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微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
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鍵合技術(shù)是 MEMS 工藝中常用的技術(shù)之一,是指將硅片與硅片、硅片與玻璃或硅片與金屬等材料通過(guò)物理或化學(xué)反應(yīng)機(jī)制緊密結(jié)合在一起的一種工藝技術(shù)。
進(jìn)行MEMS制造的最基本需求是能夠沉積1到100微米之間的材料薄膜。NEMS的制造過(guò)程是基本一致的,膜沉積的測(cè)量范圍從幾納米到一微米。
干法刻蝕解決RIE中無(wú)法得到高深寬比結(jié)構(gòu)或陡直壁問(wèn)題
在 MEMS 制造工藝中,常用的干法刻蝕包括反應(yīng)離子刻蝕 (Reactive lon Etching, RIE)、深反應(yīng)離子刻蝕(Deep Reacti...
MEMS傳感器在振動(dòng)監(jiān)測(cè)中的應(yīng)用
振動(dòng)監(jiān)測(cè) (VM) 已經(jīng)問(wèn)世很長(zhǎng)一段時(shí)間,并且已被用于監(jiān)測(cè)機(jī)器、設(shè)備或結(jié)構(gòu)的健康狀況。在機(jī)器運(yùn)行過(guò)程中,可以利用專用傳感器收集其振動(dòng)數(shù)據(jù)以對(duì)其進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)...
2022-09-29 標(biāo)簽:mems振動(dòng)傳感器振動(dòng)監(jiān)測(cè)系統(tǒng) 1704 0
慣性測(cè)量單元可實(shí)現(xiàn)高數(shù)據(jù)分辨率
據(jù)麥姆斯咨詢介紹,慣性測(cè)量單元(Inertial Measurement Unit,IMU)是測(cè)量物體三軸姿態(tài)角(或角速率)以及加速度的裝置。通常,IM...
2022-09-28 標(biāo)簽:智能手機(jī)mems數(shù)據(jù) 1167 0
基于深度學(xué)習(xí)(DL)的數(shù)據(jù)驅(qū)動(dòng)的非參數(shù)化MEMS結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)方法
在本論文研究中,作者們提出使用深度學(xué)習(xí)技術(shù),通過(guò)快速準(zhǔn)確地預(yù)測(cè)具有不同幾何結(jié)構(gòu)特征的眾多設(shè)計(jì)候選方案的物理特性,加速M(fèi)EMS設(shè)計(jì)周期。
2022-09-26 標(biāo)簽:mems機(jī)器學(xué)習(xí)深度學(xué)習(xí) 947 0
其中,m表示干涉級(jí)次,L2表示真空腔腔長(zhǎng),n2表示真空腔折射率,L1表示硅腔腔長(zhǎng),n2表示硅腔折射率。
壓電微機(jī)械超聲換能器(PMUT)設(shè)計(jì)
近年來(lái),基于MEMS的超聲換能器技術(shù)一直處于快速發(fā)展和增長(zhǎng)階段,廣泛應(yīng)用于醫(yī)療陣列成像、手勢(shì)識(shí)別、內(nèi)窺成像、指紋識(shí)別等領(lǐng)域。
用ADIN1110設(shè)計(jì)一款小巧但強(qiáng)大的傳感器
對(duì)于狀態(tài)監(jiān)測(cè)(CbM)傳感器開(kāi)發(fā),單對(duì)以太網(wǎng)(SPE)或10BASE-T1L比標(biāo)準(zhǔn)以太網(wǎng)更具顯著優(yōu)勢(shì),包括縮小傳感器尺寸、降低復(fù)雜性和低成本布線選項(xiàng)。本...
微機(jī)電系統(tǒng)因其巨大的能力和良好的品質(zhì)而經(jīng)常用于T/R模塊,特別是用于空間模塊化應(yīng)用。將MEMS技術(shù)用于射頻應(yīng)用可以制成高性能和低成本的集成元件,如可變電...
駐極體電容式麥克風(fēng)的參數(shù)規(guī)格及設(shè)計(jì)
ECM是指駐極體電容式麥克風(fēng),與MEMS硅麥不同,其內(nèi)部結(jié)構(gòu)如圖1所示。
聲光偏轉(zhuǎn)器的優(yōu)勢(shì)和應(yīng)用
在上一期的小課堂,《聲光偏轉(zhuǎn)器及其應(yīng)用連載一:聲光偏轉(zhuǎn)器原理》中我們?cè)敿?xì)的介紹了聲光偏轉(zhuǎn)器的相關(guān)基礎(chǔ)理論和主要性能指標(biāo),這一期的連載我們來(lái)談一談聲光偏轉(zhuǎn)...
2022-08-31 標(biāo)簽:mems聲光電光效應(yīng) 4421 0
基于MEMS的IMU設(shè)計(jì)開(kāi)發(fā)應(yīng)用
設(shè)備激活至少兩秒后,傾斜改變至少 35 度時(shí),此事件就生成中斷。 傾斜功能可用于不同場(chǎng)景。 例如,手機(jī)放在口袋中,當(dāng)手機(jī)持有者從坐姿變?yōu)檎玖⒒驈恼玖⒆優(yōu)?..
2022-08-25 標(biāo)簽:傳感器mems應(yīng)用處理器 2324 0
MEMS 振蕩器:實(shí)現(xiàn)更小、更低功耗的物聯(lián)網(wǎng)和可穿戴設(shè)備
SiTime 為 MEMS 振蕩器與基于石英晶體的時(shí)鐘源提供了一個(gè)案例。
STMicroelectronics 深入研究了用于工業(yè)環(huán)境狀態(tài)監(jiān)測(cè)的振動(dòng)傳感器的 KPI。
2022-08-17 標(biāo)簽:mems智能傳感器振動(dòng)傳感器 3571 0
基于微流控系統(tǒng)開(kāi)發(fā)單細(xì)胞生物芯片平臺(tái)
超聲基因轉(zhuǎn)移比其他細(xì)胞轉(zhuǎn)移技術(shù)更有優(yōu)勢(shì),因?yàn)槌暡恢苯幼饔糜诩?xì)胞,而是通過(guò)聲孔效應(yīng)將細(xì)胞周?chē)幕蚱瓮迫爰?xì)胞。據(jù)麥姆斯咨詢報(bào)道,近日,一支由中國(guó)廣西大...
總之,決定使用哪種材料不僅取決于成本,還主要取決于每種應(yīng)用所需的特定屬性。然而,在評(píng)估材料時(shí),還應(yīng)考慮制造的預(yù)期產(chǎn)量和生產(chǎn)規(guī)模選項(xiàng),因?yàn)樗鼈儠?huì)影響設(shè)計(jì)、...
導(dǎo)語(yǔ):傳感器發(fā)展到今天,小型化、智能化、集成化,已經(jīng)是升級(jí)換代的必由之路。今天,我們來(lái)為大家介紹一下傳感器家族的mini型產(chǎn)品——--MEMS傳感器。 ...
10kHz MEMS加速度計(jì)適合狀態(tài)監(jiān)控應(yīng)用
狀態(tài)監(jiān)控(CbM)是一種預(yù)測(cè)性維護(hù)方式,其利用各種傳感器來(lái)評(píng)估設(shè)備隨時(shí)間的運(yùn)行狀態(tài)。收集的傳感器數(shù)據(jù)用于建立基線趨勢(shì),從而幫助診斷甚至預(yù)測(cè)故障。與傳統(tǒng)的...
如何通過(guò)應(yīng)力和應(yīng)變管理實(shí)現(xiàn)高精度傾斜/角度檢測(cè)性能
本文探討采用加速度計(jì)的高精度角度/傾斜檢測(cè)系統(tǒng)的性能指標(biāo)。我們首先從微觀角度分析傳感器設(shè)計(jì),以便更好地了解微米級(jí)別應(yīng)力和應(yīng)變的影響。分析表明,如果不遵循...
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