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euv

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EUV光刻技術(shù) - 即將在芯片上繪制微小特征的下一代技術(shù) – 原來是預(yù)計(jì)在2012年左右投產(chǎn)。但是幾年過去了,EUV已經(jīng)遇到了一些延遲,將技術(shù)從一個(gè)節(jié)點(diǎn)推向下一個(gè)階段,本單元詳細(xì)介紹了EUV光刻機(jī),EUV光刻機(jī)技術(shù)的技術(shù)應(yīng)用,EUV光刻機(jī)的技術(shù)、市場問題,國產(chǎn)euv光刻機(jī)發(fā)展等內(nèi)容。

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euv資訊

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2021-05-11 標(biāo)簽:半導(dǎo)體EUV光刻膠 3154 0

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為什么芯片能與國家的科技實(shí)力掛鉤呢?

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英特爾宣布制造擴(kuò)張計(jì)劃:新建兩座晶圓廠

今天,英特爾新任首席執(zhí)行官Pat Gelsinger在一場演講中概述了在對(duì)英特爾未來幾年的愿景。在題為“英特爾釋放:未來

2021-03-24 標(biāo)簽:芯片晶圓廠EUV 1966 0

臺(tái)積電成受益者,中芯國際仍被卡脖子

盡管消息稱中芯國際14nm及以上制程的客服、備品與機(jī)臺(tái)等相關(guān)出口申請獲得許可,但10nm以下仍被卡脖子,尤其是已經(jīng)技術(shù)開發(fā)完整只等EUV光刻機(jī)進(jìn)場的7nm。

2021-03-17 標(biāo)簽:中芯國際晶圓光刻機(jī) 2012 0

解讀ASML澄清中芯國際購買協(xié)議事件和EUV與DUV的差異性

近日,中芯國際與ASML達(dá)成12億美元交易購買晶圓生產(chǎn)設(shè)備的消息引發(fā)關(guān)注。針對(duì)雙方此次合作,有媒體報(bào)道稱“除了 EUV 光刻機(jī),中芯國際幾乎可以買到其他...

2021-03-15 標(biāo)簽:EUVASMLDUV 2778 0

ASML帶來了長期問題

為什么這很重要?在引入EUV系統(tǒng)之前,最先進(jìn)的IC是使用DUV浸沒式光刻系統(tǒng)制造的。這些DUV系統(tǒng)在193nm的光波長下無法到達(dá)7nm節(jié)點(diǎn),因此EUV取...

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清華團(tuán)隊(duì)實(shí)驗(yàn)演示穩(wěn)態(tài)微聚束成功, 有望為EUV光刻光源提供新技術(shù)路線

實(shí)驗(yàn)展示了如何結(jié)合現(xiàn)有兩類主要加速器光源——同步輻射光源及自由電子激光——的特性。同步輻射設(shè)備發(fā)射的光子具有高重復(fù)率,但由于它們的時(shí)間不相干性,功率相對(duì)...

2021-03-11 標(biāo)簽:加速器光源EUV 2659 0

新成果有望解決自主研發(fā)光刻機(jī)的“卡脖子”難題

在芯片制造的產(chǎn)業(yè)鏈中,光刻機(jī)是必不可少的精密設(shè)備,是集成電路芯片制造中最復(fù)雜和關(guān)鍵的工藝步驟?!拔覈鳨UV光刻機(jī)的自主研發(fā)還有很長的路要走,基于SSMB...

2021-03-10 標(biāo)簽:光刻機(jī)EUV太赫茲 3142 0

芯片解禁部分開啟 中芯國際與ASML簽訂12億美元大單

3月3日晚間,中芯國際在港交所公告,根據(jù)批量采購協(xié)議已于2020年3月16日至2021年3月2日的12個(gè)月期間,就購買阿斯麥產(chǎn)品與阿斯麥集團(tuán)簽訂購買單,...

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三星砸430億韓元研發(fā)EUV光罩保護(hù)膜

三星一方面在積極向唯一的EUV光刻機(jī)廠商ASML爭取訂單,另外一方面也在增資為EUV產(chǎn)業(yè)鏈輸血。

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沒有EUV設(shè)備的中國芯片制造業(yè)

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經(jīng)過幾個(gè)月的等待,我們終于看到三星電子將極紫外(EUV)光刻技術(shù)應(yīng)用于D1z DRAM的大規(guī)模量產(chǎn)。

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在ISSCC 2021國際固態(tài)電路會(huì)議上,臺(tái)積電聯(lián)席CEO劉德音公布了該公司的最新工藝進(jìn)展情況,指出3nm工藝超過預(yù)期,進(jìn)度將會(huì)提前。 不過劉德音沒有公...

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2019 年底在舊金山舉辦的年度國際電子元件會(huì)議(IEDM)上,臺(tái)積電公布的兩個(gè)報(bào)告標(biāo)志著集成電路制造邁入了EUV 光刻時(shí)代。第一個(gè)報(bào)告宣布了應(yīng)用EUV...

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Lasertec:全球唯一EUV光刻制造測試設(shè)備制造商

在芯片制造過程中,任何一點(diǎn)小瑕疵都可能造成整批芯片的報(bào)廢。因此,這一過程中晶圓監(jiān)測必不可少,可以保證芯片的良品率和控制成本。

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存儲(chǔ)芯片廠商SK海力士宣布,其公司位于韓國首爾南部利川市的M16新廠已經(jīng)竣工,SK海力士將首次使用極紫外輻射(EUV)光刻機(jī)在生產(chǎn)存儲(chǔ)芯片。SK海力士經(jīng)...

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ASML宣布了一項(xiàng)合作成果:在印刷24nm節(jié)距線方面取得突破

本周在SPIE高級(jí)光刻會(huì)議上,世界領(lǐng)先的納米電子和數(shù)字技術(shù)研究與創(chuàng)新中心IEMC與世界領(lǐng)先的半導(dǎo)體光刻設(shè)備制造商ASML宣布了一項(xiàng)合作成果。在印刷24n...

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SK海力士舉行M16新廠竣工儀式

SK海力士(或“公司”,www.skhynix.com )在韓國京畿道利川總部以“We Do Technology,開啟幸福”為主題舉行M16新廠竣工儀...

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