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EUV光刻技術 - 即將在芯片上繪制微小特征的下一代技術 – 原來是預計在2012年左右投產(chǎn)。但是幾年過去了,EUV已經(jīng)遇到了一些延遲,將技術從一個節(jié)點推向下一個階段,本單元詳細介紹了EUV光刻機,EUV光刻機技術的技術應用,EUV光刻機的技術、市場問題,國產(chǎn)euv光刻機發(fā)展等內(nèi)容。
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日韓貿(mào)易戰(zhàn)愈演愈烈 將直接影響三星電子EUV工藝研發(fā)進度
近日,日韓貿(mào)易戰(zhàn)愈演愈烈,日本宣布氟聚酰亞胺(Fluorine Polyimide)、半導體制造中的核心材料光刻膠和高純度氟化氫(Eatching Ga...
光刻機是當前半導體芯片產(chǎn)業(yè)的核心設備,其技術含量和價值含量都很高。那么euv光刻機用途是什么呢?下面我們就一起來看看吧。 光刻設備涉及系統(tǒng)集成、精密光學...
在全球晶圓代工市場上,臺積電的市場份額超過了50%,位居第一,其產(chǎn)能和技術都是領先的。排名第二的三星拿下了超過20%的市場份額,先進工藝直追臺積電,高通...
三星最先進EUV產(chǎn)線投用:7nm產(chǎn)能今年增加兩倍
V1產(chǎn)線/工廠2018年2月動工,2019年下半年開始測試晶圓生產(chǎn),首批產(chǎn)品今年一季度向客戶交付。目前,V1已經(jīng)投入7nm和6nm EUV移動芯片的生產(chǎn)...
國產(chǎn)光刻膠市場前景 國內(nèi)廠商迎來發(fā)展良機
半導體光刻膠用光敏材料仍屬于“卡脖子”產(chǎn)品,海外進口依賴較重,不同品質(zhì)之間價 格差異大。以國內(nèi) PAG 對應的化學放大型光刻膠(主要是 KrF、ArF ...
光刻機行業(yè)需求空間廣闊,國產(chǎn)設備有優(yōu)勢嗎?
光刻機技術壁壘高且投資占比大,芯片尺寸的縮小以及性能的提升依賴于光刻技術的發(fā)展。
Cadence 數(shù)字全流程解決方案通過三星5LPE工藝認證
采用極紫外(EUV)光刻技術的Cadence 數(shù)字全流程解決方案已通過Samsung Foundry 5nm早期低功耗版(5LPE)工藝認證。
傳三星與SK海力士正在研發(fā)EUV技術 未來有機會藉此將生產(chǎn)DRAM的成本降低
就在臺積電與三星在邏輯芯片制程技術逐漸導入EUV技術之后,存儲器產(chǎn)業(yè)也將追隨。也就是全球存儲器龍頭三星在未來1Y納米制程的DRAM存儲器芯片生產(chǎn)上,也在...
進入10nm工藝節(jié)點之后,EUV光刻機越來越重要,全球能產(chǎn)EUV光刻機的就是荷蘭ASML公司了,他們總共賣出18臺EUV光刻機,總價值超過20億歐元,折...
AMSL宣布:無須美國許可同意可向中國供貨DUV光刻機,但EUV受限
光刻機,在整個芯片生產(chǎn)制造環(huán)節(jié),是最最最核心的設備,技術難度極高。在全球光刻機市場,日本的尼康、佳能,和荷蘭的ASML,就占據(jù)了市場90%以上份額。而最...
臺積電EUV光刻機采購將超過50臺;完全自主知識產(chǎn)權!我國三代核電技術 “國和一號”研發(fā)完成…
9月28日消息,臺積電加速先進制程推進,近期擴大釋單,累計 EUV 機臺至 2021年底將超過50臺。報道指出,相較之下,三星電子(Samsung El...
據(jù)知情人士透露,中國最大的晶圓代工廠中芯國際已經(jīng)訂購了一臺EUV設備,在中美兩國貿(mào)易緊張的情況下,此舉旨在縮小與市場領先者的技術差距,確保關鍵設備的供應...
沉浸式光刻技術是在傳統(tǒng)的光刻技術中,其鏡頭與光刻膠之間的介質(zhì)是空氣,而所謂浸入式技術是將空氣介質(zhì)換成液體。實際上,浸入式技術利用光通過液體介質(zhì)后光源波長...
14納米工藝節(jié)點會給設計帶來哪些挑戰(zhàn)?
據(jù)國際物理系統(tǒng)研討會(ISPD)上專家表示:實現(xiàn)14納米芯片生產(chǎn)可能會比原先想象的更困難;14納米節(jié)點給設計師帶來了許多挑戰(zhàn)。這些困難和挑戰(zhàn)何在?詳見本文...
微電子產(chǎn)業(yè)特種化學品和材料解決方案廠商英特格 (Entegris) 宣布,新一代的光罩盒已獲得半導體生產(chǎn)設備商艾司摩爾 (ASML) 的認證,可用于極紫...
三星將在明年推5/4nmEUV工藝 2020年推3nmEUV工藝
隨著Globalfoundries以及聯(lián)電退出先進半導體工藝研發(fā)、投資,全球有能力研發(fā)7nm及以下工藝的半導體公司就只剩下英特爾、臺積電及三星了,不過英...
臺積電 | 首次加入EUV極紫外光刻技術 7nm+工藝芯片已量產(chǎn)
臺積電官方宣布,已經(jīng)開始批量生產(chǎn)7nm N7+工藝,這是臺積電第一次、也是行業(yè)第一次量產(chǎn)EUV極紫外光刻技術,意義非凡。
另外,7nm EUV的好處還在于,比多重曝光的步驟要少,也就是相同時間內(nèi)的產(chǎn)量將提升。當然,這里說的是最理想的情況, 比如更好的EUV薄膜以減少光罩的污...
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