完善資料讓更多小伙伴認(rèn)識你,還能領(lǐng)取20積分哦,立即完善>
標(biāo)簽 > mems
微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
文章:3383個 瀏覽:190936次 帖子:459個
據(jù)麥姆斯咨詢報道,近期,來自南京理工大學(xué)的研究人員于《新型工業(yè)化》期刊發(fā)表綜述文章,總結(jié)了體微加工技術(shù)和表面微加工常用的MEMS加工工藝的原理、加工方法...
共聚焦激光內(nèi)窺鏡用于識別中空器官上皮細(xì)胞中的疾病
共聚焦激光內(nèi)窺鏡(Confocal laser endomicroscopy)是一種新興的成像技術(shù),作為一種常規(guī)醫(yī)學(xué)內(nèi)窺鏡附件正在開發(fā)臨床應(yīng)用。
微小的可變形微加工芯片邊緣微懸臂梁對于各種表面探測技術(shù)都非常有用。例如,它們是近場顯微術(shù)的關(guān)鍵元素,在近場顯微術(shù)中,它們在小撓度狀態(tài)下的力學(xué)行為被很好的...
2022-11-21 標(biāo)簽:mems 711 0
MEMS聲學(xué)傳感器的出現(xiàn),讓音箱不再只能單純播放音樂,而是成為可以與人互動的智能終端。
納米技術(shù)涉及到材料的操縱和結(jié)構(gòu)和系統(tǒng)的建立它們以原子的規(guī)模存在,分子=納米尺度。
怎樣使用虹科DLO-M1液體密度傳感器進(jìn)行密度測量呢
亞毫米級的測量系統(tǒng)使傳感器的結(jié)構(gòu)更加緊湊。它的尺寸只有80×30×15mm,可以放入非常狹小的空間。測量值通過RS232接口和虹科TrueDyne傳感器...
利用標(biāo)準(zhǔn)代工平臺構(gòu)建硅光子MEMS微環(huán)諧振濾波器
通常,利用光子集成電路(PIC)執(zhí)行此操作。光子集成電路將光限制并引導(dǎo)到微尺度組件中,例如陣列波導(dǎo)光柵或集成環(huán)形諧振器等,這些組件在多個波長通道中操縱信息。
反射型顯示器技術(shù)背后的產(chǎn)業(yè)現(xiàn)狀
電潤顯示的反應(yīng)速度要比電泳快很多,但要實現(xiàn)與LCD一樣的反應(yīng)速度,電潤材料的液體粘性仍然很難克服,而且即便是其粘度能達(dá)到與液晶一樣,其分子自組裝仍然需要...
為了提高流體機(jī)械的效率,需要表征曲面上的近壁流動,以抑制這種流動分離。不過,實現(xiàn)這一目標(biāo)需要解決多方面的挑戰(zhàn)。
可變光衰減器包括機(jī)械式技術(shù)、可調(diào)衍射光柵技術(shù)、MEMS技術(shù)、液晶技術(shù)、磁光技術(shù)、平面光波導(dǎo)技術(shù)等。
MEMS(Micro Electro Mechanical System,微機(jī)電系統(tǒng))技術(shù)被廣泛應(yīng)用于光纖通信系統(tǒng)中,MEMS技術(shù)與光學(xué)技術(shù)的結(jié)合,通常...
犧牲層技術(shù)自20世紀(jì)80 年代美國加州大學(xué)伯克利分校開發(fā)至今,得到了快速發(fā)展。犧牲層技術(shù)是 MEMS 工藝設(shè)計中有別于傳統(tǒng)IC制造工藝技術(shù)之一
高壓功率放大器在MEMS微結(jié)構(gòu)模態(tài)測試靜電激勵技術(shù)中的應(yīng)用
MEMS測試技術(shù)是微機(jī)電系統(tǒng)技術(shù)的重要組成部分之一,微結(jié)構(gòu)動態(tài)特性的測試對MEMS器件的性能及其設(shè)計、仿真、制造、以及質(zhì)量控制和評價等方面均具有重要的意...
該壓電MEMS超聲換能器由兩部分組成:Mo/AIN/Mo壓電層和刻蝕有空腔的SOI襯底。其工作原理是當(dāng)電場為交變電場時,壓電層做周期性地拉伸與收縮,從而...
基于3D打印技術(shù)的MEMS加速度計的設(shè)計
微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)器件,例如MEMS加速度計,廣泛應(yīng)用于汽車電子、消費電子和生物醫(yī)療等行業(yè)。利用半導(dǎo)體制造技術(shù)可有效地大批量生產(chǎn)MEMS器件,但對于...
Pre-CMOS/MEMS 是指部分或全部的 MEMS 結(jié)構(gòu)在制作 CMOS 之前完成,帶有MEMS 微結(jié)構(gòu)部分的硅片可以作為 CMOS 工藝的初始材料。
加速度計能夠測量加速度、傾斜度、振動或沖擊,因此,可用于從可穿戴健身設(shè)備到工業(yè)平臺穩(wěn)定系統(tǒng)的各種應(yīng)用。有數(shù)百種零件可供選擇,成本和性能都有很大的跨度。本...
常規(guī)的絕緣層上硅 (Silicon on Insulator, SOI)是通過注氧隔離 (Separation by Implanted Oxygen,...
MEMS的相關(guān)術(shù)語及MEMS芯片制造過程
ALD是Atomic Layer Deposition(原子層沉積)的縮寫,是通過重復(fù)進(jìn)行材料供應(yīng)(前體)和排氣,利用與基板之間的表面反應(yīng),分步逐層沉積...
編輯推薦廠商產(chǎn)品技術(shù)軟件/工具OS/語言教程專題
電機(jī)控制 | DSP | 氮化鎵 | 功率放大器 | ChatGPT | 自動駕駛 | TI | 瑞薩電子 |
BLDC | PLC | 碳化硅 | 二極管 | OpenAI | 元宇宙 | 安森美 | ADI |
無刷電機(jī) | FOC | IGBT | 逆變器 | 文心一言 | 5G | 英飛凌 | 羅姆 |
直流電機(jī) | PID | MOSFET | 傳感器 | 人工智能 | 物聯(lián)網(wǎng) | NXP | 賽靈思 |
步進(jìn)電機(jī) | SPWM | 充電樁 | IPM | 機(jī)器視覺 | 無人機(jī) | 三菱電機(jī) | ST |
伺服電機(jī) | SVPWM | 光伏發(fā)電 | UPS | AR | 智能電網(wǎng) | 國民技術(shù) | Microchip |
Arduino | BeagleBone | 樹莓派 | STM32 | MSP430 | EFM32 | ARM mbed | EDA |
示波器 | LPC | imx8 | PSoC | Altium Designer | Allegro | Mentor | Pads |
OrCAD | Cadence | AutoCAD | 華秋DFM | Keil | MATLAB | MPLAB | Quartus |
C++ | Java | Python | JavaScript | node.js | RISC-V | verilog | Tensorflow |
Android | iOS | linux | RTOS | FreeRTOS | LiteOS | RT-THread | uCOS |
DuerOS | Brillo | Windows11 | HarmonyOS |