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標(biāo)簽 > mems工藝
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村田發(fā)布了一款新的6軸MEMS慣性傳感器SCH16T-K01
據(jù)麥姆斯咨詢報道,綜合電子元器件全球制造商村田(Murata)近日發(fā)布了一款新的6軸MEMS慣性傳感器SCH16T-K01,可實(shí)現(xiàn)高精度機(jī)器控制和定位應(yīng)用。
MEMS制程各工藝相關(guān)設(shè)備的極限能力又是限定器件尺寸的關(guān)鍵要素,且其相互之間的配套方能實(shí)現(xiàn)設(shè)備成本的最低;下面先簡要介紹一下前段制程的特點(diǎn)及涉及的設(shè)備。
TFT-LCD是將微電子技術(shù)與液晶顯示器技術(shù)巧妙結(jié)合的一種技術(shù)
IMOD的像素制作,大部分基于普通TFT實(shí)驗(yàn)室的整體工藝步驟,包括等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PECVD)和磁控濺射沉積,光刻圖案化,干法和濕法刻蝕,但是仍...
2020-06-17 標(biāo)簽:液晶顯示器微電子技術(shù)MEMS工藝 4500 0
傳感器智能化的三大核心技術(shù)與創(chuàng)新趨勢
人類步入21世紀(jì),全面進(jìn)入信息時代,從一定意義上講,也就進(jìn)入了傳感器時代。在現(xiàn)代控制系統(tǒng)中,傳感器處于連接被測對象和測試系統(tǒng)的接口位置,可直接或間接接觸...
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