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微機電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術(shù)制作的高科技電子機械器件。
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嵌套環(huán)MEMS陀螺的發(fā)展現(xiàn)狀
波音公司提出的嵌套環(huán)MEMS陀螺如圖2(a)所示,其直徑約8mm,環(huán)與環(huán)之間的間隙較大,可以用來設(shè)置內(nèi)部電極用于驅(qū)動、檢測或靜電修調(diào)。該陀螺具有較大的等...
基于3D MEMS OXC的基本結(jié)構(gòu)與應(yīng)用范圍分析
實現(xiàn)OXC的第二種技術(shù)方案是基于MEMS微鏡陣列的Cross-Bar光開關(guān),日本東京大學的H. Toshiyoshi和H. Fujita于1996年報道...
基于節(jié)點存儲路由信息的無線傳感器網(wǎng)絡(luò)覆蓋連通性的判定算法與研究
集成傳感器技術(shù)、微機電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)、無線通信技術(shù)和分布式信息處理技術(shù)的無線傳感器網(wǎng)絡(luò)(WSN,wirelesssensornetworks)是當...
MEMS VOA光衰減器的工作原理及在光通信網(wǎng)絡(luò)中的應(yīng)用研究
MEMS(Micro Electro Mechanical System,微機電系統(tǒng))技術(shù)被廣泛應(yīng)用于光纖通信系統(tǒng)中,MEMS技術(shù)與光學技術(shù)的結(jié)合,通常...
2020-04-28 標簽:mems光纖通信通信網(wǎng)絡(luò) 5400 0
Melexis 將探討非接觸式溫度感應(yīng)背后的原理,以及盡可能減輕熱沖擊影響的方法。
MEMS加速度傳感器在電機健康狀態(tài)監(jiān)測上的應(yīng)用
常見的加速度傳感器主要有壓電陶瓷加速度傳感器、應(yīng)變式加速度傳感器、電容式加速度傳感器和MEMS加速度傳感器,傳統(tǒng)的電機振動監(jiān)測主要選用IEPE電壓輸出型...
利用EL6249C芯片實現(xiàn)頻閃照明電路的設(shè)計
微電子機械系統(tǒng)(MEMS)是在微電子技術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展起來的多學科交叉的新興學科。由于它與傳統(tǒng)機械系統(tǒng)相比,具有可大批量生產(chǎn)、成本低、功耗小、集成化等一系列...
5G手機拆解:Reno3 5G除了聯(lián)發(fā)科天璣1000L還有哪些聯(lián)發(fā)科芯片
論5G的SoC ,Media Tek天璣1000L 必定有姓名。截止目前搭載天璣的僅OPPO Reno3 5G,拆解后,分析Reno 3內(nèi)部用多少聯(lián)發(fā)科...
2020-04-02 標簽:聯(lián)發(fā)科mems5G手機 1.6萬 0
如何在光譜分析行業(yè)中實現(xiàn)創(chuàng)新
光譜分析可基于樣本對于大范圍波長的反應(yīng)鑒定樣本,是實現(xiàn)該應(yīng)用的強大工具。值得注意的是,NIR光譜分析用波長范圍通常在780-2500納米之間的光來刺激樣本。
MEMS麥克風重塑音頻領(lǐng)域,人工智能(AI)將引領(lǐng)音頻市場的發(fā)展和轉(zhuǎn)型
多年前,MEMS麥克風的興起重塑了音頻領(lǐng)域。法國著名市場研究公司Yole堅信,未來幾年,人工智能(AI)將引領(lǐng)音頻市場的發(fā)展和轉(zhuǎn)型。
基于MEMS技術(shù)的1×N端口光開關(guān)的原理結(jié)構(gòu)與用途分析
8×16端口MCS光開關(guān)的結(jié)構(gòu)如圖2所示,它包括8個1×16端口的PLC光分路器和16個8×1端口的光開關(guān),光分路器通常以PLC技術(shù)制備,而1×N端口光...
2020-01-27 標簽:開關(guān)mems互聯(lián)網(wǎng) 3017 0
壓力傳感器在液壓系統(tǒng)中主要是來完成力的閉環(huán)控制。當控制閥芯突然移動時,在極短的時間內(nèi)會形成幾倍于系統(tǒng)工作壓力的尖峰壓力。在典型的行走機械和工業(yè)液壓中,如...
關(guān)于微慣性器件MEMS與ASIC系統(tǒng)集成關(guān)鍵技術(shù)的分析
MCM方案主要通過金絲鍵線或倒裝焊的方式實現(xiàn)MEMS結(jié)構(gòu)與ASIC系統(tǒng)的集成,與PCB方案相比,除了大幅改善SWaP指標之外,還能縮短信號路徑、減小寄生...
基于MEMS技術(shù)的機器健康解決方案 全面催動全球走向工業(yè) 4.0
全球工業(yè)正迎來新一輪變革。無論是德國提出的“工業(yè)4.0”,美國的“工業(yè)互聯(lián)網(wǎng)”,還是中國的“中國制造2025”,三者本質(zhì)上都指向一個核心——智能制造。
日本TDK公司推出了基于MEMS超聲波技術(shù)的ToF傳感器解決方案
日本 TDK 的 MEMS 超聲波技術(shù)利用 3.5mm x 3.5mm 封裝的自研 ToF 傳感器,在定制級低功耗混合信號 CMOS ASIC 上結(jié)合 ...
2019-10-15 標簽:memsTDK超聲波技術(shù) 4349 0
據(jù)了解,由于傳感器設(shè)計簡單、堅固、高效,采用了超材料,可省去NDIR氣體傳感器中的一個主要成本因素:介質(zhì)濾波器,同時,還可減小設(shè)備的尺寸以及能量消耗?;?..
SMI推出的MEMS低壓傳感器系列產(chǎn)品SM9541介紹
基于該芯片的特有的復(fù)合壓力儀表產(chǎn)品可提供最佳的信號分辨率和診斷功能。14位分辨率和1%精度為用戶帶來高性能,每年0.2%的滿量程漂移穩(wěn)定性可為重要的保健...
Blast Motion的高精度運動傳感器產(chǎn)品Blast Baseball介紹
Blast Motion的高精度運動傳感器重量不足1盎司,且防塵、防震、防水,可貼在任何一種棒球桿的末端。在比賽過程中,Bluetooth? 智能無線通...
2019-09-11 標簽:mems意法半導(dǎo)體運動傳感器 1645 0
意法半導(dǎo)體推出的9軸運動位置傳感器LSM9DS1模塊介紹
意法半導(dǎo)體執(zhí)行副總裁兼模擬產(chǎn)品、MEMS及傳感器產(chǎn)品事業(yè)總經(jīng)理Benedetto Vigna表示:“這款高性能9軸微型模塊基于我們最新的MEMS技術(shù),讓...
2019-10-04 標簽:mems意法半導(dǎo)體位置傳感器 5600 0
使用 MEMS 射頻開關(guān)解決高級無線應(yīng)用的設(shè)計和集成問題
在千兆赫以上頻段的射頻設(shè)計,以及建立模型和 S 參數(shù)用于仿真時,合適的評估板是必要的設(shè)計工具,因為不存在完美的模型,也不可能抓住實際設(shè)計中所有瑣碎細節(jié)
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