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微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
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MEMS麥克風(fēng)的內(nèi)部組成及應(yīng)用優(yōu)勢(shì)分析
MEMS(微型機(jī)電系統(tǒng)) 麥克風(fēng)是基于MEMS技術(shù)制造的麥克風(fēng),簡(jiǎn)單的說(shuō)就是一個(gè)電容器集成在微硅晶片上,使用表貼工藝貼裝到電路板上并搭配合適的ASIC,...
MEMS陀螺儀采用的是依賴于相互正交的震動(dòng)和轉(zhuǎn)動(dòng)引起的交變科里奧利力。
波束成形陣列若包含多個(gè) MEMS 麥克風(fēng),則可以通過(guò)增強(qiáng)某一方向的聲音并衰減其他方向的聲音來(lái)克服這一問(wèn)題。該方法將麥克風(fēng)信號(hào)疊加,借由延遲插入、放大和濾...
基于MEMS技術(shù)的新一代傳感器與診斷預(yù)測(cè)應(yīng)用的先進(jìn)算法相結(jié)合,擴(kuò)大了測(cè)量各種機(jī)器和提高能力的機(jī)會(huì),有助于高效監(jiān)控設(shè)備,延長(zhǎng)正常運(yùn)行時(shí)間,增強(qiáng)過(guò)程質(zhì)量,提升產(chǎn)量。
2019-06-17 標(biāo)簽:傳感器mems半導(dǎo)體技術(shù) 1466 0
卡西歐早年就以電機(jī)馬達(dá)、繼電器等機(jī)電產(chǎn)品聞名。如今的卡西歐本身就是MEMS的制造商之一,用MEMS的思路解決傳統(tǒng)機(jī)械手表遇到的問(wèn)題是卡西歐的拿手好戲。所...
自動(dòng)駕駛技術(shù)IMU的基礎(chǔ)知識(shí)和應(yīng)用場(chǎng)景
我們經(jīng)常會(huì)看到DOF,自由度的概念, 今天我們就從DOF開(kāi)始進(jìn)一步理解IMU的基礎(chǔ)知識(shí)和應(yīng)用場(chǎng)景。
2019-06-01 標(biāo)簽:MEMSIMU自動(dòng)駕駛 8021 0
醫(yī)學(xué)傳感器技術(shù)把握了現(xiàn)代健康設(shè)備的脈動(dòng)
在更接近患者的傳感器層面,MEMS、納米技術(shù)、超低功耗傳感器、無(wú)線充電和新通信協(xié)議的持續(xù)發(fā)展都會(huì)產(chǎn)生重大影響。此外,醫(yī)療設(shè)備設(shè)計(jì)人員正在關(guān)注傳感器融合和...
i-MN:推動(dòng)MEMS外觀檢測(cè)系統(tǒng)的主要因素是什么?
HA:MEMS包含各種可動(dòng)元件并且需要各種檢測(cè)工藝。對(duì)于不同的檢測(cè)工藝通常需要多個(gè)步驟,而在產(chǎn)線中具有縮減檢測(cè)過(guò)程的需求。ViSCO實(shí)現(xiàn)了這一目標(biāo),提供...
2019-04-27 標(biāo)簽:半導(dǎo)體mems光學(xué)識(shí)別 3239 0
單電容傳感器的一個(gè)極板固定,稱為靜極板,另一極板與被測(cè)物體連接為動(dòng)極板。差分電容傳感器的上下極板均固定,稱為靜極板,中間極板為動(dòng)極板。當(dāng)被測(cè)物體移動(dòng)時(shí)動(dòng)...
深入了解工業(yè)應(yīng)用的高性能RF MEMS開(kāi)關(guān)
當(dāng)柵極和源極之間的偏置電壓超過(guò)開(kāi)關(guān)閾值電壓時(shí),梁上的觸點(diǎn)便接觸漏極,源極和漏極之間的電路閉合,開(kāi)關(guān)接通。移除偏置電壓后,即柵極上為0V時(shí),懸臂梁像彈簧一...
基于MEMS技術(shù)的微型光束操縱器件有望實(shí)現(xiàn)更輕、更低成本的激光雷達(dá)
“機(jī)器人和無(wú)人機(jī)是絕對(duì)可能的應(yīng)用領(lǐng)域,”Gylfason說(shuō),“目前的激光雷達(dá)系統(tǒng)對(duì)于自動(dòng)駕駛汽車而言成本過(guò)于高昂,而汽車產(chǎn)業(yè)對(duì)成本非常敏感。其他可能的應(yīng)...
2019-04-15 標(biāo)簽:mems激光雷達(dá)自動(dòng)駕駛 3729 0
基于MEMS技術(shù)的微型硅基聲吶器件提供了毫米級(jí)精度的距離傳感功能
超低功耗的片上系統(tǒng)(SoC)控制整個(gè)ToF處理過(guò)程:發(fā)送超聲波脈沖,將接收的超聲回波數(shù)字化,檢測(cè)ToF到最近目標(biāo)并通過(guò)I2C返回16位ToF信號(hào)。SoC...
MEMS實(shí)現(xiàn)了具有感知、控制和執(zhí)行能力的增強(qiáng)型微系統(tǒng)
SMART Microsystems公司的Apanius認(rèn)為,基于MEMS的小型化解決方案將繼續(xù)推動(dòng)市場(chǎng)發(fā)展?!斑@是SMART Microsystems...
2019-04-08 標(biāo)簽:電動(dòng)汽車傳感器mems 3651 0
ADI公司推出了一款雙軸傾斜計(jì)傳感器能提供出小于0.1度線性傾斜誤差
ADIS16209作為業(yè)界最精密的微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)傾斜計(jì),提供小于0.1度線性傾斜誤差的全補(bǔ)償直接角度輸出,從而使其精度提高到至少是同類傾斜傳...
美國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)研究院將采用非接觸式光學(xué)儀器來(lái)檢測(cè)MEMS的結(jié)構(gòu)
美國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)研究院把非接觸式光學(xué)測(cè)量?jī)x器連接在一個(gè)基于互聯(lián)網(wǎng)的MEMS計(jì)算器上。利用簡(jiǎn)單有效的光學(xué)干涉儀。這個(gè)方法使得工程師在光學(xué)干涉儀中插入測(cè)量值...
MEMS傳感器將迎來(lái)新的浪潮!MEMS定義與應(yīng)用
受惠于2007 年蘋(píng)果手機(jī)和任天堂Wii 游戲機(jī)的誕生,MEMS 在消費(fèi)電子領(lǐng)域迎來(lái)噴薄式的發(fā)展。iPhone 6S 包含加速度計(jì)、電子羅盤(pán)、陀螺儀、M...
2019-04-02 標(biāo)簽:傳感器mems機(jī)電系統(tǒng) 8343 0
電子工程師年輕創(chuàng)新者在“音樂(lè)的音符”中實(shí)現(xiàn)靈魂跳動(dòng)
在伯克利學(xué)習(xí)微機(jī)電系統(tǒng)工程博士學(xué)位期間,Ernest不僅專注于學(xué)業(yè),開(kāi)始專注于射頻MEMS。他在黎明時(shí)分在MEMS實(shí)驗(yàn)室開(kāi)始他的一天,經(jīng)常整天待在實(shí)驗(yàn)室...
通過(guò)傳感器實(shí)現(xiàn)嵌入式自主檢測(cè)系統(tǒng)的振動(dòng)監(jiān)控
現(xiàn)在,傳感器和傳感器處理方面的技術(shù)發(fā)展可實(shí)現(xiàn)完全嵌入式自主檢測(cè)系統(tǒng)的部署,并且能夠可靠地對(duì)設(shè)備缺陷、不平衡、性能變化以及其他異常進(jìn)行檢測(cè)和分析,如圖1所示。
TDK推出的全球第一款MEMS超聲波飛行時(shí)間傳感器的詳細(xì)資料說(shuō)明
基于 MEMS 的微型“硅芯片聲吶”裝置提供了毫米級(jí)精度的距離傳感功能,并具有業(yè)內(nèi)最低的功耗。這種 MEMS 超聲波傳感器可用于距離測(cè)量、位置追蹤、人員...
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