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EUV光刻技術(shù) - 即將在芯片上繪制微小特征的下一代技術(shù) – 原來是預(yù)計(jì)在2012年左右投產(chǎn)。但是幾年過去了,EUV已經(jīng)遇到了一些延遲,將技術(shù)從一個(gè)節(jié)點(diǎn)推向下一個(gè)階段,本單元詳細(xì)介紹了EUV光刻機(jī),EUV光刻機(jī)技術(shù)的技術(shù)應(yīng)用,EUV光刻機(jī)的技術(shù)、市場問題,國產(chǎn)euv光刻機(jī)發(fā)展等內(nèi)容。
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在半導(dǎo)體制造過程中,光刻機(jī)是最核心的設(shè)備,同時(shí),也是研發(fā)難度最高的設(shè)備。
中芯國際與ASML光刻機(jī)問題解決,開始進(jìn)入光刻階段
在半導(dǎo)體工藝進(jìn)入 10nm 節(jié)點(diǎn)之后,制造越來越困難,其中最復(fù)雜的一步——光刻需要用到 EUV 光刻機(jī)了,而后者目前只有荷蘭 ASML 阿斯麥公司才能供應(yīng)。
2022年華為前三季度研發(fā)投入超1100億,10年來華為研發(fā)投入近萬億!華為最近在光芯片、量子芯片方面頻頻突破,讓外媒感到震驚!
國家集成電路創(chuàng)新中心啟動(dòng),將聚焦5nm及以下集成電路研發(fā)
國家集成電路創(chuàng)新中心、國家智能傳感器創(chuàng)新中心啟動(dòng)會(huì)7月3日在上海舉行。國家集成電路創(chuàng)新中心將圍繞5nm及以下集成電路,聚焦四大共性技術(shù),支持國產(chǎn)高端芯片...
實(shí)現(xiàn)3nm技術(shù)節(jié)點(diǎn)需要突破哪些半導(dǎo)體關(guān)鍵技術(shù)
將互連擴(kuò)展到3nm技術(shù)節(jié)點(diǎn)及以下需要多項(xiàng)創(chuàng)新。IMEC認(rèn)為雙大馬士革中的單次顯影EUV,Supervia結(jié)構(gòu),半大馬士革工藝以及后段(BEOL)中的附加...
CD-SEM和相關(guān)工具可能會(huì)遇到信號(hào)與噪聲問題,從而導(dǎo)致所謂CD偏差的問題。為了解決這個(gè)問題,F(xiàn)ractilia有一個(gè)能夠測(cè)量LER和通孔失效的軟件工具...
如何發(fā)現(xiàn)EUV過程中產(chǎn)生的缺陷
而以上所說的化學(xué)反應(yīng)就是隨機(jī)缺陷產(chǎn)生的源頭,然而最大的困難就是這些反應(yīng)中存在這許多未知因素的干擾?!坝捎谶@一復(fù)雜的物理化學(xué)反應(yīng)過程存在著一些未知因素,因...
光刻機(jī)是大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的核心設(shè)備,它能夠制造和維護(hù)需要高水平的光學(xué)和電子產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ),全球只有少數(shù)制造商掌握了這一基礎(chǔ)。 光刻機(jī)的作用是對(duì)芯片晶圓進(jìn)行掃...
此外,由于光刻加工分辨率直接關(guān)系到芯片特征尺寸大小,而光刻膠的性能關(guān)系到光刻分辨率的大小。限制光刻分辨率的是光的干涉和衍射效應(yīng)。光刻分辨率與曝光波長、數(shù)...
臺(tái)積電首個(gè)EUV工藝的N7+開始向客戶交付產(chǎn)品
10月7日,臺(tái)積電宣布,其業(yè)界首款可商用的極紫外(EUV)光刻技術(shù)七納米plus(N7+)將向客戶交付產(chǎn)品。采用EUV技術(shù)的N7+工藝建立在臺(tái)積電成功的...
A股半導(dǎo)體光刻膠企業(yè)營收靚麗!打造光刻膠全產(chǎn)業(yè)鏈 博康欲成國產(chǎn)光刻膠的中流砥柱
光刻膠為何要謀求國產(chǎn)替代?中國國產(chǎn)光刻膠企業(yè)的市場發(fā)展機(jī)會(huì)和挑戰(zhàn)如何?光刻膠企業(yè)發(fā)展要具備哪些核心競爭力?在南京半導(dǎo)體大會(huì)期間,徐州博康公司董事長傅志偉...
臺(tái)積電與三星下重金,ASML 2019年EUV產(chǎn)量訂單有望全滿
《巴倫》報(bào)導(dǎo),芯片設(shè)備供應(yīng)商艾司摩爾ASML的表現(xiàn)可能要比大多數(shù)人想像的要好,瑞士信貸分析師Farhan Ahmad即認(rèn)為,艾司摩爾的產(chǎn)品是芯片制造商臺(tái)...
到2024年,半導(dǎo)體研發(fā)將促EUV光刻、3納米、3D芯片堆疊技術(shù)增長
據(jù)IC Insights發(fā)布的最新2020 McClean報(bào)告顯示,半導(dǎo)體行業(yè)研發(fā)的投入將在2024年出現(xiàn)明顯成效包括轉(zhuǎn)向EUV光刻,低于3納米制程技術(shù)...
2018年7月18日,ASML公布了第二季度業(yè)績報(bào)告,報(bào)告顯示第二季度EUV出貨量為4套,比預(yù)期高出一套,這是否意味著ASML的生產(chǎn)能力正在提升,中芯國...
光刻就是把芯片制作所需要的線路與功能區(qū)做出來。利用光刻機(jī)發(fā)出的光通過具有圖形的光罩對(duì)涂有光刻膠的薄片曝光。
16日,三星電子宣布在基于EUV的高級(jí)節(jié)點(diǎn)方面取得了重大進(jìn)展,包括7nm批量生產(chǎn)和6nm客戶流片,以及成功完成5nm FinFET工藝的開發(fā)。 三星電子...
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