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微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
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目前,氣體傳感器的應(yīng)用日趨廣泛,在物聯(lián)網(wǎng)等泛在應(yīng)用的推動(dòng)下,其技術(shù)發(fā)展方向開(kāi)始向小型化、集成化、模塊化、智能
論SMI SM95D/G在充油芯體領(lǐng)域應(yīng)用
SM95系列是一款硅型微壓電阻式壓力傳感芯片,其滿量程為0.15 到1.5PSI(1到 10 kPa),特別適用于OEM和高容量應(yīng)用,以DIE形式提供,...
國(guó)內(nèi)和國(guó)際MEMS晶圓級(jí)測(cè)試技術(shù)對(duì)比分析
晶圓級(jí)測(cè)試技術(shù)應(yīng)用于MEMS產(chǎn)品開(kāi)發(fā)全周期的3個(gè)階段:(1)產(chǎn)品研發(fā)(R&D)階段:用以驗(yàn)證器件工作和生產(chǎn)的可行性,獲得早期器件特征。(2)產(chǎn)品試量產(chǎn)階...
如何設(shè)計(jì)壓電MEMS超聲波換能器產(chǎn)品
本文介紹了壓電MEMS超聲波換能器產(chǎn)品的設(shè)計(jì)過(guò)程,包括傳感器的仿真、設(shè)計(jì)以及它與整個(gè)系統(tǒng)的集成。
固體電解質(zhì)氣敏傳感器有電流型和電壓型兩種,電流型的靈敏度高,測(cè)量范圍大,溫漂小。但它的輸出電流和敏感性能與電極尺寸關(guān)系密切。傳統(tǒng)的燒結(jié)體型器件難于控制電...
MEMS氣體傳感器有哪些類型優(yōu)勢(shì)又是什么
具有代表性的基于金屬氧化物半導(dǎo)體敏感材料(MOS)氣體傳感器已廣泛應(yīng)用于安全、環(huán)境、樓宇控制等領(lǐng)域的氣體檢測(cè),該類傳感器的能耗是制約其大規(guī)模布設(shè)的核心節(jié)...
村田通過(guò)MEMS技術(shù)使該產(chǎn)品達(dá)到了小型化,并實(shí)現(xiàn)了與晶體諧振器相同的初始頻率精度(±20ppm)以上的頻率溫度特性(160ppm以下)(工作環(huán)境:-30...
基于聲機(jī)電類比原理的壓電麥克風(fēng)等效電路模型
目前應(yīng)用最廣泛的麥克風(fēng)類型是微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)電容式麥克風(fēng),其主要結(jié)構(gòu)為電容器結(jié)構(gòu),由背極板、振膜以及背極板和振膜之間的空氣域組成。
“要保證動(dòng)車組高速平穩(wěn)行駛,首先要由加速度傳感器對(duì)來(lái)自X(軸)、Y(徑)和Z(垂)向的應(yīng)力進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè),并將電信號(hào)傳輸給列車指揮系統(tǒng)?!北本┙煌ù髮W(xué)教授...
MEMS氣壓傳感器的工作原理及在物聯(lián)網(wǎng)中的應(yīng)用
壓力傳感器有多種不同的應(yīng)用,其中最常見(jiàn)的應(yīng)用是氣象監(jiān)測(cè)。壓力傳感器現(xiàn)在已非常普遍。它現(xiàn)在可能就存在你的口袋里!是的,在你的手機(jī)里就有一個(gè)。你的手機(jī)使用壓...
2018-11-28 標(biāo)簽:mems物聯(lián)網(wǎng)氣壓傳感器 6360 0
淺析MEMS麥克風(fēng)的結(jié)構(gòu)與工作模式
隨著智能設(shè)備的迅猛發(fā)展,市場(chǎng)需要更高性能的麥克風(fēng),而MEMS可以在緊湊的尺寸內(nèi)麥克風(fēng)提供高性能和保真度及可靠性,適用于便攜式設(shè)備。本文介紹了MEMS麥克...
剖析MEMS氣壓傳感器在物聯(lián)網(wǎng)中的應(yīng)用
據(jù)麥姆斯咨詢報(bào)道,氣壓傳感器是一類非常有用的MEMS器件。它們?cè)谖锫?lián)網(wǎng)(IoT)中有非常廣泛的應(yīng)用,從氣象監(jiān)測(cè)到室內(nèi)資產(chǎn)跟蹤。
2018-11-26 標(biāo)簽:傳感器MEMS物聯(lián)網(wǎng) 4189 0
艾邁斯半導(dǎo)體推出了一款用于檢測(cè)廚房環(huán)境中的氣體傳感器模塊
據(jù)麥姆斯咨詢報(bào)道,全球領(lǐng)先的高性能傳感器解決方案供應(yīng)商艾邁斯半導(dǎo)體(ams)宣布推出新版iAQ-Core模塊,這是一款用于檢測(cè)廚房環(huán)境中的蒸汽、氣味和煙...
2019-06-28 標(biāo)簽:mems氣體傳感器艾邁斯半導(dǎo)體 913 0
意法半導(dǎo)體推出IIS2DLPC 3軸MEMS加速度計(jì)
意法半導(dǎo)體推出IIS2DLPC 3軸MEMS加速度計(jì),可以在超低功耗和高分辨率之間動(dòng)態(tài)改變工作模式,在有限的功耗預(yù)算內(nèi)實(shí)現(xiàn)高精度測(cè)量。
2018-11-23 標(biāo)簽:傳感器MEMS意法半導(dǎo)體 4619 0
淺析近年值得關(guān)注的新興MEMS和傳感器技術(shù)
今天的大部分重磅MEMS產(chǎn)品,都是作為學(xué)術(shù)研究成果而誕生的。
MEMS麥克風(fēng)讀出電路設(shè)計(jì)方案
本文提供的MEMS麥克風(fēng)讀出電路設(shè)計(jì)方案具有噪聲小、可以處理的小信號(hào)幅度范圍廣、功耗低等特點(diǎn),可延長(zhǎng)電池供電的便攜式設(shè)備的待機(jī)時(shí)間。
MEMS麥克風(fēng)的結(jié)構(gòu)和工作模式概述
人們使用電腦和智能設(shè)備的方式的變化,推動(dòng)對(duì)可靠和高性能MEMS麥克風(fēng)的需求。
MEMS傳感器技術(shù)優(yōu)化制造業(yè)預(yù)測(cè)維護(hù)手段
在工業(yè)制造運(yùn)營(yíng)中,被動(dòng)的設(shè)備維修是造成生產(chǎn)能力喪失的一個(gè)主要因素,這種維修本來(lái)是可以避免的。
鈦MEMS技術(shù)在藥物輸送和微流控系統(tǒng)的應(yīng)用前景
近年來(lái),受益于MEMS技術(shù),傳感器和執(zhí)行器小型化的同時(shí),性能、功能和靈敏度也得到增強(qiáng);加上低成本、個(gè)性化醫(yī)療應(yīng)用潛力,MEMS器件在醫(yī)療和生物領(lǐng)域的應(yīng)用...
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