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微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
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技術(shù)趨勢(shì):汽車電氣化將改變壓力傳感器市場(chǎng)
MEMS壓力傳感器技術(shù)現(xiàn)在已經(jīng)很成熟,基本可以分為壓阻式和電容式兩類。這兩種技術(shù)沒有很大的區(qū)別。目前,壓阻式技術(shù)無疑是引領(lǐng)市場(chǎng)的主流,并將繼續(xù)占據(jù)主要的...
基于MEMS投影顯示技術(shù)的幾個(gè)創(chuàng)新型應(yīng)用示例
想象一下,夾在汽車遮陽板上的選裝抬頭顯示器 (HUD) 將駕駛指令投射到你的風(fēng)擋玻璃上。再想象一臺(tái)具有內(nèi)置微型投影儀的平板電腦,不論何時(shí)何地,都使你能在...
2018-05-15 標(biāo)簽:mems 5359 0
低功耗應(yīng)用的MEMS加速儀傳感器功能,如何將之利用在系統(tǒng)設(shè)計(jì)上
低功耗可利用MEMS加速計(jì)(Accelerometer)傳感器來增加電池壽命。傳感器變得越來越省電,所嵌入的各種功能也有助于減少整體系統(tǒng)能耗。舉例來說,...
2018-05-21 標(biāo)簽:mems意法半導(dǎo)體低功耗 811 0
意法半導(dǎo)體在穿戴式設(shè)備領(lǐng)域的傳感器布局
可穿戴裝置的關(guān)鍵技術(shù)有四:傳感技術(shù)、計(jì)算技術(shù)、電源技術(shù)和通信技術(shù)。意法半導(dǎo)體公司(STMicroelectronics,ST)在傳感器、嵌入式處理、連接...
2018-05-17 標(biāo)簽:傳感器mems意法半導(dǎo)體 1489 0
MEMS傳感器在消費(fèi)電子領(lǐng)域的應(yīng)用
因?yàn)榧夹g(shù)和經(jīng)濟(jì)的原因,MEMS傳感器曾經(jīng)被局限在汽車市場(chǎng)和工業(yè)應(yīng)用領(lǐng)域;今天,隨著MEMS傳感器越來越小,價(jià)格越來越低,能效越來越高,設(shè)計(jì)和應(yīng)用空間不斷...
MEMS光開關(guān)簡(jiǎn)介 MEMS光開關(guān)控制的基本工作原理
MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems,微機(jī)電系統(tǒng))是指將微型機(jī)械、微型執(zhí)行器、信號(hào)處理和控制電路等集于一體的可批量...
2018-05-19 標(biāo)簽:mems光開關(guān)開關(guān)控制 8065 1
剖析MEMS的幾種RF相關(guān)應(yīng)用產(chǎn)品SAW,BAW, FBAR filter
Piezoelectricity這詞來源于希臘語 piezein,表示施加壓力,1880年由兩位法國(guó)物理學(xué)家(Pierre,Paul-Jacques C...
2018-05-10 標(biāo)簽:濾波器MEMS通信系統(tǒng) 1.5萬 2
通過研究可調(diào)諧光濾波器來探討FEA的準(zhǔn)備工作
MEMS器件在包含運(yùn)動(dòng)、振動(dòng)、溫度波動(dòng)等壓力因素的真實(shí)世界中是如何表現(xiàn)的?確保MEMS器件在實(shí)際環(huán)境中的工作性能符合預(yù)期的一個(gè)重要手段是執(zhí)行有限元分析(...
如何利用Tanner MEMS參數(shù)化基本單元庫,迅速創(chuàng)建復(fù)雜的表面微加工或流體MEMS器件
即便您要重新設(shè)計(jì)傳動(dòng)電機(jī)的MEMS傳感器,目標(biāo)也是讓工作盡可能輕松快捷地完成。利用Tanner L-Edit中的MEMS庫,您可以從大量MEMS器件不同...
單晶硅是最先嘗試使用的芯片基材。硅及二氧化硅具有良好的化學(xué)惰性和熱穩(wěn)定性,而且硅的微細(xì)加工技術(shù)已趨成熟。即使復(fù)雜的三維結(jié)構(gòu),也可用整體和表面微加工技術(shù)進(jìn)...
微流控技術(shù)是下一代醫(yī)療診斷顛覆性技術(shù),聚合物的微加工方法
然而對(duì)于微尺度結(jié)構(gòu)的加工,尤其是高深寬比結(jié)構(gòu)的填充,注塑成型通常做的不如熱壓成型填充率高,對(duì)于微結(jié)構(gòu)的填充最有效的辦法是使用變模溫注塑技術(shù),即在一個(gè)循環(huán)...
沒有生命的物體也能擁有記憶呢?MEMS器件中的新應(yīng)用
實(shí)際上,早在1951年,Chang和Read就在金鎳合金中觀察到了形變?cè)偌訜崮茏兓卦蔚倪@一奇特的現(xiàn)象。Buehler在上世紀(jì)60年代發(fā)現(xiàn)了NiTi合金...
通過不同加速度傳感器的原理、制作工藝及應(yīng)用展開全面了解
MEMS壓阻式加速度傳感器的敏感元件由彈性梁、質(zhì)量塊、固定框組成。壓阻式加速度傳感器實(shí)質(zhì)上是一個(gè)力傳感器,他是利用用測(cè)量固定質(zhì)量塊在受到加速度作用時(shí)產(chǎn)生...
NIR光譜分析在農(nóng)業(yè)和食品行業(yè)應(yīng)用領(lǐng)域內(nèi)的效用
光譜分析是一種測(cè)量技術(shù);它通過測(cè)量材料與不同波長(zhǎng)光的相互作用情況來檢查材料的屬性。有幾種不同的交互作用可被測(cè)量,包括材料對(duì)光的吸收、反射和透射。
狀態(tài)監(jiān)控中的MEMS加速度計(jì)的介紹和應(yīng)用范圍
如今的MEMS設(shè)備可包括大量集成、單電壓信號(hào)調(diào)理電子器件,提供具有極低功耗的模擬和數(shù)字接口來幫助實(shí)現(xiàn)電池供電的無線產(chǎn)品。
2018-04-30 標(biāo)簽:MEMS加速度計(jì)狀態(tài)監(jiān)控 4422 0
MEMS封裝技術(shù)進(jìn)行探討研究與MEMS器件封裝優(yōu)勢(shì)
微機(jī)電系統(tǒng)是按照功能在芯片上的集成,尺寸一般是在毫米以下,制作工藝更加精密,需要更高的技術(shù),微機(jī)電系統(tǒng)早在國(guó)外就有應(yīng)用,我國(guó)起步晚,在MEMS方面的投入...
關(guān)于MEMS傳感器的廣泛應(yīng)用領(lǐng)域
物聯(lián)網(wǎng)的發(fā)展,傳感器產(chǎn)品需求大幅增加,重心也逐漸轉(zhuǎn)向技術(shù)含量較高的MEMS傳感器領(lǐng)域。
如何將低功耗應(yīng)用利用在系統(tǒng)設(shè)計(jì)上
低功耗可利用MEMS加速計(jì)(Accelerometer)傳感器來增加電池壽命。傳感器變得越來越省電,所嵌入的各種功能也有助于減少整體系統(tǒng)能耗。舉例來說,...
Mentor Graphics的Tanner EDA軟件,針對(duì)定制IC、AMS和MEMS設(shè)計(jì)
Mentor Graphics的Tanner EDA軟件是一套針對(duì)定制集成電路(IC)、模擬/混合信號(hào)(AMS)和MEMS設(shè)計(jì)的產(chǎn)品。對(duì)物聯(lián)網(wǎng)(IoT)...
利用Tanner EDA工具進(jìn)行MEMS設(shè)計(jì)和仿真學(xué)習(xí)
高速的光網(wǎng)絡(luò)使世界各地的人們得以即時(shí)交流和分享想法。微小的MEMS光開關(guān)在這些數(shù)量龐大的光纖系統(tǒng)中發(fā)揮著重要作用。此類開關(guān)涉及機(jī)械、光學(xué)和電氣三個(gè)領(lǐng)域,...
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