中觸點打開或關(guān)閉以通...
RF MEMS開關(guān)是一種小型微機(jī)械開關(guān),具有低功耗,可以使用傳統(tǒng)的MEMS制造技術(shù)生產(chǎn)。它們類似于房間里的開關(guān),通過打開或關(guān)閉接觸點來傳導(dǎo)信號。 ...
2023-05-23 標(biāo)簽:memsRF機(jī)械開關(guān) 1794 0
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