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微機電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術(shù)制作的高科技電子機械器件。
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最新傳感器技術(shù):MEMS陀螺儀在任何情況下都能精確的慣性傳感
為了滿足這一需求,ADI公司開發(fā)了一種帶有集成信號調(diào)理功能的新型高溫MEMS陀螺儀, ADXRS645。該傳感器即使在存在沖擊和振動的情況下也能實現(xiàn)精確...
2019-04-10 標(biāo)簽:mems 4430 0
對MEMS工藝技術(shù)的投資加上設(shè)計創(chuàng)新,已大大改善MEMS性能,使得MEMS足以成為更廣泛狀態(tài)監(jiān)控應(yīng)用的可行選擇
2019-04-10 標(biāo)簽:mems 2600 0
北京康斯特儀表科技股份有限公司(以下簡稱“公司”、“本公司”或“康斯特”)于2017年8月15日召開的第四屆董事會第二次會議審議通過了《關(guān)于投資建設(shè)儀器...
顧杰斌團隊研發(fā)的MEMS-Casting?技術(shù)實現(xiàn)了MEMS和鑄造的完美結(jié)合
MEMS技術(shù)與鑄造的結(jié)合,緣自它們之間的一個共通點:兩者都是機械部件制造技術(shù),區(qū)別在于尺度上存在幾個數(shù)量級差異。相對于其他機械加工方法,例如車,銑,拋等...
淺析pMEMS振蕩器用于工業(yè)頻率控制的設(shè)計
從消費類多媒體產(chǎn)品到工業(yè)自動化和監(jiān)視系統(tǒng)、網(wǎng)絡(luò)和通信基礎(chǔ)設(shè)施以及堅固的軍用設(shè)備,所有數(shù)字電子產(chǎn)品都有一個滴答作響的“心臟”,即一個準(zhǔn)確的振蕩器。歷史上,...
近日,意法半導(dǎo)體(ST)在上海召開媒體溝通會,ST模擬、MEMS及傳感器事業(yè)部副總裁兼MEMS傳感器產(chǎn)品部總經(jīng)理Andera ONETTI表示,對于整個...
美國模擬器件公司ADI推出了一款多軸運動傳感器ADIS16355
ADIS16355可以很容易地與工業(yè)系統(tǒng)設(shè)計融為一體,通過精確的運動分析與控制,提高系統(tǒng)性能,并使設(shè)計人員的研制時間縮短長達一年。新的慣性測量裝置擴展了...
本文介紹ADI公司突破性的微機電系統(tǒng)(MEMS)開關(guān)技術(shù)。與傳統(tǒng)機電繼電器相比,ADI公司的MEMS開關(guān)技術(shù)使RF和DC開關(guān)性能、可靠性及小型化實現(xiàn)了跨...
加速度是描述物體速度變化快慢的物理量,通過測量由于重力引起的加速度,你可以計算出設(shè)備相對于水平面的傾斜角度。通過分析動態(tài)加速度,你可以分析出設(shè)備移動的方式。
“傾角傳感器”顧名思義,就是測量傾斜角度的一種角度傳感器。傾角傳感器應(yīng)用場所極多,隨著MEMS技術(shù)的發(fā)展,傾角傳感器得到越來越廣泛的應(yīng)用。適合應(yīng)用于工廠...
該傳感器模塊基于世界領(lǐng)先的MEMS技術(shù)和電通緯創(chuàng)十幾年的大規(guī)模IC封測生產(chǎn)制造經(jīng)驗和專業(yè)知識。
靜電力是另一種可能引起粘附的作用力。在靜電驅(qū)動或摩擦的作用下,殘余電荷會集聚在MEMS器件中的絕緣部件或絕緣層上,例如:氧化硅或氮化硅絕緣層和疏水涂層等...
新型 MEMS 能量采集器的采集原理如圖 2 所示。駐極體電路的電容是固定的(Cfix),而 MEMS 可調(diào)電容器(CM)的電容根據(jù)彈簧的拉伸(由外部振...
2019-02-14 標(biāo)簽:電容器mems物聯(lián)網(wǎng) 4716 0
國內(nèi)外RF MEMS廠商大盤點 5G對我國的RF MEMS廠商來說是機遇也是挑戰(zhàn)
射頻微機電系統(tǒng)(RF MEMS)是MEMS技術(shù)的重要應(yīng)用領(lǐng)域之一,也是二十世紀(jì)九十年代以來MEMS領(lǐng)域的研究熱點。RF MEMS用于射頻和微波頻率電路中...
MEMS技術(shù)是隨著半導(dǎo)體集成電路微細加工技術(shù)和超精密機械加工技術(shù)的發(fā)展而發(fā)展起來的,它開辟了一個全新的技術(shù)領(lǐng)域和產(chǎn)業(yè),其目標(biāo)是把信息的獲取、處理和執(zhí)行集...
全球?qū)Ш叫l(wèi)星系統(tǒng) (GNSS) 非常有用,能夠定位全球任意位置已正確啟用此功能的系統(tǒng),但僅僅使用 GNSS 接收器進行定位也存在一些問題。使用慣性測量裝...
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