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EUV光刻技術(shù) - 即將在芯片上繪制微小特征的下一代技術(shù) – 原來(lái)是預(yù)計(jì)在2012年左右投產(chǎn)。但是幾年過(guò)去了，EUV已經(jīng)遇到了一些延遲，將技術(shù)從一個(gè)節(jié)點(diǎn)推向下一個(gè)階段，本單元詳細(xì)介紹了EUV光刻機(jī)，EUV光刻機(jī)技術(shù)的技術(shù)應(yīng)用，EUV光刻機(jī)的技術(shù)、市場(chǎng)問(wèn)題，國(guó)產(chǎn)euv光刻機(jī)發(fā)展等內(nèi)容。

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ASML公布2020年第一季度財(cái)報(bào) 凈預(yù)訂量強(qiáng)勁達(dá)到31億歐元

4月15日，全球光刻機(jī)龍頭廠商阿斯麥（ASML）公布2020年第一季度財(cái)報(bào)。

2020-04-16 標(biāo)簽：EUV ASML 2386 0

EUV技術(shù)將為芯片制造設(shè)備市場(chǎng)帶來(lái)近4000億收入

芯片加工精度取決于光刻機(jī)光線的波長(zhǎng)，光線波長(zhǎng)越小，芯片精度越高。隨著摩爾定律發(fā)展，芯片制造邁進(jìn)10nm節(jié)點(diǎn)，波長(zhǎng)13.4nm的EUV（極紫外光）就成為唯...

2020-07-20 標(biāo)簽：芯片光刻機(jī)EUV 2382 0

EUV光刻機(jī)全球出貨量達(dá)57臺(tái)

與此同時(shí)，他指出，EUV繼續(xù)為ASML的客戶提高產(chǎn)量，迄今為止，他們的客戶已經(jīng)使用EUV光刻機(jī)曝光了超過(guò)1100萬(wàn)個(gè)EUV晶圓，并交付了57個(gè)3400...

2020-08-14 標(biāo)簽：晶圓光刻機(jī)EUV 2378 0

ASML***的最新進(jìn)展

在 SEMICON West上，本文作者采訪了 ASML 的 Mike Lercel。在本文中，該作者結(jié)合了SPIE 高級(jí)光刻會(huì)議上的 ASML 演示...

2023-07-30 標(biāo)簽：光學(xué)傳感器光刻機(jī)EUV 2358 0

臺(tái)積電已經(jīng)向ASML下定了至少13臺(tái)EUV光刻機(jī)

需要明白的是，EUV光刻機(jī)不是有錢(qián)就能買(mǎi)，因?yàn)锳SML每年的產(chǎn)能非常有限，2019年全年才出貨了26臺(tái)，今年上半年出貨了13臺(tái)，截至三季度結(jié)束累計(jì)才出貨23臺(tái)。

2020-12-11 標(biāo)簽：臺(tái)積電光刻機(jī)EUV 2352 0

三星5nm取得重要進(jìn)展可以帶來(lái)25％的邏輯電路能效提升

眼下，臺(tái)積電和三星都在全力沖刺5nm工藝，這將是7nm之后的又一個(gè)重要節(jié)點(diǎn)，全面應(yīng)用EUV極紫外光刻技術(shù)，提升效果會(huì)非常明顯，所以都受到了高度重視。

2019-07-10 標(biāo)簽：三星電子 EUV 2352 0

2納米即將進(jìn)入下世代的埃米（angstorm）時(shí)代布局

英特爾今年初宣布已率先向 ASML 購(gòu)買(mǎi)業(yè)界首臺(tái) High-NA 量產(chǎn)型 EUV 設(shè)備 EXE:5200，其為首款具備 High-NA 的 EUV 大量...

2022-06-22 標(biāo)簽：臺(tái)積電 EUV ASML 2343 0

三星EUV設(shè)備將會(huì)出現(xiàn)再度升級(jí)

近期三星為爭(zhēng)搶EUV設(shè)備，高層頻頻傳出密訪ASML，EUV的重要性早已不言而喻。提到EUV，大家首先想到的就是ASML，ASML并不是一個(gè)家喻戶曉的名字...

2021-01-16 標(biāo)簽：三星電子 EUV ASML 2333 0

摩爾定律漸遠(yuǎn)下的提升，EUV被稱為“突破摩爾定律的救星”

前，行業(yè)DRAM三巨頭都沒(méi)有大規(guī)模使用EUV，但隨著制程工藝的提升，節(jié)點(diǎn)的進(jìn)一步微縮，同時(shí)，EUV的性能和成本也在不斷優(yōu)化，DRAM將迎來(lái)EUV爆發(fā)期。

2020-01-18 標(biāo)簽：半導(dǎo)體摩爾定律 EUV 2319 0

AMD的Zen3處理器小驚喜曝光：使用了少量四層EUV光刻

AMD的銳龍5000系列處理器下月初就要上市了，全新的Zen3架構(gòu)IPC性能大漲，不過(guò)工藝上面依然是7nm級(jí)別的，官方稱之為更成熟的7nm工藝。最早的...

2020-10-26 標(biāo)簽：處理器 amd EUV 2318 0

臺(tái)積電3nm工藝進(jìn)度超前 EUV工藝獲突破：直奔1nm

在ISSCC 2021國(guó)際固態(tài)電路會(huì)議上，臺(tái)積電聯(lián)席CEO劉德音公布了該公司的最新工藝進(jìn)展情況，指出3nm工藝超過(guò)預(yù)期，進(jìn)度將會(huì)提前。不過(guò)劉德音沒(méi)有公...

2021-02-19 標(biāo)簽：臺(tái)積電 EUV 3nm 2311 0

各種光刻技術(shù)你都了解嗎？

當(dāng)制程節(jié)點(diǎn)演進(jìn)到5nm時(shí)，DUV和多重曝光技術(shù)的組合也難以滿足量產(chǎn)需求了，EUV光刻機(jī)就成為前道工序的必需品了，沒(méi)有它，很難制造出符合應(yīng)用需求的5nm芯...

2023-10-13 標(biāo)簽：集成電路光刻機(jī)EUV 2309 0

三星6nm和7nm EUV開(kāi)始批量生產(chǎn)

根據(jù)三星的計(jì)劃，到2020年底，V1生產(chǎn)線的累計(jì)總投資將達(dá)到60億美元，預(yù)計(jì)7nm及以下工藝節(jié)點(diǎn)的總產(chǎn)能將比2019年增長(zhǎng)三倍，目前的計(jì)劃是在第一季度開(kāi)...

2020-02-21 標(biāo)簽：三星電子 euv 2296 0

三星在韓新開(kāi)EUV晶圓代工產(chǎn)線V1，總投入將達(dá)60億美元

據(jù)了解，V1產(chǎn)線于2018年2月動(dòng)工，2019年下半年開(kāi)始測(cè)試晶圓生產(chǎn)，首批產(chǎn)品今年一季度向客戶交付。目前，V1已經(jīng)投入7nm和6nm EUV移動(dòng)芯片的...

2020-02-21 標(biāo)簽：三星電子晶圓 euv 2294 0

日本信越化學(xué)將斥資300億日元，把光刻膠的產(chǎn)能提高20%

根據(jù)報(bào)道，信越化學(xué)將會(huì)在日本和臺(tái)灣地區(qū)興建工廠，位于臺(tái)灣地區(qū)云林工廠將先完成，預(yù)計(jì)2020年2月開(kāi)始量產(chǎn)，屆時(shí)信越化學(xué)將得以在臺(tái)灣地區(qū)生產(chǎn)可與極紫外光（...

2020-11-05 標(biāo)簽：半導(dǎo)體臺(tái)積電 EUV 2292 0

電子芯聞早報(bào)：三星焦頭爛額仍砸錢(qián)買(mǎi)EUV 樂(lè)Pro3跑分被小米5s超越

今日芯聞早報(bào)：三星焦頭爛額仍砸錢(qián)買(mǎi)EUV追趕臺(tái)積電；和輝光電宣布建六代AMOLED廠；iPhone 7風(fēng)潮可望拉抬半導(dǎo)體封測(cè)業(yè)績(jī)表現(xiàn)；Apple Wat...

2016-09-22 標(biāo)簽：EUV 小米vr 小米5s 2280 0

美國(guó)將光刻技術(shù)納入出口限制清單

商務(wù)部長(zhǎng)威爾伯·羅斯（Wilbur Ross）宣稱：“關(guān)鍵技術(shù)和新興技術(shù)國(guó)家戰(zhàn)略是保護(hù)美國(guó)國(guó)家安全，確保美國(guó)在軍事、情報(bào)和經(jīng)濟(jì)事務(wù)中保持技術(shù)領(lǐng)先地位的重...

2020-11-12 標(biāo)簽：芯片光刻技術(shù)EUV 2279 0

臺(tái)積電2020年上半年7納米+制程進(jìn)入量產(chǎn)的消息獲得證實(shí)

雖然，全球晶圓代工頭臺(tái)積電在日前的 2018 年第 4 季法說(shuō)會(huì)中，拋出了 2019 年第 1 季營(yíng)收將季衰退 2 成的震撼彈，不過(guò)，針對(duì)先進(jìn)制程的演進(jìn)...

2019-01-22 標(biāo)簽：臺(tái)積電 EUV 2278 0

三大半導(dǎo)體廠資本支出直線攀升 ASML等設(shè)備廠則成為受益者

臺(tái)積電深耕晶圓代工先進(jìn)制程，10月表示強(qiáng)效版7納米制程導(dǎo)入EUV技術(shù)，今年第2季開(kāi)始量產(chǎn)，良率已相當(dāng)接近7納米制程；6納米制程預(yù)計(jì)明年第1季試產(chǎn)，并于明...

2019-11-06 標(biāo)簽：三星電子臺(tái)積電 EUV 2268 0

DRAM廠將陸續(xù)導(dǎo)入EUV技術(shù)

DRAM廠商在面對(duì)DRAM價(jià)格不斷下跌的困境下，已經(jīng)在考慮導(dǎo)入EUV技術(shù)用于制造DRAM，主要目的是為了降低成本。

2019-06-21 標(biāo)簽：DRAM EUV 2254 0

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