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微機電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等,是在微電子技術(半導體制造技術)基礎上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術制作的高科技電子機械器件。
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在空間飛行器的慣性測量系統(tǒng),機器人的機械臂延展確定,車船體傾斜測量,巖體傾向判斷和工程鉆孔軌跡檢測等許多方面都需要測量物體的傾斜和方向等參數(shù)。
市場容量持續(xù)擴張 從加速度傳感器實現(xiàn)的功能來看,無論是國際知名品牌的手機,還是普通的手機,其主要功能是通過傾斜、晃動等動作來實現(xiàn)用戶界面控制、游戲控制...
隨著移動互聯(lián)網和物聯(lián)網的快速發(fā)展,MEMS微機電系統(tǒng)產業(yè)迎來了重大發(fā)展機遇。在致力于防患未然的汽車主動安全領域,ESC(車身穩(wěn)定系統(tǒng))、ABS(防抱...
ADI:將異構制造的話題作為產業(yè)未來發(fā)展趨勢的一個重要觀察角度
ADI公司總裁兼首席執(zhí)行官Vincent Roche在對2018年的技術趨勢展望一文《這些創(chuàng)新將影響我們2018年的生活》中,首次發(fā)出將異構制造的話題作...
基于GTI的1x3波長復用/解復用器的系統(tǒng)級性能分析
波分復用器和解復用器幾乎是所有WDM系統(tǒng)和網絡的主要組成部分。從傳統(tǒng)意義上講,多路復用/解復用器(de/mux)都屬于靜態(tài)器件,隨著溫度的變化波長范圍會...
ADI新產品為添新功能,應用MEMS陀螺儀和加速度計工作原理
在ADI公司的一間會議室中,Howard Wisniowski用一只手拿起比紀念郵票稍大一點的演示板,并停留在離桌面一米左右的空中。這塊演示板上安裝有A...
MEMS即微機電系統(tǒng),是利用微米級立體結構實現(xiàn)感應和執(zhí)行功能的一項關鍵技術。其中,微米級立體結構是利用被稱為“微加工”的特殊工藝實現(xiàn)的微米大小的立體機械...
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